超高纯多孔陶瓷

莫特的高纯度陶瓷技术利用超高纯度多孔陶瓷,可进行定制以满足独特的应用要求。 这种陶瓷技术在高温高压环境下提供了广泛的化学兼容性和鲁棒性。 高纯度多孔陶瓷,特别是多孔氧化铝(或氧化铝 Al2O3),因其机械强度、耐磨性和腐蚀环境中的弹性而受到认可。 

这些陶瓷的最高工作温度为 2,750 华氏度,可承受高达 5,000 psi 的压力。 它们的几何灵活性使它们能够被制作成各种形式,从小管或套管到盘、板,甚至静电卡盘。 多孔陶瓷的耐用性和适应性使其能够在不同领域得到广泛应用。 

这些陶瓷在 100 级洁净室环境中使用 >99.5% 纯氧化铝制造,可确保无与伦比的清洁度。 高纯度氧化铝材料的固有特性,例如高温稳定性、令人印象深刻的硬度、耐腐蚀性、最小的热膨胀和高熔点,使其成为 CVD 工艺、离子注入和其他半导体工艺中组件的理想选择。

 

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文献和数据表

典型应用

  • 静电卡盘导管和进料系统
  • 超高纯气体扩散
  • 高温液体过滤
  • 半导体晶圆制造组件
  • CVD设备零件
  • 电子元件和基板
  • 气流塞和端口

半导体产品目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

产品规格

工作条件

» 最大工作压力:5,000 psi

» 最高工作温度:2,750°F (1,500°C)

» 最大压差:1,250 psi

技术规格
助焊剂 根据客户需求量身定制
零件间变异性 10-sigma 时 <3%
材料纯度 >99.5% 氧化铝
多孔性 20,60%
密度 35%+
几何形状

小管/衬套

盘子

圆片

  • 下载规格单张

我们的设计能力

  • 几乎适用于任何设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

多孔陶瓷和高纯陶瓷解决方案的相关服务

设计专长从概念化到完成,我们根据您的设计参数定制高纯度陶瓷解决方案。 迎接挑战,我们的专业团队致力于在不影响质量的情况下制造最好的多孔陶瓷,无论任务有多复杂。

实验室测试如果您在安装前需要多孔陶瓷组件的数据包或可行性测试,我们随时为您服务。 我们的实验室中心进行全面的表征和性能测试,确保您的零件符合严格的规格。 这种严格的测试阐明了产品的精确功能和潜在限制,防止因过度劳累或过度压力而造成代价高昂的损坏。

工程支持与我们的项目工程师合作,深入研究您的工艺要求,并根据您的应用选择合适的多孔陶瓷或静电吸盘设计。 我们的陶瓷产品有多种定制选项,我们的专家工程师致力于确保您收到的产品完全符合您的特定需求。

顶级产品

在莫特,我们很自豪能够提供已经在多个行业实施了几十年的高质量产品。 我们的高纯度多孔陶瓷在多个领域都获得了高度评价,确保它们能够满足您的机械要求。 我们还可以开发超高纯度多孔陶瓷的其他几何形状。 Mott 销售代表很高兴与您进行交流,以确定我们的能力是否符合您的需求!

常见问题解答:超高纯多孔陶瓷

问:莫特超高纯多孔陶瓷有哪些独特之处?

答:莫特的超高纯度多孔陶瓷可根据特定应用要求进行定制。 它们具有广泛的化学相容性,并且在高温、高电压和/或高压环境下经久耐用。 这些陶瓷特别适合需要最高纯度标准的应用。

问:莫特的高纯度陶瓷产品能够承受极端温度和压力到什么水平?

答:莫特的高纯度多孔陶瓷可以在高达 2,750 华氏度的温度下工作,并承受高达 5,000 psi 的压力。 这使得它们非常适合需要适应极端条件的苛刻应用。

问:莫特的多孔陶瓷可以以什么形式制造?

答:莫特的多孔陶瓷具有很高的几何灵活性。 它们可以制作成各种形状,例如小管、套管、圆盘或喷头板,以满足不同的应用需求。 Mott 目前正在开发陶瓷零件的 3D 打印技术,以制造复杂的几何形状,以在需要时包含精确的孔隙率。

问:在高纯度陶瓷应用中使用多孔氧化铝的主要优点是什么?

答:多孔氧化铝或氧化铝 Al2O3 具有出色的机械强度、耐磨性和耐腐蚀性。 它在高温下的高稳定性、令人印象深刻的硬度、优异的耐腐蚀性、低热膨胀系数和高熔点使其在许多行业中具有价值,特别是在半导体工艺中。

问:莫特的多孔陶瓷可以用于静电吸盘应用吗?

答:莫特可以提供静电吸盘的关键部件,以延长其使用寿命并提高其热管理性能。 例如,我们先进的多孔陶瓷塞由高纯度氧化铝制成,孔径经过精心设计,可实现可靠且均匀的冷却气流。 它们固有的高电压击穿强度使它们能够长时间运行而不会产生电弧事件,从而提高整个半导体工具的生产率。 由于通常会导致限制产量的碎片的电弧事件风险降低,再加上更均匀的背面冷却,您现在可以通过增强的工艺控制和更可预测的维护计划来最大限度地提高工艺室的性能。

问:是什么使多孔氧化铝成为高纯度陶瓷应用的首选材料?

答:多孔氧化铝,也称为氧化铝 (Al2O3),是一种陶瓷材料,以其卓越的机械强度、耐磨性和在腐蚀环境中的弹性而闻名。 其高温稳定性、硬度、耐腐蚀性、低热膨胀系数和高熔点等特性使其对各个行业具有无价的价值。 Mott 的高纯度多孔氧化铝陶瓷采用纯度超过 99.5% 的氧化铝制成,可确保关键应用的最佳性能和纯度。