GasShield®表面贴装过滤器
Mott GasShield® 表面贴装过滤器为半导体 OEM 工具中使用的集成气体系统提供顶级的 0.0015 μm 过滤能力。 这些 气盾® 表面安装过滤器旨在无缝融入 1.125 英寸和 1.5 英寸四紧固件表面安装气体分配系统，具有 C 型密封和 W 型密封配置。 它们与多种惰性气体以及大多数特种气体兼容。
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文献和数据表
典型应用
适用于W型密封和C型密封，1.125英寸和1.5英寸表面安装模块化气体输送系统。
莫特半导体产品目录
探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。
产品规格
| 工作条件 |
»最大工作压力：1800 psig（124.1 barg） »惰性气体的最高工作温度：460°C »最大压差：500 psid（34.4 bar） |
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| 材料 |
» 硬件：316LSS 或合金 22* » 过滤介质：Penta® 镍、316L SS 或合金 22* » 接液硬件表面光洁度：5 Ra » 也可提供定制材料 *合金 22 或 UNS N06022 是一种镍铬钼超级合金，通常称为 Hastelloy® C-22® |
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| 技术规格 |
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| 流数据 |
提供更多的流量曲线，请查阅工厂或规格表。 |
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| 配件和尺寸 |
用于75英寸的GSMM-1.125 C型密封
用于60英寸的GSMM-1.500 C型密封
GSMM-55 W密封件，用于1.125英寸
GSMM-50 W型密封件，用于1.500英寸
*可提供定制设计和配件。 |
我们的设计能力
- 几乎适用于任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率，包括那些需要用于半导体 OEM 工具的表面安装过滤器的系统设计。
- 气体相容性考量
- 提供定制过滤介质，压力容器以及配件材料和配置
相关服务
设计专长 – 自始至终，我们都会根据您的设计参数定制解决方案，无论您需要用于半导体 OEM 工具还是其他专业应用的表面贴装滤波器 – 挑战我们！
流体建模 – 我们广泛的应用程序建立了一个数据库，以提高流量模型的准确性，确保表面贴装滤波器和其他组件的最佳性能。 我们在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。
广泛的合作伙伴网络 – 如果材料未列出或内部不具备能力，我们将维持广泛的合作伙伴网络，以进行新材料采购、先进制造能力和验证测试，所有这些都是为了支持您的表面贴装滤波器的开发。
工程支持 – 利用我们的专家工程师根据您的具体应用设计合适的表面贴装过滤器，保证最佳的过滤性能。
表面贴装滤波器：增强半导体制造
表面贴装过滤器是用于半导体 OEM 工具内集成气体系统的专用过滤组件。 它们在确保半导体制造工艺中使用的气体的纯度和可靠性方面发挥着至关重要的作用。 这些过滤器战略性地放置在气体分配系统中，有效去除小至 0.0015 μm 的污染物和颗粒物，确保气体符合严格的质量标准。 表面贴装滤波器对于保护敏感的半导体设备、防止污染引起的缺陷以及确保一致的性能至关重要。
莫特因其对卓越过滤的奉献精神而成为提供最佳表面贴装过滤器的领导者。 Mott 的过滤器经过精心设计，可提供最大的过滤效率、行业领先的流量一致性和无与伦比的可靠性。 他们在根据特定设计参数定制表面贴装滤波器方面的专业知识确保每个解决方案都是量身定制的，以满足各种半导体应用的独特需求。 此外，莫特广泛的合作伙伴网络和工程支持可确保客户获得性能最佳的高质量表面贴装滤波器，从而为半导体制造工艺的整体成功做出贡献。
常见问题解答：表面贴装滤波器
问：什么是表面贴装滤波器？它通常用于半导体行业的哪些领域？
答：表面贴装过滤器是一种用于半导体行业的专用过滤组件，为半导体制造设备内的气体分配系统提供超精细过滤。 它通常用于气体系统中，以确保各种半导体制造工艺中使用的气体的纯度和清洁度，并具有占用气体面板空间更少的优点。
问：莫特的 GasShield® 表面贴装过滤器可从气体中去除多大的颗粒？
答：Mott 的 GasShield® 表面贴装过滤器提供业界领先的过滤效率，可去除气体中小至 0.0015 μm 的颗粒，使其成为颗粒控制至关重要的关键半导体应用的理想选择。
问：莫特的表面贴装过滤器是否与半导体制造中使用的所有类型的气体兼容？
答：是的，莫特的 GasShield® 表面贴装过滤器与多种气体兼容，包括惰性气体和半导体制造工艺中常用的大多数特种气体。
问：莫特如何协助针对特定半导体制造应用定制表面贴装滤波器？
答：莫特提供设计专业知识和工程支持，根据特定的设计参数定制表面贴装滤波器，确保每个解决方案都是量身定制的，以满足各种半导体制造应用的独特需求。
