超高纯产品 Mott 提供配置范围从 1 slpm 到 200,000 slpm 的全金属气体过滤器和过滤系统。 结构材料包括镍、316LSS 和 Hastelloy®，它们为集成电路生产中使用的工艺提供高效过滤。 工艺过滤器，橇和元件超高纯产品过滤器组件和多孔组件玻璃料组件和实验室过滤器限流器喷洒器气体扩散器阻火器威克斯3D打印产品搅拌机热管理解决方案流化剂和缓冲剂 GasShield® 使用点过滤器UHP 使用点过滤器用于设备连接的气棒、阀门歧管箱、气柜、工具隔离气箱和机载 OEM 工具气箱 高纯度限流器阀芯设计流量限制器，支持1.125英寸高流量C型密封配置气体系统和VCR®配件气体流量限制器 GasShield®室内扩散器允许将工艺气体或大气气体引入真空室，而不会产生过多的湍流 GasShield®大型过滤器和公用过滤器设计用于通过 1,000L SS 或镍过滤元件适应 250,000 至 316 slpm 的流量。 其他金属气体过滤器设计可用于更高压力或高腐蚀性气体 GasShield®表面贴装过滤器与工艺工具、气柜和阀组箱安装中的集成气体系统 (IGS) 接口兼容 GasShield®垫片过滤器紧凑的设计可容纳 1/4" 和 1/2" 面密封接头，而不会增加气体系统的长度。 垫片过滤器的标准流速为 1、3 和 20 SLPM 定制高纯过滤器满足您独特要求的工程过滤器
