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GasShield®垫片过滤器

Mott GasShield® 垫片过滤器可承受极端操作条件并提供最佳过滤性能。 GasShield 垫片过滤器允许在不增加气体系统长度的情况下集成过滤器。 GasShield 垫片过滤器与大多数惰性和特种气体兼容,安装在 1/4 英寸面密封接头内,带有 1 英寸或 3 英寸长的多孔元件,并配有整体面密封垫片。

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产品规格

工作条件

»惰性气体的最高工作温度:450°C

»最大压差:正向或反向1000 psid(68.9 barg)

包含教材(讲解历年真题)

»硬件:316LSS或镍

»过滤介质:316L不锈钢或镍

»哈氏合金或定制材料与我们联系

产品参数
颗粒去除尺寸: ≥0.003微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于SEMASPEC 90120396B测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
流数据

提供更多的流量曲线,请查阅工厂或规格表。

配件和尺寸

典型安装

部分说明 流量额定值(SLPM) 过滤材料 面密封垫圈尺寸(英寸) 元素长度(英寸) 换乘间隔
GSG-V4-1-N 1 ¼ 1 取决于系统
GSG-V4-3-N 3 ¼ 3 取决于系统
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 ¼ 1 取决于系统
GSG-V5-1-2N 50 ½ 1 取决于系统
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 取决于系统
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 取决于系统
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 取决于系统
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 取决于系统

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,配件材料和硬件设计配置

相关服务

设计专长 –从头到尾,我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们!

流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库,以提高流程模型的准确性,从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。

广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购,先进的制造能力和验证测试。

工程支持– 利用我们的专业项目工程师来咨询您的过程,并为您的应用选择合适的垫片过滤器。