GasShield®室内扩散器
Mott GasShield室扩散器可提供均匀且层流的气体，而不会干扰室中的颗粒。 这些扩散器还可从进入的气体中清除大于0.0015μm的颗粒，从而最大程度地减少晶圆上的缺陷。 它们可以承受更高的工作压力，并可以在6,000,000万次以上的周期内保持产品完整性。
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文献和数据表
莫特半导体产品目录
探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。
HP Diffuser安装指南
Mott高纯度GasShield®扩散器产品的处理和安装说明
产品规格
| 工作条件 |
»最大工作压力：60 psig（4.2 barg） »惰性气体的最高工作温度 860°F（460°C），无O形圈 带O型圈的212°F（100°C） »最大压差：75 psid（5.0 bar） |
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| 安装信息 |
请参阅《 HP Diffuser安装指南》 https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/ 注意：对于VCR®配件，请始终用手拧紧螺母，然后通过扳手（与VCR兼容的扳手）用手拧紧1/8圈，以确保正确安装。 |
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| 材质 |
» 硬件：316L SS 或合金 22* » 过滤介质：316L SS 纤维或合金 22* » 接液硬件表面光洁度：10 Ra *合金 22 或 UNS NO6022 是一种镍铬钼超级合金，通常称为 Hastelloy® C-22® |
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| 产品参数 |
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| 流数据 |
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| 连接和尺寸 |
*可提供定制设计和配件。 |
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可用流量曲线。 有关更多信息，请查阅规格表和工厂。
我们的设计能力
- 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
- 气体相容性考量
- 提供定制过滤介质，压力容器以及配件材料和配置
相关服务
设计专长 –从头到尾，我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们！
流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库，以提高流程模型的准确性，从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。
广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力，我们将维持广泛的合作伙伴网络，以进行新材料采购，先进的制造能力和验证测试。
工程支持– 利用我们的专家工程师为您的应用设计合适的腔室扩散器。
