气体净化:使用 Mott 气体净化器提高纯度

消除关键工艺气体供应中的水分、颗粒和杂质的气体净化器已成为大多数现代设施的重要装置。 作为提供万亿分之一气体纯度的气体净化器的全球供应商,Mott 与集成商、气体供应商和承包商合作,以确保满足工艺一致性和性能要求。

Mott 的气体净化器提供高效率、可靠性和产品一致性,以提高气体输送产量和工艺完整性。 超高纯度应用需要最先进的气体净化系统,而 Mott 正是这样! 如果您的项目或设施需要定制解决方案,我们可以满足您的需求。 我们的气体净化器提供使用点、微型散装和表面贴装配置,并可进行定制以满足您的关键设计要求。 使用我们多样化的气体净化器产品去除水分、颗粒、氧气、CO2、CO 和许多其他杂质。

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文献和数据表

典型应用

Mott 气体净化器可去除高纯度和超高纯度应用中的工艺气体中的杂质。 无论您是需要在将气体管线送入敏感设备之前去除水分和颗粒,还是需​​要在排出气体之前清理吹扫气体,Mott 的气体净化器和解决方案都能提供高效的解决方案(无论是在成本还是结果方面)。

  • 半导体工艺设备
  • 焊接气体/吹扫气体
  • 手套箱吹扫气体
  • 退火覆盖气
  • 增材制造
  • 医药生产
  • 太阳能和能源
  • 其他新兴技术

Mott 气体净化器 - Point-of-Use 系列

Mott 使用点气体净化器可适应各种型号的各种流量,并支持气体输送系统的最高纯度标准。

Mott 气体净化器 - 表面贴装系列

Mott 表面贴装净化器与 C-Seal 1.125" 表面贴装气体输送系统一起使用。合金 22 纤维过滤介质与腐蚀性工艺气体 HBr、NH3 和 Cl2 兼容。

Mott 气体净化器 - Micro-Bulk 系列

Mott micro-bulk 系列气体净化器提供适中的流速并保护敏感的下游仪器。

Mott 气体净化器填充分类指南

Mott 净化填充类的用户指南。

莫特气体净化器规格报价表

指定 Mott 气体净化器的最简单方法是填写 Mott Purification Specs to Quote 表格并将其发送给我们当地的高纯度产品经销商。

产品规格

使用点和微量气体净化器

材质:316L不锈钢

过滤介质:316L不锈钢

灵活的尺寸和配置:入口/出口配件和阀门,可提供面对面匹配

过滤:0.0015 µm 标准

氦泄漏等级:1 x 10-9 atm cc /秒

出口纯度:< 100 PPT

压降:< 2 psid

接液硬件表面:电抛光,< 10 Ra,316L 不锈钢

使用寿命:一年 24/7 以标称流量和典型 5N (99.999%) 组合入口杂质运行

可根据要求提供定制设计和配件

使用点、微型散装和表面贴装气体净化器尺寸

使用点净化器

1.5" – 2.0" 外径

标准 OAL 范围:3.31" – 8.2"

标准配件 1/4" VCR®

微量净化器

3.0" – 6" 外径

标准 OAL 范围:7.9" – 51"

标准配件为 1/2" VCR®

自定义尺寸也可用

表面贴装净化器

1.125″ C-Seal 底座

标准 OAL:3.30 英寸

 

 

使用点气体净化器操作条件

最大工作压力:250 PSIG (17.24 BAR)

典型工作温度范围:0°C-50°C (32°F-120°F)

最高工作温度:50°C (120°F)

标称流量:0 至 8 slpm,取决于容器尺寸

最大流速:0 slpm 至 32.5 slpm,取决于容器尺寸

微量气体净化器运行条件

最大工作压力:200 PSIG (13.79 BAR)

150 PSIG (10.34 BAR) – 仅 6 英寸

典型工作温度范围:0°C-50C (32°F-120°F)

最高工作温度:50°C (120°F)

