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晶圆厂设施组件

Mott高纯度多孔Penta®镍散装过滤器可防止绝热压缩点火,Mott Precision限流器可将灾难性的泄漏时间缩短至数分钟,同时为您节省数百万美元的通风系统结构,从而提高了晶圆厂的安全性。 当在系统中使用无法承受高点火能量的材料(例如特氟龙)时,高压氧气系统易受绝热压缩点火的影响。 结果可能是灾难性的。 当在纯度为99.5%的高压氧气系统中快速打开阀门时,氧气将冲入高压管道,当到达下一个阀门或调节器的管道末端时,可能发生绝热压缩。 MottPenta®镍多孔金属过滤器的工作温度高于塑料,铁氟龙或不锈钢,并用作散热器以熄灭任何潜在的火焰。

Mott精密限流器可通过限制灾难性事件中的气体流量来帮助在晶圆厂中创建更安全的环境。 在气体遏制系统(即阀歧管箱,工具隔离箱和气柜)内安装精密限流器以限制发生灾难性事件时的气流将降低这些排气遏制系统中所需的空气替代流量。 所需的较低排气流量意味着较小的排气管道尺寸。 使用较小的通风管道尺寸,您只需安装经济高效的Mott精密限流器,即可从子工厂到空气处理和减排系统的所有连接中节省大量成本。

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相关资源

典型应用:

  • 现场散装气体
  • 气门箱
  • 工具隔离盒
  • 煤气柜

半导体产品目录

用于半导体行业产品的Mott过滤器和流量控制产品:高纯过滤器,扩散器和限流器

高纯气体流量限制器

用于可靠,经济的流量控制,而没有质量流量控制器,针阀和校准孔的缺点

实验室与工程服务

快速成型,SEM / EDS分析,清洁度测试,化学定量分析,过滤性能和可行性测试,机械性能测试,介质表征,失效分析和生命周期测试,金相学