高纯气体流量限制器
Mott GSMR系列限流器支持1.125英寸高流量C型密封配置气体系统。 这些限流器在100级无尘室环境中进行组装和测试，并安装在基板和另一个两端口表面安装组件之间。
MottVCR®配件气体流量限制器提供紧凑，持久的流量控制，可承受450°C的持续温度（惰性气体）和120 psig的压力。 根据要求，莫特可以提供可承受最高1500 psig压力的限流器。
与往常一样，可根据要求提供定制材料、孔隙率和硬件配置。
有什么问题吗呼叫 860.747.6333 今天！
文献和数据表
莫特半导体产品目录
半导体行业产品的Mott过滤器和流量控制产品：高纯过滤器，扩散器和限流器
高纯气体流量限制器
如果您正在寻找一种低成本的选择来实现一致的流量控制和抗堵塞，请探索我们的高纯度多孔金属限流器。
高纯度表面贴装限流器
Mott GSMR系列限流器支持1.125英寸高流量C型密封配置气体系统。
产品规格
| 工作条件 |
表面贴装限流器 »惰性气体的最高工作温度：460°C »最大工作压力：1,200 psig »最大压差：1,200 psid »爆破压力：20,000 psig »标准下游流量：从50 slpm起（可提供更高流量） »流量公差：在额定压力下为额定流量的+/- 7％（可根据要求提供+/- 2％） VCR限制器 »惰性气体的最高工作温度：460°C »最大工作压力：1,500 psig »最大压差：1,500 psid »爆破压力：7,000 psig »标准下游流量：从50 slpm起（可提供更高流量） »流量公差：在额定压力下为额定流量的+/- 7％（可根据要求提供+/- 2％） |
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| 材料 |
»外壳：316L不锈钢 »过滤介质：316L SS » 接液硬件表面光洁度：10 Ra »镍，哈氏合金®和其他可用材料与我们联系 |
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| 模块化安装限流器的配件和尺寸 |
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| VCR®接头限制器的接头和尺寸 |
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我们的设计能力
为了设计您的在线或表面安装限流器，请提供：
- 使用的工艺气体
- 流量：sccm
- 入口压力：psig
- 出口压力（如果不是大气压）
Mott在线和GSMR限流器已针对以下气体进行校准：氩气，氮气，氢气，氧气，氦气和空气。 使用粘度曲线校准所有其他气体。
相关服务
设计专长 –从头到尾，我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们！
流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库，以提高流程模型的准确性，从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。
广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力，我们将维持广泛的合作伙伴网络，以进行新材料采购，先进的制造能力和验证测试。
工程支持– 利用我们的专业项目工程师为您的应用设计合适的限流器。
