高纯度多孔陶瓷
Mott 的高纯度多孔陶瓷，包括定制多孔陶瓷和氧化铝陶瓷，具有可调节的孔隙率和孔径，以满足特定的电介质击穿、机械强度和流量要求。 我们的高纯度氧化铝（纯度高达 99.999%）陶瓷组件可减少污染，在极端环境下具有出色的耐热性、电绝缘性、抗等离子体性和惰性。
我们的高纯度陶瓷技术（包括 Mott 陶瓷插头）可根据您的独特应用需求进行定制，同时利用传统和 3D 打印功能。作为创新定制领域的领导者，我们的传统多孔陶瓷材料可制成各种形状，从小型多孔陶瓷管或套管到圆盘、板或其他形状。对于复杂的几何形状，我们的 3D 打印工艺可实现半导体器件制造应用中所需的关键特征的精确性和可重复性，例如静电卡盘插头（E-chuck 陶瓷）。
制造这些超高纯度多孔陶瓷 在洁净室环境中使用纯净的原材料可确保无与伦比的清洁度。陶瓷的固有特性，例如高温稳定性、出色的硬度、耐腐蚀性、最小的热膨胀和高熔点，使其成为半导体和其他高纯度应用中的过滤器、流塞、绝缘体、基板和封装等组件的理想选择。
有什么问题吗呼叫 860.747.6333 今天！
文献和数据表
典型应用
- 静电卡盘导管和进料系统
- 超高纯气体扩散
- 高温液体过滤
- 半导体晶圆基板
- CVD设备零件
- 电子元件和基板
- 气流塞和端口
半导体产品目录
探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。
产品规格
| 为何选择 Mott？ |
» 拥有 30 多年为高纯度应用提供过滤器和流量控制产品的经验 » 愿意定制以满足您的独特需求 » 新型专利多孔和多孔固体混合产品，具有行业领先的纯度、介电 » 美国供应商以可靠性和世界一流的品质而闻名 » 洁净室环境中的专用陶瓷制造单元，采用传统和 |
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| 规格 |
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| 几何形状 |
套管多孔塞 小管/衬套 盘子 圆片 |
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| 联系我们！ |
与我们讨论您的定制材料（氧化铝、氧化锆、氮化硅、磷酸三钙、羟基磷灰石、氧化铝等）和设计需求。 我们很乐意与您合作开展您的下一个陶瓷项目。 |
我们的设计能力
- 几乎适用于任何设计的流量/压降曲线和过滤效率
- 气体相容性考量
- 提供定制过滤介质，压力容器以及配件材料和配置
多孔陶瓷和高纯陶瓷解决方案的相关服务
设计专长 – 从概念化到完成，我们根据您的设计参数定制高纯度陶瓷解决方案。 迎接挑战，我们的专业团队致力于在不影响质量的情况下制造最好的多孔陶瓷，无论任务有多复杂。
实验室测试 – 如果您在安装前需要多孔陶瓷组件的数据包或可行性测试，我们随时为您服务。 我们的实验室中心进行全面的表征和性能测试，确保您的零件符合严格的规格。 这种严格的测试阐明了产品的精确功能和潜在限制，防止因过度劳累或过度压力而造成代价高昂的损坏。
工程支持 – 与我们的项目工程师合作，深入研究您的工艺要求，并根据您的应用选择合适的多孔陶瓷或静电吸盘设计。 我们的陶瓷产品有多种定制选项，我们的专家工程师致力于确保您收到的产品完全符合您的特定需求。
顶级产品
在莫特，我们很自豪能够提供已经在多个行业实施了几十年的高质量产品。 我们的高纯度多孔陶瓷在多个领域都获得了高度评价，确保它们能够满足您的机械要求。 我们还可以开发超高纯度多孔陶瓷的其他几何形状。 Mott 销售代表很高兴与您进行交流，以确定我们的能力是否符合您的需求！
常见问题解答：超高纯多孔陶瓷
问：莫特超高纯多孔陶瓷有哪些独特之处？
答：莫特的超高纯度多孔陶瓷可根据特定应用要求进行定制。 它们具有广泛的化学相容性，并且在高温、高电压和/或高压环境下经久耐用。 这些陶瓷特别适合需要最高纯度标准的应用。
问：莫特的多孔陶瓷可以以什么形式制造？
答：Mott 的多孔陶瓷具有很高的几何灵活性。它们可以制成各种形状，例如小管、衬套、圆盘或套管塞，以满足不同的应用需求。Mott 目前正在开发陶瓷部件的 3D 打印技术，以制造复杂的几何形状，在需要的地方包括精确的孔隙率。
问：在高纯度陶瓷应用中使用多孔氧化铝的主要优点是什么？
答：多孔氧化铝或氧化铝 Al2O3 具有出色的机械强度、耐磨性和耐腐蚀性。 它在高温下的高稳定性、令人印象深刻的硬度、优异的耐腐蚀性、低热膨胀系数和高熔点使其在许多行业中具有价值，特别是在半导体工艺中。
问：莫特的多孔陶瓷可以用于静电吸盘应用吗？
答：莫特可以提供静电吸盘的关键部件，以延长其使用寿命并提高其热管理性能。 例如，我们先进的多孔陶瓷塞由高纯度氧化铝制成，孔径经过精心设计，可实现可靠且均匀的冷却气流。 它们固有的高电压击穿强度使它们能够长时间运行而不会产生电弧事件，从而提高整个半导体工具的生产率。 由于通常会导致限制产量的碎片的电弧事件风险降低，再加上更均匀的背面冷却，您现在可以通过增强的工艺控制和更可预测的维护计划来最大限度地提高工艺室的性能。
问：是什么使多孔氧化铝成为高纯度陶瓷应用的首选材料？
答：多孔氧化铝，也称为氧化铝 (Al2O3)，是一种陶瓷材料，以其出色的机械强度、耐磨性和在腐蚀环境中的韧性而闻名。其高温稳定性、硬度、耐腐蚀性、低热膨胀系数和高熔点等特性使其对各种行业都具有不可估量的价值。Mott 的高纯度多孔氧化铝陶瓷采用纯度高达 99.999% 的氧化铝制成，可确保关键应用的最佳性能和纯度。
