高纯气体流量限制器
Mott GSMR 系列限流器支持 1.125 英寸高流量 C-Seal 配置气体系统。 这些限流器在 100 级洁净室环境中组装和测试，并安装在基板和另一个两端口表面贴装组件之间。
Mott VCR® 接头气体流量限制器提供紧凑、持久的流量控制，可承受高达 450°C（惰性气体）的持续温度和 120 psig 的压力。 Mott 还可应要求提供可承受高达 1500 psig 压力的限流器。
可根据要求提供定制材料、孔隙率和硬件配置。
有什么问题吗呼叫 860.747.6333 今天！
产品规格
| 工作条件 |
表面贴装限流器 »惰性气体的最高工作温度：460°C »最大工作压力：1,200 psig »最大压差：1,200 psid »爆破压力：20,000 psig »标准下游流量：从50 slpm起（可提供更高流量） »流量公差：在额定压力下为额定流量的+/- 7％（可根据要求提供+/- 2％） VCR限制器 »惰性气体的最高工作温度：460°C »最大工作压力：1,500 psig »最大压差：1,500 psid »爆破压力：7,000 psig »标准下游流量：从50 slpm起（可提供更高流量） »流量公差：在额定压力下为额定流量的+/- 7％（可根据要求提供+/- 2％） |
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| 材质 |
»外壳：316LSS »过滤介质：316L SS »润湿的硬件表面处理：10 Ra，电抛光 |
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| 模块化安装限流器的配件和尺寸 |
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| VCR®限流器的配件和尺寸 |
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我们的设计能力
为了设计您的表面安装限流器，我们需要知道：
- 使用的工艺气体
- 流量：sccm
- 入口压力：psig
- 出口压力（如果不是大气压）
Mott GSMR限流器已针对以下气体校准：氩气，氮气，氢气，氧气，氦气和空气。 使用粘度曲线校准所有其他气体。
相关服务
工程支持– 利用我们的专家项目工程师讨论您的工艺并设计合适的过滤器元件，以最大限度地提高流量和颗粒捕获量。
