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半导体工具

莫特高纯度多孔产品可对9μm颗粒提供行业领先的0.0015对数过滤功能,从而消除了可杀死晶粒的颗粒并提高了晶圆产量。 作为世界顶级半导体工具制造商值得信赖的供应商,莫特产品可以在大多数半导体工具中找到。 莫特多孔产品可提供行业领先的0.0015μm颗粒捕获能力以及无与伦比的质量和强度。 保证Mott扩散器能够承受3万次排气循环,并已被证明可通过减少排气和回填时间而将晶圆产量提高20%,而不会在加载锁定装置或腔室中造成颗粒干扰。 Mott使用点过滤器可在数分钟内而不是数小时内干燥,可用于不锈钢,Hastelloy®和Penta®镍的低流量到高流量应用。 Mott精密限流器是控制腔室回填和分流的理想选择,可提供无堵塞性能和专为您的流量要求设计的层流。 所有Mott产品都有多种材料供您选择,以满足您的规格。

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相关资源

典型应用:

  • CVD反应器
  • EPI反应堆
  • 氧化/扩散炉
  • 等离子蚀刻机/剥离器
  • 溅射设备
  • 离子执行设备
  • 晶圆轨道设备

半导体目录

用于半导体行业产品的Mott过滤器和流量控制产品:高纯过滤器,扩散器和限流器

实验室与工程服务

快速成型,SEM / EDS分析,清洁度测试,化学定量分析,过滤性能和可行性测试,机械性能测试,介质表征,失效分析和生命周期测试,金相学