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高纯度过滤器和组件

Mott 超高纯度产品包括配置范围为 1-200,000 slpm 的全金属气体过滤器和过滤系统。 结构材料包括镍、316LSS 和 Hastelloy®,它们为集成电路生产过程提供高效过滤。 用于半导体加工的其他产品包括气体扩散器、限流器、气体净化器和超高纯度多孔陶瓷。