半导体工具

作为世界顶级半导体工具制造商值得信赖的供应商,莫特的产品是大多数半导体工具的组成部分。我们的高纯度产品可对小至 9 μm 的颗粒提供业界领先的 0.0015 对数过滤,这对于最大限度提高半导体工具中的晶圆产量至关重要。 

Mott 的扩散器对于半导体设备效率至关重要,其设计可承受 20 万次排气循环,并已被证明可将晶圆产量提高高达 XNUMX%。 

此外,莫特的使用点气体过滤器和精密限流器对于控制半导体工具中的腔室回填和流量至关重要,可通过多种材料选择来确保无堵塞性能,以满足特定需求。

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相关资源

典型应用:

  • CVD反应器
  • EPI反应堆
  • 氧化/扩散炉
  • 等离子蚀刻机/剥离器
  • 溅射设备
  • 离子注入设备
  • 晶圆轨道设备

半导体目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

实验室与工程服务

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利用 Mott 的先进产品增强半导体工具

在半导体工具领域,莫特的高精度产品在提高制造效率和产品质量方面发挥着关键作用。他们的高纯度产品对于半导体工具至关重要,可提供卓越的过滤能力,这对于保持半导体制造所需的纯度至关重要。莫特的解决方案,包括扩散器、气体过滤器和限流器,专为满足半导体行业的严格要求而设计,确保提高产量并精确控制制造工艺。 Mott 的这些创新不仅提高了半导体工具的性能,还为半导体技术的进步做出了重大贡献。

常见问题解答:半导体工具

问:什么是半导体工具?

答:半导体工具是用于制造微芯片和集成电路等半导体器件的专用设备。这些工具对于半导体制造中的光刻、蚀刻、沉积和检查等工艺至关重要。

问:Mott 对半导体工具有何贡献?

答:莫特为半导体工具提供先进的高纯度产品,提供关键的气体过滤和流量控制解决方案。这些组件对于保持半导体制造工艺所需的纯度和效率至关重要,从而提高产品质量和产量。

问:Mott 的半导体工具产品使用哪些材料?

答:莫特的半导体工具产品由多种材料制成,包括不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍,以确保与半导体制造的苛刻环境兼容。

问:为什么过滤在半导体工具中很重要?

答:过滤对于半导体工具至关重要,可以去除可能导致半导体器件缺陷的微小颗粒。有效的过滤可确保保持高纯度水平,这对于最终半导体产品的可靠性和性能至关重要。