GasShield®垫片过滤器

Mott GasShield® 垫片过滤器专为承受极端操作条件而设计,可提供卓越的过滤性能。 这些过滤器无缝集成到气体系统中,而无需增加其长度。 GasShield 垫片过滤器与各种惰性气体和特种气体兼容,可紧密安装在 1/4” 面密封配件内。 它们可提供 1 英寸或 3 英寸长的多孔元件,并包括一个整体式面密封垫片,以增加便利性。

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文献和数据表

GasShield垫片过滤器概述

镍和不锈钢垫片过滤器规格

莫特半导体产品目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

垫片过滤器安装和更换说明

垫片过滤器基本安装和更换说明

产品规格

工作条件

»惰性气体的最高工作温度:450°C

»最大压差:正向或反向1000 psid(68.9 barg)

材料

»硬件:316LSS或镍

»过滤介质:316L不锈钢或镍

»哈氏合金或定制材料与我们联系

技术规格
颗粒去除尺寸: ≥0.003微米
氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于SEMASPEC 90120396B测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
流数据

提供更多的流量曲线,请查阅工厂或规格表。

配件和尺寸

典型安装

部分说明 流量额定值(SLPM) 过滤材料 面密封垫圈尺寸(英寸) 元素长度(英寸) 换乘间隔
GSG-V4-1-N 1 ¼ 1 取决于系统
GSG-V4-3-N 3 ¼ 3 取决于系统
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 ¼ 1 取决于系统
GSG-V5-1-2N 50 ½ 1 取决于系统
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 取决于系统
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 取决于系统
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 取决于系统
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 取决于系统

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质、垫圈过滤配件材料和硬件设计配置

相关服务

设计专长 – 从开始到结束,我们根据您的设计参数定制垫片过滤器解决方案 – 挑战我们!

流体建模 – 我们广泛的应用程序建立了一个数据库,以提高垫片过滤器流量模型的准确性,以便在构建原型之前提供初始性能和可行性估计。

广泛的合作伙伴网络 – 如果某种材料未列出或内部不具备垫片过滤器生产能力,我们将在新材料采购、先进制造能力和验证测试方面维持广泛的合作伙伴网络。

工程支持 – 利用我们的专业项目工程师为您的应用选择合适的垫片过滤器,确保最佳的性能和兼容性。

为什么选择莫特的垫片过滤器?

垫片过滤器是用于控制气体流量并消除各种应用中大于 0.003 μm 的颗粒的整体组件,确保气体的纯度和完整性。 这些过滤器对于半导体制造和高纯度工艺等行业至关重要,在这些行业中,保持气体质量至关重要。 莫特公司是垫片过滤器领域值得信赖的领导者,以其对精密工程的承诺以及过滤器设计和生产的卓越性而闻名。 Mott 的垫片过滤器非常耐用,并提供卓越的过滤性能,使其成为需要一流气体过滤和纯度的行业的首选。

常见问题解答:垫片过滤器

问:什么是垫片过滤器,它是如何工作的?

答:垫片过滤器是一种专门的过滤组件,旨在去除气体或液体中的污染物。 它通常由封装在垫圈状结构内的多孔材料组成。 当流体或气体通过过滤器时,污染物被捕获,只允许干净的流体或气体通过。

问:莫特垫片过滤器的主要应用是什么?

答:莫特的垫片过滤器应用广泛,包括半导体制造、化学加工、制药生产等。 它们对于确保各种工业过程中气体和液体的纯度和质量至关重要。

问:莫特的垫片过滤器是否可以根据特定要求进行定制?

答:是的,莫特提供定制垫片过滤器解决方案,以满足特定的过滤需求。 这种定制包括过滤介质、材料和配置的选择,以确保在不同应用中实现最佳性能。

问:莫特的垫片过滤器有多耐用?它们能否承受恶劣的操作条件?

答:莫特的垫片过滤器设计非常耐用,可以承受极端的操作条件,包括高温、压力和腐蚀性环境。 它们旨在提供持久、可靠的过滤性能。

问:莫特的垫片过滤器是否配有易于安装的整体垫片?

答:是的,莫特的垫片过滤器配备了整体式面密封垫片,简化了安装过程并确保在兼容系统中安全、无泄漏地安装。