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超高纯多孔陶瓷

Mott 的超高纯度多孔陶瓷可根据您的应用要求进行定制。 陶瓷技术提供了广泛的化学相容性以及在高温和高压应用中的耐用性。 通过在 100 级洁净室环境中使用 >99.5% 的纯氧化铝进行制造,可实现一流的清洁度。

多孔氧化铝(或氧化铝 Al2O3)陶瓷在机械强度、耐磨性和腐蚀性环境方面具有出色的性能。 高纯度氧化铝材料非常适合制造用于 CVD 工艺、离子注入和许多其他半导体工艺组件的零件。

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文献和数据表

典型应用

  • 静电卡盘导管和进料系统
  • 超高纯气体扩散
  • 高温液体过滤
  • 半导体晶圆制造组件
  • CVD设备零件
  • 电子元件和基板
  • 气流塞和端口

半导体产品目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

产品规格

工作条件

» 最大工作压力:5,000 psi

» 最高工作温度:2,750°F (1,500°C)

» 最大压差:1,250 psi

产品参数
在 71.6 Torr 时高达 2 SCCM He/cm8
零件间变异性 10-sigma 时 <3%
材料纯度 >99.5% 氧化铝
毛孔大小 0.2 – 5 毫克
密度 35%+
几何形状

小管/衬套

盘子

圆片

  • 下载规格单张

我们的设计能力

  • 几乎适用于任何设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

相关服务

设计专长 –从头到尾,我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们!

实验室测试 – 如果您在安装前需要对您的零件进行数据包或可行性测试,我们很乐意与您合作。 我们将使用我们的实验室中心进行各种表征和性能测试,以确保您的零件在您收到之前符合严格的规格。

工程支持– 利用我们的项目工程师咨询您的工艺并为您的应用选择合适的多孔陶瓷产品设计。