晶圆厂设施组件

 

使用 Mott 的半导体制造设备高纯度组件提高半导体制造厂的安全性。我们的 Mott 高纯度过滤器(包括多孔 Penta® 镍块过滤器和半导体制造气体过滤器)旨在满足现代半导体制造的严格要求。

高纯度过滤解决方案

当使用无法承受高点火能量的材料(如特氟龙)时,晶圆厂设施中的高压氧气系统容易受到绝热压缩点火的影响。结果可能是灾难性的。Mott 的高纯度 Penta® 镍多孔金属过滤器的工作温度比塑料、特氟龙或不锈钢更高,可充当散热器来熄灭任何潜在的火焰。我们的大宗气体过滤解决方案可确保这些高风险环境中的安全性和效率。

晶圆厂的精密流量控制

Mott 精密流量限制器安装在气体遏制系统(如阀门歧管箱、工具隔离箱和气柜)内,以在灾难事件期间限制气体流量。这些 Mott 流量限制器还可以降低通风遏制系统中所需的空气替换流量,从而减少通风管道并降低施工成本。

 

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相关资源

典型应用:

  • 现场散装气体
  • 气门箱
  • 工具隔离盒
  • 煤气柜

半导体产品目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

高纯气体流量限制器

如果您正在寻找一种低成本的选择来实现一致的流量控制和抗堵塞,请探索我们的高纯度多孔金属限流器。

实验室与工程服务

了解我们的全套服务,包括快速原型制作、过滤器可行性、介质表征等。

什么是晶圆厂?

晶圆厂是“制造工厂”的简称,是专门制造半导体设备(如集成电路 (IC))的专用设施。在这些工厂中,硅晶片要经过掺杂、离子注入和蚀刻等复杂工艺,才能变成芯片。鉴于这些工艺所需的精度,保持气体和化学品的最高纯度至关重要。Mott Corporation 通过提供先进的半导体过滤和气体输送解决方案来满足晶圆厂的高纯度标准,发挥着关键作用。

常见问题解答:晶圆厂设施组件

问:莫特提供哪些组件来提高晶圆厂设施的安全性?

答:莫特提供高纯度多孔 Penta® 镍散装过滤器和精密限流器,以提高晶圆厂设施的安全性和效率。

问:为什么莫特的 Penta® 镍多孔金属过滤器对于晶圆厂设施至关重要?

答:Mott 的 Penta® 镍多孔金属过滤器的工作温度高于塑料、特氟龙或不锈钢等材料。 它们充当散热器,熄灭任何潜在的火焰,这使得它们对于存在绝热压缩点火风险的工厂设施中的高压氧气系统尤其重要。

问:莫特精密限流器如何使晶圆厂设施中的气体密封系统受益?

答:Mott 精密流量限制器安装在气体遏制系统(如阀门歧管箱、工具隔离箱和气柜)内时,可在灾难事件期间限制气体流量。它们还可以降低通风遏制系统中所需的空气替换流量,从而缩小通风管道,从而降低建设成本。多孔金属是流量控制的理想介质,因为它即使在最具挑战性的工艺条件下也能提供一致的层流。与流量孔相比,多孔金属不会堵塞或出现湍流问题,因为气体会通过数千个微小孔隙而不是一个流道。

问:Mott 的解决方案如何有助于晶圆厂设施的成本节约?

答:Mott 的解决方案旨在为我们的客户提高性能并降低其产品组合的拥有成本:

– 限流器:通过降低通风密封系统中所需的气流速率,Mott 的精密流量限流器可实现更小的通风管道,从而降低工厂设施的建设成本。我们的多孔金属限流器可防止气体管线中的浪涌污染下游工艺,从而降低成本和停机时间。

– 无有机扩散器:真空室中使用的扩散器位置非常靠近正在处理的晶圆。由于距离晶圆很近,因此纯度对于确保最佳产量和防止因工具维护而停机至关重要。Mott 的无有机解决方案消除了晶圆污染的可能性,从而提高了产量并减少了停机时间。

– 烧结纤维过滤器:Mott 的烧结纤维过滤器(包括使用点和散装形式)为客户提供市场上最低的压降,比烧结粉末过滤器低 6 倍。零件之间压差变化较小,可实现半导体工厂更严格的系统控制。与 PTFE 过滤器相比,Mott 的烧结纤维过滤器的干燥时间缩短了 3-5 倍,从而减少了客户的停机时间。此外,与基于特氟龙的过滤器解决方案相比,不存在火灾风险。