标称流量:参见切纸上的表格

最大流量:10 slpm 至 2300 slpm

表面贴装气体净化器操作条件

最大工作压力:1800 PSIG (124.1 BAR)

典型工作温度范围:0°C-50C (32°F-120°F)

最大压差:150 psid (10.3 bar)

HBr 中的性能:见裁切纸上的表格

莫特气体净化器部件说明

MGP – 莫特气体净化器

-外径

-长度

-类类型

-过滤器类型

-连接类型

 

气体净化器相关服务

使用 Mott 气体净化器使气体净化成为系统的核心部分

许多系统和工艺在设计阶段未能将气体净化视为一个基本方面。 然而,在设计和测试系统的最初阶段集成气体净化器并考虑工艺气体和气体输送产量等因素将带来更好的结果和更高效的系统。 Mott 的团队由经验丰富的专业人士组成,专门从事气体净化器领域,在制造、设计、工程和科学方面拥有丰富的技能,随时准备帮助您将超高纯度应用变为现实。 您越早加入 Mott 和我们的气体净化器,您就越能更好地利用我们丰富的专业知识和一系列工具。

设计专长 – 从开始到结束,我们根据您的设计参数定制气体净化器解决方案 – 挑战我们!

流体建模 – 我们在气体净化器中的广泛应用建立了一个数据库,以提高流量模型的准确性,在构建原型之前提供初始性能和可行性估计。

广泛的合作伙伴网络 – 如果气体净化器的材料未列出或内部不具备能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购、先进制造能力和验证测试。 让我们帮助您获取下一个项目所需的重要资源。

工程支持 – 利用我们的专家工程师来咨询您的工艺,并为您的应用选择正确的使用点过滤器和气体净化器。 从独立的气体净化器到新工艺和系统的完整定制端到端设计和测试,莫特将利用我们的专业知识为您的项目的成功提供支持。

常见问题解答:气体净化器

问:什么是气体净化器?

答:气体净化器是一种设备或系统,旨在去除气流中的污染物和杂质,确保气体满足特定应用所需的纯度标准。 净化器与过滤器的不同之处在于,它们通常去除非颗粒污染物,这些污染物在许多情况下比颗粒污染物更具挑战性。

问:为什么气体净化很重要?

答:气体净化对于需要超高纯度气体的应用至关重要,例如半导体制造、研究实验室和某些工业流程。 杂质会影响产品质量、产量甚至安全性。 随着半导体制造不断向更小的技术节点发展,需要十亿分之一甚至万亿分之一的纯度水平,高性能气体净化变得越来越重要。

问:气体净化器如何工作?

答:气体净化器通常使用一系列净化介质,利用吸附、吸收、反应催化剂、有机金属树脂或离子交换膜等机制来去除污染物。 纯化方法根据需要纯化的工艺气体、杂质类型和所需的纯化水平而定。

问:气体净化器可以去除哪些类型的污染物?

答:气体净化器可以去除多种污染物,包括水分、氧气、碳氢化合物、二氧化碳、一氧化碳、颗粒物、碳氢化合物和其他微量杂质,具体取决于净化器的设计和使用的材料。 

问:气体净化器多久需要维护或更换?

答:维护频率取决于净化器的类型、气流中的污染物水平以及处理的气体量。 一些净化器具有可更换的滤芯或组件,而其他净化器可能需要定期检查和清洁。

问:针对不同的应用,是否有不同类型的气体净化器?

答:是的,有针对特定应用、气体类型和纯度要求量身定制的各种类型的气体净化器。 根据应用的具体需求选择合适的净化器至关重要。

问:如何为我的应用选择合适的气体净化器?

答:选择最佳净化器设计时需要考虑许多重要因素。 待净化气体的类型、所需的纯度水平、流量、操作条件(包括温度和压力)等因素。 从气流中去除的杂质类型对于选择净化器解决方案非常重要。 莫特专家可以针对您的特定应用提供最佳纯化工艺和设计建议。