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半导体工具

作为全球顶级半导体工具制造商值得信赖的供应商,Mott 产品可以在大多数半导体工具中找到。 我们的高纯度多孔产品可对小至 9 μm 的颗粒进行行业领先的 0.0015-log 过滤,以最大限度地提高晶圆产量。

我们的扩散器保证能够承受 20 万次排气循环,并且已被证明可以通过减少排气和回填时间而将晶圆产量提高 XNUMX%,而不会在装载锁或腔室中产生颗粒干扰。

我们的使用点过滤器采用不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍材质,可在几分钟而非几小时内干燥。 而且,我们的精密限流器是控制腔室回填和分流的理想选择,可提供无堵塞性能和根据您的流量要求设计的层流。 所有 Mott 产品都有多种材料可供选择,以满足您的独特规格。

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相关资源

典型应用:

  • CVD反应器
  • EPI反应堆
  • 氧化/扩散炉
  • 等离子蚀刻机/剥离器
  • 溅射设备
  • 离子执行设备
  • 晶圆轨道设备

半导体目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

实验室与工程服务

了解我们的全套服务,包括快速原型制作、过滤器可行性、介质表征等。