Mott 高纯度散装和实用过滤器
Mott 高纯度散装和实用过滤器可过滤小至 9 μm 的颗粒,确保气体无颗粒。这些超高纯度过滤器非常适合处理加热、干燥操作期间净化器下游经常遇到的较高温度。我们的散装气体过滤器和外壳经过精心设计,可在苛刻的应用中提供最佳性能和可靠性。
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文献和数据表
典型应用
半导体产品目录
探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。
产品规格
工作条件 |
»最大工作压力:最高650 psig(44.8 barg) »惰性气体的最高工作温度:最高450°C »最大压差:最高250 psid(17.2 barg) |
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材料 |
»硬件:316L不锈钢 »过滤介质:316L SS纤维或Penta®镍 » 接液硬件表面光洁度:10 Ra » 也可提供定制材料 |
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规格 |
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流数据 |
可提供额定流量高达170,000 SLPM的散装过滤器。 有关流量曲线信息,请查阅工厂或规格表。 |
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配件和尺寸 |
BGF-310和BGF-315
BGF-610
BGF-615
BGF-815
BGF12P23
*可提供定制设计和配件。 |
影片和文章
我们的设计能力
- 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
- 气体相容性考量
- 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置
相关服务
设计专长 – 从始至终,我们根据您的设计参数定制 Mott 散装气体过滤器。挑战我们!
质量认证 – 需要符合健康、安全和环境标准(如 CE)的标志吗? 我们已经为您提供了保障。
广泛的合作伙伴网络– 如果未列出散装气体过滤材料或内部没有能力,我们拥有广泛的合作伙伴网络,可提供材料采购、先进制造和验证测试。
工程支持– 我们的项目工程师随时为您提供有关工艺的咨询,并帮助您为您的应用选择理想的散装气体过滤器。
常见问题解答:大宗气体过滤器和过滤
问:超高纯度应用中的散装过滤器是什么?
答:散装过滤器是一种专门的过滤装置,设计用于处理大量气体,确保去除污染物和杂质,特别是在半导体制造等超高纯度应用中。
问:Mott 的散装过滤器如何确保 9-log 过滤?
答:莫特的散装过滤器采用先进的多孔金属技术设计,使其能够实现 9-log 过滤。 莫特过滤器按照市场上最高的质量和最高精度的孔隙率制造。 这确保了通过的气体具有最高纯度,不含颗粒和污染物。
问:Mott 的散装气体过滤器是否与各种半导体工艺气体兼容?
答:是的,Mott 的大宗气体过滤器设计为与所有高纯度半导体工艺气体兼容,确保在一系列具有挑战性的应用中具有多功能性和可靠性。Mott 过滤器用于最具挑战性的半导体芯片制造工艺,包括 < 7nm 的先进节点技术。
问:Mott 的散装气体过滤器如何有助于缩短“干燥”时间?
答:Mott 的散装气体过滤器采用可快速“干燥”的材料和设计,这意味着它们可以在几分钟内而不是几小时内达到最佳性能,从而减少停机时间并提高效率。
问:Mott 的散装气体过滤器能处理腐蚀性气体吗?
答:当然。 Mott 的散装过滤器有多种材料可供选择,包括不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍,使其适合处理各种气体,包括腐蚀性气体。