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高纯气体过滤器

Mott 超高纯度产品包括配置范围为 1-200,000 slpm 的全金属气体过滤器和过滤系统。 结构材料包括镍、316LSS 和 Hastelloy®,它们为集成电路生产中使用的工艺提供高效过滤。