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高纯度限流器

Mott GSMR系列限流器支持1.125英寸高流量C型密封配置气体系统。 这些限流器在100级无尘室环境中进行组装和测试,并安装在基板和另一个两端口表面安装组件之间。

MottVCR®配件气体流量限制器提供紧凑,持久的流量控制,可承受450°C的持续温度(惰性气体)和120 psig的压力。 根据要求,莫特可以提供可承受最高1500 psig压力的限流器。

与往常一样,可根据要求提供定制材料、孔隙率和硬件配置。

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有一个问题? 找不到您想要的东西? 请致电860.747.6333,或提交信息请求表,然后有人会在48小时内与您联系。

莫特半导体产品目录

半导体行业产品的Mott过滤器和流量控制产品:高纯过滤器,扩散器和限流器

高纯气体流量限制器

如果您正在寻找一种低成本的选择来实现一致的流量控制和抗堵塞,请探索我们的高纯度多孔金属限流器。

高纯度表面贴装限流器

Mott GSMR系列限流器支持1.125英寸高流量C型密封配置气体系统。

产品规格

工作条件

表面贴装限流器

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大工作压力:1,200 psig

»最大压差:1,200 psid

»爆破压力:20,000 psig

»标准下游流量:从50 slpm起(可提供更高流量)

»流量公差:在额定压力下为额定流量的+/- 7%(可根据要求提供+/- 2%)

VCR限制器

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大工作压力:1,500 psig

»最大压差:1,500 psid

»爆破压力:7,000 psig

»标准下游流量:从50 slpm起(可提供更高流量)

»流量公差:在额定压力下为额定流量的+/- 7%(可根据要求提供+/- 2%)

包含教材(讲解历年真题)

»外壳:316L不锈钢

»过滤介质:316L SS

»润湿的硬件表面处理:10 Ra,电抛光

»镍,哈氏合金®和其他可用材料与我们联系

模块化安装限流器的配件和尺寸
部分说明 密封类型 限流器尺寸

(平方英寸)

设计类型 可用端口数 可用的端口位置
GSMR-20 C型密封 1.125 线轴片 2-3

Center

GSMR-30 C型密封 1.500 线轴片 2-3

Center

VCR®接头限制器的接头和尺寸
产品系列 适合尺寸 外壳材质 多孔媒体 内表面光洁度 长度
5140 1/4″VCR® 不锈钢 316L SS 10镭 1.55英寸/39.4毫米

我们的设计能力

为了设计您的在线或表面安装限流器,请提供:

  • 使用的工艺气体
  • 流量:sccm
  • 入口压力:psig
  • 出口压力(如果不是大气压)

Mott在线和GSMR限流器已针对以下气体进行校准:氩气,氮气,氢气,氧气,氦气和空气。 使用粘度曲线校准所有其他气体。

相关服务

设计专长 –从头到尾,我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们!

流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库,以提高流程模型的准确性,从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。

广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购,先进的制造能力和验证测试。

工程支持– 利用我们的专业项目工程师为您的应用设计合适的限流器。