Mott 高纯度散装和实用过滤器

Mott 高纯度散装和实用过滤器可对 9 μm 的颗粒进行 0.0015-log 过滤,从而产生无颗粒气体。 这些散装过滤器非常适合在加热干燥操作期间净化器下游经常遇到的较高温度。

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产品规格

工作条件

»最大工作压力:最高650 psig(44.8 barg)

»惰性气体的最高工作温度:最高450°C

»最大压差:最高250 psid(17.2 barg)

材料

»硬件:316L不锈钢

»过滤介质:316L SS纤维或Penta®镍

» 接液硬件表面光洁度:10 Ra

» 也可提供定制材料

技术规格
颗粒去除尺寸: ≥0.0015微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于ASTM F1398测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
流数据

可提供额定流量高达170,000 SLPM的散装过滤器。 有关流量曲线信息,请查阅工厂或规格表。

配件和尺寸

BGF-310和BGF-315

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
2”短管 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M 1.5”短管 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M 1”短管 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M 2”短管 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M 1.5”短管 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
4”短管 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M 2”短管 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M 1.5”短管 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M 1”短管 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
6”短管 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
4”短管 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
2”短管 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-815HF-6TS-N-170M 6”短管 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

 

相关服务

设计专长自始至终,我们都会根据您的设计参数定制散装过滤器解决方案。 挑战我们!

质量认证需要符合健康、安全和环境标准(如 CE)的标志吗? 我们已经为您提供了保障。

广泛的合作伙伴网络– 如果散装过滤材料未列出或内部不具备能力,我们拥有广泛的材料采购、先进制造和验证测试合作伙伴网络。

工程支持– 我们的项目工程师随时为您提供工艺咨询,并帮助您为您的应用选择理想的散装和公用过滤器。

常见问题解答:大宗气体过滤器和过滤

问:超高纯度应用中的散装过滤器是什么?

答:散装过滤器是一种专门的过滤装置,设计用于处理大量气体,确保去除污染物和杂质,特别是在半导体制造等超高纯度应用中。

问:Mott 的散装过滤器如何确保 9-log 过滤?

答:莫特的散装过滤器采用先进的多孔金属技术设计,使其能够实现 9-log 过滤。 莫特过滤器按照市场上最高的质量和最高精度的孔隙率制造。 这确保了通过的气体具有最高纯度,不含颗粒和污染物。

问:莫特的散装过滤器是否与各种半导体工艺气体兼容?

答:是的,莫特的散装过滤器设计为与所有高纯度半导体工艺气体兼容,确保在一系列具有挑战性的应用中的多功能性和可靠性。 莫特滤波器用于最具挑战性的芯片制造工艺,包括 < 7nm 的先进节点技术。

问:莫特的散装过滤器如何有助于加快“干燥”时间?

答:莫特的散装过滤器采用可快速“干燥”的材料和设计制成,这意味着它们在几分钟而不是几小时内即可实现最佳性能,从而减少停机时间并提高效率。

问:莫特的散装过滤器可以处理腐蚀性气体吗?

答:当然。 Mott 的散装过滤器有多种材料可供选择,包括不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍,使其适合处理各种气体,包括腐蚀性气体。