晶圆厂设施组件
使用 Mott 高纯度多孔 Penta® 镍散装过滤器和 Mott Precision 限流器提高晶圆厂设施的安全性。
当系统中使用不能承受高点火能量的材料（如聚四氟乙烯）时，高压氧气系统很容易受到绝热压缩点火的影响。 结果可能是灾难性的。 Mott Penta® 镍多孔金属过滤器在比塑料、特氟龙或不锈钢更高的温度下工作，并充当散热器以熄灭任何潜在的火焰。
安装在气体密封系统（即阀歧管箱、工具隔离箱和气柜）内的 Mott Precision 限流器可在发生灾难性事件时限制气体流量。 它们还降低了这些通风密封系统中所需的空气置换流量，从而转化为更小的通风管道，从而降低了建设成本。
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什么是晶圆厂？
晶圆厂是“制造工厂”的缩写，是专门用于制造半导体器件（例如集成电路（IC））的专业设施。 在这些工厂中，硅晶圆经过复杂的工艺，包括掺杂、离子注入和蚀刻，才能转变成芯片。 鉴于这些过程所需的精度，保持气体和化学品的最高纯度至关重要。 莫特公司通过提供先进的过滤和气体输送解决方案来满足晶圆厂的高纯度标准，发挥着关键作用。
常见问题解答：晶圆厂设施组件
问：莫特提供哪些组件来提高晶圆厂设施的安全性？
答：莫特提供高纯度多孔 Penta® 镍散装过滤器和精密限流器，以提高晶圆厂设施的安全性和效率。
问：为什么莫特的 Penta® 镍多孔金属过滤器对于晶圆厂设施至关重要？
答：Mott 的 Penta® 镍多孔金属过滤器的工作温度高于塑料、特氟龙或不锈钢等材料。 它们充当散热器，熄灭任何潜在的火焰，这使得它们对于存在绝热压缩点火风险的工厂设施中的高压氧气系统尤其重要。
问：莫特精密限流器如何使晶圆厂设施中的气体密封系统受益？
答：莫特精密限流器安装在阀门歧管箱、工具隔离箱和气柜等气体防护系统内时，可在灾难事件期间限制气体流量。 它们还降低了通风安全壳系统中所需的空气置换流量，从而缩小了通风管道，从而降低了施工成本。 多孔金属是流量控制的理想介质，因为即使在最具挑战性的工艺条件下，它也能提供一致的层流。 与流量孔板相比，多孔金属不会堵塞或出现湍流问题，因为气体通过数千个微小孔而不是一个流动通道。
问：Mott 的解决方案如何有助于晶圆厂设施的成本节约？
答：Mott 的解决方案旨在为我们的客户提高性能并降低其产品组合的拥有成本：
限流器
通过降低通风遏制系统中所需的空气流速，莫特的精密限流器可以使用更小的通风管道，从而降低工厂设施的建设成本。 我们的多孔金属限流器可防止气体管道中的激增污染下游工艺，从而降低成本和停机时间。
有机自由扩散器
真空室中使用的扩散器位置非常靠近正在处理的晶圆。 由于靠近晶圆，纯度对于确保最佳产量和防止工具维护停机至关重要。 Mott 的无有机物解决方案消除了晶圆污染的可能性，从而提高了产量并减少了停机时间。
烧结纤维过滤器
Mott 的烧结纤维过滤器（包括使用点和散装形式）为客户提供市场上最低的压降，比烧结粉末过滤器低 6 倍。 零件之间的压差变化较小，可以在半导体工厂中实现更严格的系统控制。 与 PTFE 过滤器相比，莫特的烧结纤维过滤器的干燥时间缩短了 3-5 倍，从而减少了客户的停机时间。 此外，与基于聚四氟乙烯的过滤器解决方案相比，不存在火灾风险。
