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GasShield®表面贴装过滤器

Mott GasShield® 表面贴装过滤器为半导体 OEM 工具中使用的集成气体系统提供行业领先的 0.0015 μm 过滤。 GasShield 表面贴装过滤器适用于具有 C 密封和 W 密封配置的 1.125" 和 1.5" 四紧固件表面贴装气体分配系统的两端口组件的尺寸,并且与所有惰性气体和大多数特种气体兼容。

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文献和数据表

典型应用

适用于W型密封和C型密封,1.125英寸和1.5英寸表面安装模块化气体输送系统。

产品规格

工作条件

»最大工作压力:1800 psig(124.1 barg)

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大压差:500 psid(34.4 bar)

包含教材(讲解历年真题)

»硬件:316LSS或Hastelloy C-22

»过滤介质:Penta®镍,316L SS或Hastelloy®C-22

»润湿的硬件表面处理:5 Ra,电抛光

» 也可提供定制材料

产品参数
颗粒去除尺寸: ≥0.0015微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于SEMASPEC 90120396B测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
流数据

提供更多的流量曲线,请查阅工厂或规格表。

配件和尺寸

用于75英寸的GSMM-1.125 C型密封

部分说明 配件类型 过滤材料 外壳材质 过滤器设计 流量额定值(SLPM) 总高(英寸)
GSMM-75-020-12
GSMM-75-030-12
GSMM-75-050-12
C型密封 316L SS 1.125“ 20-50 1.6-4.0
GSMM-75-010-11
GSMM-75-030-11
C型密封 316L SS 316L SS 1.125“ 10-30 2.4-4.0
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
C型密封 哈氏合金®
C - 22
哈氏
C - 22
1.125“ 10-30 2.4-4.9

 

用于60英寸的GSMM-1.500 C型密封

部分说明 配件类型 过滤材料 外壳材质 过滤器设计 流量额定值(SLPM) 总高(英寸)
GSMM-60-010-12
GSMM-60-050-12
GSMM-60-100-12
C型密封 316L SS 1.500“ 10-100 1.3-4.5
GSMM-60-010-11
GSMM-60-020-11
GSMM-60-075-11
C型密封 316L SS 316L SS 1.500“ 10-75 2.2-5.8
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33
C型密封 哈氏
C - 22
哈氏
C - 22
1.500“ 10-75 2.4-6.1

 

GSMM-55 W密封件,用于1.125英寸

部分说明 配件类型 过滤材料 外壳材质 过滤器设计 流量额定值(SLPM) 总高(英寸)
GSMM-55-020-12
GSMM-55-030-12
GSMM-55-050-12
W型密封 316L SS 1.125“ 20-50 1.7-4.2
GSMM-55-010-11
GSMM-55-030-11
GSMM-55-050-11
C型密封 316L SS 316L SS 1.125“ 10-50 2.6-4.0
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33
C型密封 哈氏
C - 22
哈氏
C - 22
1.125“ 10-30 2.5-5.0

 

GSMM-50 W型密封件,用于1.500英寸

部分说明 配件类型 过滤材料 外壳材质 过滤器设计 流量额定值(SLPM) 总高(英寸)
GSMM-50-010-12
GSMM-50-050-12
GSMM-50-100-12
W型密封 316L SS 1.500“ 10-100 1.3-4.5
GSMM-50-010-11
GSMM-50-020-11
GSMM-50-030-11
GSMM-50-075-11
W型密封 316L SS 316L SS 1.500“ 10-75 2.2-5.8
GSMM-50-010-33
GSMM-50-020-33
GSMM-50-075-33
C型密封 哈氏
C - 22
哈氏
C - 22
1.500“ 10-75 2.2-6.1

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

相关服务

设计专长 –从头到尾,我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们!

流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库,以提高流程模型的准确性,从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。

广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购,先进的制造能力和验证测试。

工程支持– 利用我们的专家工程师为您的应用设计合适的表面贴装滤波器。