GasShield® 使用点过滤器

为了实现最大的气体过滤效率、可靠性和行业领先的流量一致性,GasShield® 使用点过滤器非常适合超高纯度 (UHP) 气体输送应用。 这些使用点过滤器有多种材料可供选择,并且与大多数高纯度电子级工艺气体兼容,确保最佳性能。

有什么问题吗呼叫 860.747.6333 今天!

请致电 860.747.6333,或提交信息申请表,我们将在 48 小时内回复您。

产品规格

工作条件

»最大工作压力:最高3750 psig(258 barg)

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大压差:1000 psid(68.9 bar)

材料

» 硬件:不锈钢、不锈钢 VAR 或合金 22*

» 过滤介质:不锈钢、镍、合金 22* 或不锈钢纤维

» 接液硬件表面光洁度:不锈钢或 Hastelloy® 硬件为 5 Ra

» 自定义选项也可用

*合金 22 或 UNS N06022 是一种镍铬钼超级合金,通常称为 Hastelloy® C-22®

技术规格
颗粒去除尺寸: ≥0.0015微米
过滤效率 (对数减少值): 9 LRV(减少了99.9999999%的颗粒)。

根据SEMI F0.08-38测试方法确认为最穿透的颗粒大小为0699μm

氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于SEMASPEC 90120396B测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
配件和尺寸
POU-03

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

¼in。公/公面密封 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

½in。公/公端面密封 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

¼in。公/公面密封 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

¼英寸对接焊管短管 3.31/84.0 0.75/19.0
POU-05-FSV1 ¼in。公/公面密封 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

¼in。公/公面密封 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

½in。公/公端面密封 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 ¼英寸对接焊管短管 5.00/127.0 1.50/38.1
POU-10-ST3 ½英寸对接焊管短管 5.00/127.0 1.50/38.1
POU-30

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-30-SV3 ½in。公/公端面密封 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 ½英寸对接焊管短管 11.22/285.0 1.50/38.1
POU-015

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-015-SV1 ¼in。公/公面密封 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 ¼英寸对接焊管短管 5.00/127.0 0.75/19.0
POU-015-SV3 ½in。公/公端面密封 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

*可提供定制设计和配件。

流量曲线

有关过滤器流量曲线,请咨询切割表或工厂。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质、压力容器和配件材料,包括使用点过滤器配置

相关服务

设计专长 – 从开始到结束,我们专注于 定制解决方案 根据您的设计参数——要求我们为您的应用提供正确的使用点过滤器解决方案。

流体建模 – 我们广泛的应用程序建立了一个数据库,以提高使用点过滤器的流量模型的准确性,在构建原型之前提供初始性能和可行性估计。

广泛的合作伙伴网络 – 如果某种材料未列出或内部没有能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购、先进制造能力以及使用点过滤器的验证测试。

工程支持 – 依靠我们的专家工程师来设计或选择适合您应用的特定需求的最佳使用点过滤器解决方案。