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超高纯多孔陶瓷

Mott 的超高纯度多孔陶瓷可根据您独特的应用要求进行定制。 陶瓷技术提供了广泛的化学兼容性以及在高温和高压应用中的耐久性。 高纯度多孔陶瓷额定最高工作温度为 2,750 华氏度,最大工作压力为 5,000 psi。 它们还具有很高的几何灵活性,可以用作小管或衬套、圆盘或板。 多孔陶瓷的耐用性和多功能性使其在各个行业都具有许多功能。 通过在 100 级洁净室环境中使用 >99.5% 的纯氧化铝制造,可实现一流的清洁度。

多孔氧化铝(或氧化铝 Al2O3)陶瓷具有出色的机械强度、耐磨性和耐腐蚀性能。 高氧化铝陶瓷材料在许多行业都很有价值,因为它在高温下具有高稳定性、高硬度、优异的耐腐蚀性、低热膨胀系数和高熔点。 由于这些原因,高纯度氧化铝材料非常适合制造用于 CVD 工艺、离子注入和许多其他半导体工艺组件的零件。

顶级产品

在莫特,我们很自豪能够提供已经在多个行业实施了几十年的高质量产品。 我们的高纯度多孔陶瓷在多个领域都获得了高度评价,确保它们能够满足您的机械要求。 我们还可以开发超高纯度多孔陶瓷的其他几何形状。 Mott 销售代表很高兴与您进行交流,以确定我们的能力是否符合您的需求!

 

 

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文献和数据表

典型应用

  • 静电卡盘导管和进料系统
  • 超高纯气体扩散
  • 高温液体过滤
  • 半导体晶圆制造组件
  • CVD设备零件
  • 电子元件和基板
  • 气流塞和端口

半导体产品目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

产品规格

工作条件

» 最大工作压力:5,000 psi

» 最高工作温度:2,750°F (1,500°C)

» 最大压差:1,250 psi

产品参数
在 71.6 Torr 时高达 2 SCCM He/cm8
零件间变异性 10-sigma 时 <3%
材料纯度 >99.5% 氧化铝
毛孔大小 0.2 – 5 毫克
密度 35%+
几何形状

小管/衬套

盘子

圆片

  • 下载规格单张

我们的设计能力

  • 几乎适用于任何设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

相关服务

设计专长 – 从开始到结束,我们根据您的设计参数定制解决方案。 我们期待着面对客户提出的任何挑战。 我们敬业的团队不会回避艰巨的任务,也不会为了简单而牺牲质量。

实验室测试 – 如果您需要在安装前对您的零件进行数据包或可行性测试,我们很乐意与您合作。 我们将使用我们的实验室中心执行各种特性和性能测试,以确保您的零件在您收到零件之前符合严格的规格。 该测试将确定我们为您开发的产品的确切功能。 这样,您就可以在它们因过度工作或压力过大而导致任何昂贵的维修之前了解它们的局限性。

工程支持 – 利用我们的项目工程师咨询您的工艺并为您的应用选择合适的多孔陶瓷产品设计。 我们的陶瓷产品有许多不同的定制领域,我们的专业工程师的目标是确保您订购的产品明确满足您的需求。