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晶圆厂设施组件

使用 Mott 高纯度多孔 Penta® 镍散装过滤器和 Mott Precision 限流器提高晶圆厂设施的安全性。

当系统中使用不能承受高点火能量的材料(如聚四氟乙烯)时,高压氧气系统很容易受到绝热压缩点火的影响。 结果可能是灾难性的。 Mott Penta® 镍多孔金属过滤器在比塑料、特氟龙或不锈钢更高的温度下工作,并充当散热器以熄灭任何潜在的火焰。

安装在气体密封系统(即阀歧管箱、工具隔离箱和气柜)内的 Mott Precision 限流器可在发生灾难性事件时限制气体流量。 它们还降低了这些通风密封系统中所需的空气置换流量,从而转化为更小的通风管道,从而降低了建设成本。

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相关资源

典型应用:

  • 现场散装气体
  • 气门箱
  • 工具隔离盒
  • 煤气柜

半导体产品目录

探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。

高纯气体流量限制器

如果您正在寻找一种低成本的选择来实现一致的流量控制和抗堵塞,请探索我们的高纯度多孔金属限流器。

实验室与工程服务

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