Mott 高纯度散装和实用过滤器

Mott 高纯度散装和实用过滤器可过滤小至 9 μm 的颗粒,确保气体无颗粒。这些超高纯度过滤器非常适合处理加热、干燥操作期间净化器下游经常遇到的较高温度。我们的散装气体过滤器和外壳经过精心设计,可在苛刻的应用中提供最佳性能和可靠性。

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产品规格

工作条件

»最大工作压力:最高650 psig(44.8 barg)

»惰性气体的最高工作温度:最高450°C

»最大压差:最高250 psid(17.2 barg)

材料

»硬件:316L不锈钢

»过滤介质:316L SS纤维或Penta®镍

» 接液硬件表面光洁度:10 Ra

» 也可提供定制材料

规格
颗粒去除尺寸: ≥0.0015微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于ASTM F1398测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
流数据

可提供额定流量高达170,000 SLPM的散装过滤器。 有关流量曲线信息,请查阅工厂或规格表。

配件和尺寸

BGF-310和BGF-315

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
2”短管 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M 1.5”短管 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M 1”短管 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M 2”短管 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M 1.5”短管 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
4”短管 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M 2”短管 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M 1.5”短管 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M 1”短管 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
6”短管 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
4”短管 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
2”短管 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF-815HF-6TS-N-170M 6”短管 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

 

相关服务

设计专长从始至终,我们根据您的设计参数定制 Mott 散装气体过滤器。挑战我们!

质量认证需要符合健康、安全和环境标准(如 CE)的标志吗? 我们已经为您提供了保障。

广泛的合作伙伴网络– 如果未列出散装气体过滤材料或内部没有能力,我们拥有广泛的合作伙伴网络,可提供材料采购、先进制造和验证测试。

工程支持– 我们的项目工程师随时为您提供有关工艺的咨询,并帮助您为您的应用选择理想的散装气体过滤器。

常见问题解答:大宗气体过滤器和过滤

问:超高纯度应用中的散装过滤器是什么?

答:散装过滤器是一种专门的过滤装置,设计用于处理大量气体,确保去除污染物和杂质,特别是在半导体制造等超高纯度应用中。

问:Mott 的散装过滤器如何确保 9-log 过滤?

答:莫特的散装过滤器采用先进的多孔金属技术设计,使其能够实现 9-log 过滤。 莫特过滤器按照市场上最高的质量和最高精度的孔隙率制造。 这确保了通过的气体具有最高纯度,不含颗粒和污染物。

问:Mott 的散装气体过滤器是否与各种半导体工艺气体兼容?

答:是的,Mott 的大宗气体过滤器设计为与所有高纯度半导体工艺气体兼容,确保在一系列具有挑战性的应用中具有多功能性和可靠性。Mott 过滤器用于最具挑战性的半导体芯片制造工艺,包括 < 7nm 的先进节点技术。

问:Mott 的散装气体过滤器如何有助于缩短“干燥”时间?

答:Mott 的散装气体过滤器采用可快速“干燥”的材料和设计,这意味着它们可以在几分钟内而不是几小时内达到最佳性能,从而减少停机时间并提高效率。

问:Mott 的散装气体过滤器能处理腐蚀性气体吗?

答:当然。 Mott 的散装过滤器有多种材料可供选择,包括不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍,使其适合处理各种气体,包括腐蚀性气体。