GasShield®表面贴装过滤器
Mott GasShield® 表面贴装过滤器为半导体 OEM 工具中使用的集成气体系统提供行业领先的 0.0015 μm 过滤。 GasShield 表面贴装过滤器适用于具有 C 密封和 W 密封配置的 1.125" 和 1.5" 四紧固件表面贴装气体分配系统的两端口组件的尺寸，并且与所有惰性气体和大多数特种气体兼容。
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文献和数据表
典型应用
适用于W型密封和C型密封，1.125英寸和1.5英寸表面安装模块化气体输送系统。
莫特半导体产品目录
探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。
产品规格
| 工作条件 |
»最大工作压力：1800 psig（124.1 barg） »惰性气体的最高工作温度：460°C »最大压差：500 psid（34.4 bar） |
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| 材质 |
» 硬件：316LSS 或合金 22* » 过滤介质：Penta® 镍、316L SS 或合金 22* » 接液硬件表面光洁度：5 Ra » 也可提供定制材料 *合金 22 或 UNS N06022 是一种镍铬钼超级合金，通常称为 Hastelloy® C-22® |
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| 产品参数 |
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| 流数据 |
提供更多的流量曲线，请查阅工厂或规格表。 |
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| 配件和尺寸 |
用于75英寸的GSMM-1.125 C型密封
用于60英寸的GSMM-1.500 C型密封
GSMM-55 W密封件，用于1.125英寸
GSMM-50 W型密封件，用于1.500英寸
*可提供定制设计和配件。 |
我们的设计能力
- 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
- 气体相容性考量
- 提供定制过滤介质，压力容器以及配件材料和配置
相关服务
设计专长 –从头到尾，我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们！
流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库，以提高流程模型的准确性，从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。
广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力，我们将维持广泛的合作伙伴网络，以进行新材料采购，先进的制造能力和验证测试。
工程支持– 利用我们的专家工程师为您的应用设计合适的表面贴装滤波器。
