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散装气体输送

Mott 多孔金属气体过滤器是超高纯度气体输送应用的理想选择,因为它们可对小至 9 μm 的颗粒进行 0.0015-log 过滤,以确保无颗粒气体。 我们的使用点过滤器采用不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍材质,可在几分钟而非几小时内干燥。 Mott 过滤器有多种材料可供选择,以确保与几乎所有高纯度半导体工艺气体的兼容性。

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相关资源

典型应用:

  • 煤气柜
  • 气门箱

半导体目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

Mott GasShield纤维散装气体过滤器12P23型号

流量高达15,000 m3 / Hr(250,000 slpm)的过程惰性气体的超高纯过滤

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