散装气体输送

Mott 多孔金属气体过滤器是超高纯度气体输送应用的理想选择，因为它们可对小至 9 μm 的颗粒进行 0.0015-log 过滤，以确保无颗粒气体。 我们的使用点过滤器采用不锈钢、Hastelloy® 和 Penta® 镍材质，可在几分钟而非几小时内干燥。 Mott 过滤器有多种材料可供选择，以确保与几乎所有高纯度半导体工艺气体的兼容性。