GasShield®室内扩散器

Mott Gasshield 气体扩散器可提供均匀的层流气流,最大限度地减少颗粒扰动。 他们 有效去除大于 0.0015 μm 的颗粒,提高晶圆质量,并提供超过 6,000,000 次循环的使用寿命,使其成为半导体制造的可靠选择。

有什么问题吗呼叫 860.747.6333 今天!

请致电 860.747.6333,或提交信息申请表,我们将在 48 小时内回复您。

文献和数据表

典型应用

箱式扩散器在以下应用中用于排气:

»负载锁定室

»转运室

»冷却室,以及

»处理室

of 半导体设备接口(CVD,PVD,蚀刻,Epi) 或其他真空室

产品规格

工作条件

»最大工作压力:60 psig(4.2 barg)

»惰性气体的最高工作温度

860°F(460°C),无O形圈

带O型圈的212°F(100°C)

»最大压差:75 psid(5.0 bar)

安装信息

请参阅《 HP Diffuser安装指南》

https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/

注意:对于VCR®配件,请始终用手拧紧螺母,然后通过扳手(与VCR兼容的扳手)用手拧紧1/8圈,以确保正确安装。

材料

» 硬件:316L SS 或合金 22*

» 过滤介质:316L SS 纤维或合金 22*

» 接液硬件表面光洁度:10 Ra

*合金 22 或 UNS NO6022 是一种镍铬钼超级合金,通常称为 Hastelloy® C-22®

技术规格
颗粒去除尺寸 ≥0.0015微米
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
一生: 在最大工作压力下为5年或3,000,000次循环(请参阅保修)
流数据

可用流量曲线。 有关更多信息,请查阅规格表和工厂。

 

 

连接和尺寸
ISO NW50插座连接

 

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L

 

GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22

¼”公头

面部密封

¼”可旋转公头录像机 ISO净重50 维通 2-229 2.36/59.9 2.67/67.9 0.102/2.6
IS NW40插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L ¼”公头

面部密封

¼”可旋转公头录像机 是 NW40 维通 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
IS NW100(螺栓连接)插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSD-FLG-3.6-F1-NW100-0.5-316L ¼”公头

面部密封

¼”录像机 ISO净重100 维通 2-246 4.50/114.3 5.12/130.0 0.102/2.6
ISO NW40插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 ¼”公头

面部密封

¼” VCR公头 ISO净重25 维通 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
ISO NW25插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 ¼”公头

面部密封

¼” VCR公头 ISO净重25 维通 2-123 1.14/28.9 1.38/35.1 0.075/1.9

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质、气体扩散器、压力容器以及配件材料和配置

相关服务

气体扩散器设计专业知识 – 自始至终,我们专注于根据您的设计参数定制气体扩散器解决方案 – 挑战我们!

流体建模 – 我们广泛的应用程序建立了一个数据库,以提高气体扩散器流量模型的准确性,在构建原型之前提供初始性能和可行性估计。

广泛的合作伙伴网络 – 如果材料未列出或内部不具备能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购、先进制造能力和气体扩散器的验证测试。

工程支持 – 利用我们的专家工程师为您的应用设计理想的气体扩散器解决方案。

关于气体扩散器

气体扩散器是各个行业中使用的重要组件,可确保均匀且受控的气体分布,而不干扰周围环境中的颗粒或杂质。 它们在半导体制造等应用中发挥着至关重要的作用,在这些应用中,保持清洁、无颗粒的气氛对于高质量的生产过程至关重要。 气体扩散器通过去除进入气体中大于 0.0015 μm 的颗粒,帮助最大限度地减少晶圆上的缺陷。

莫特因其在定制设计和工程方面的专业知识而成为气体扩散器的领先供应商。 他们的气体扩散器根据特定的设计参数量身定制,确保最佳的性能和可靠性。 Mott 丰富的经验、流体建模能力以及通过广泛的合作伙伴网络获取先进材料的能力,使其能够提供满足最苛刻行业要求的气体扩散器,使其成为关键气体分配应用的首选。

常见问题解答:气体扩散器

问:什么是气体扩散器,它是如何工作的?

答:气体扩散器是一种用于以受控方式均匀分布气体而不干扰周围环境中的颗粒或污染物的装置。 它的工作原理是通过专门设计的通道或结构扩散进入的气体,确保均匀分布,同时从气流中去除大于指定尺寸的颗粒。

问:为什么气体扩散器在半导体制造中很重要?

答:气体扩散器通过维持清洁、无颗粒的环境,在半导体制造中发挥着至关重要的作用。 它们通过去除进气中大于 0.0015 μm 的颗粒来帮助最大限度地减少晶圆上的缺陷,确保高质量的生产工艺并最大限度地减少产量损失。

问:莫特的气体扩散器与市场上其他气体扩散器有何不同?

答:莫特的气体扩散器因其定制设计能力、精密工程和丰富的行业经验而脱颖而出。 他们根据特定的设计参数提供定制的解决方案,确保最佳的性能和可靠性。 Mott 在流体建模方面的专业知识、通过广泛的合作伙伴网络获取先进材料以及满足严格的行业要求的承诺使它们成为关键气体分配应用的值得信赖的选择。

问:莫特可以为各种应用和行业提供气体扩散器吗?

答:是的,莫特提供可定制的气体扩散器,以适应各种应用和行业。 无论您需要用于半导体制造、航空航天还是其他专业应用的气体扩散器,莫特的工程支持和设计专业知识都可以提供适合您独特需求的解决方案。