超高纯气体输送系统

Mott 多孔金属气体过滤器非常适合超高纯度气体输送应用,因为它们可对小至 9 μm 的颗粒进行 0.0015 对数过滤,以确保气体中不含颗粒。 我们的使用点过滤器有不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍材质可供选择,可在几分钟(而不是几小时)内干燥。 莫特大宗气体过滤器有多种材料可供选择,以确保与几乎所有高纯度半导体工艺气体兼容。

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典型应用:

  • 煤气柜
  • 气门箱

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Mott GasShield纤维散装气体过滤器12P23型号

流量高达15,000 m3 / Hr(250,000 slpm)的过程惰性气体的超高纯过滤

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附加信息

超高纯度 (UHP) 气体输送系统是一种专门的装置,旨在为特定应用(例如半导体制造)输送和供应最高纯度的气体。 这些系统利用莫特在散装气体输送方面的专业知识,采用先进的过滤和净化机制,以确保有效去除气流中的污染物和杂质。 主要目标是提供符合严格纯度标准的气体,确保关键应用中的最佳性能和产品质量。 该系统的组件,包括莫特最先进的过滤器和输送管线,通常由能够防止污染并始终保持气体纯度的材料制成。

常见问题

问:什么是超高纯气体输送系统?

答:超高纯度 (UHP) 气体输送系统是一种专门的装置,旨在为特定应用(例如半导体制造)输送和供应最高纯度的气体。 它通过有效去除污染物和杂质来确保气体满足严格的纯度标准。

问:为什么超高纯气体输送系统对工业至关重要?

答:超高压气体输送系统对于半导体制造、制药和航空航天等行业至关重要,这些行业中最轻微的杂质都会影响产品质量、产量和安全性。 这些系统可确保关键应用中的最佳性能和产品质量。

问:超高纯气体输送系统如何工作?

答:该系统采用先进的过滤和净化机制,以去除气流中的污染物和杂质。 包括过滤器和输送管线在内的组件均由防止污染的材料制成,确保气体保持在所需的纯度水平。

问:超高纯气体输送系统通常包含哪些组件?

答:该系统通常包括过滤器、净化器、调节器、阀门和输送管线等组件。 这些组件通常由抗污染的材料制成,确保所输送气体的纯度一致。

问:超高纯气体输送系统多久需要维护一次?

答:维护频率取决于系统的使用情况、处理的气体类型以及源气体中的污染物水平。 定期检查和及时维护对于确保系统的使用寿命和一致的气体纯度至关重要。

问:超高纯气体输送系统可以处理腐蚀性或易燃气体吗?

答:是的,许多 UHP 气体输送系统设计用于安全处理各种气体,包括易燃、腐蚀性和惰性气体。 必须选择专门针对所使用的气体类型设计的系统,以确保安全性和性能。