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与Mott合作获得更长的工具正常运行时间和更好的工厂吞吐量

延长工具的正常运行时间和工具吞吐量对于提高工厂良率至关重要。 如果没有仔细的工具操作,适当的维护和兼容的系统组件,则工具可能最多闲置60%的时间。 大多数时间是由于计划维护或意外停机时间造成的。

Mott使用点纤维金属气体过滤器已被证明可帮助工厂缩短几分钟(而不是数小时)的干燥时间,从而提高晶圆厂的正常运行时间,从而在模具启动或维护停机后更快地调试模具。 此外,金属纤维介质提供1.5 nm的颗粒捕获能力,是行业2 nm标准的3倍。 事实证明,Mott扩散器可消除从真空到大气条件下排气期间腔室内的颗粒干扰,从而将工具晶圆的生产量提高多达10-20%。 已知连续的排气循环会向竞争性扩散器施加压力,使其尽早失效。 经测试,莫特的扩散器可承受3万次排气循环,从而消除了昂贵的材料故障并降低了维护要求。

莫特使用点气体纤维金属过滤器

适用于OEM工具气箱,用于半导体工具连接的UHP气棒,阀歧管箱,气柜,工具隔离气箱中的UHP工艺气体过滤,或需要超高纯度颗粒去除的任何过程。

  • 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后,水分干燥至<27 ppb
  • 9对数过滤,过滤至0.0015μm的颗粒,消除了UHP气体输送系统中的“消亡颗粒”
    • 行业标准为0.003μm
  • 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
  • 最大的气体过滤效率,强度和可靠性
  • 提供SS,哈氏合金和镍过滤介质,> 50 – 300 SLPM
1.5 nm粒子捕获

Mott与明尼苏达大学的粒子技术实验室共同开发了一项新测试,该测试现在可以创建测试粒子并测量低至1.5 nm(0.0015 µm)粒子的过滤器效率。 这比目前的2 nm工业标准小3倍。 莫特(Mott)专有制造技术的发展创造了可以满足这种效率而又不造成过滤器压降的金属过滤器介质。

莫特扩散器

在负载锁定腔室,传输腔室,冷却腔室和处理腔室或半导体设备接口(CVD,PVD,蚀刻,Epi)或其他真空腔室上的排气口应用中,使用带有气体的Mott扩散器。

  • 事实证明,通过减少排气和回填时间,可将晶圆产量提高多达10-20%,而不会在加载锁定装置或腔室内产生颗粒干扰。
  • 保证承受3万次排气,减少维护需求
  • 改造大多数竞争对手的扩散器型号
  • 防止颗粒从负载锁或腔室回流到排气供应管线中。