晶圆厂设施组件
使用 Mott 高纯度多孔 Penta® 镍散装过滤器和 Mott Precision 限流器提高晶圆厂设施的安全性。
当系统中使用不能承受高点火能量的材料（如聚四氟乙烯）时，高压氧气系统很容易受到绝热压缩点火的影响。 结果可能是灾难性的。 Mott Penta® 镍多孔金属过滤器在比塑料、特氟龙或不锈钢更高的温度下工作，并充当散热器以熄灭任何潜在的火焰。
安装在气体密封系统（即阀歧管箱、工具隔离箱和气柜）内的 Mott Precision 限流器可在发生灾难性事件时限制气体流量。 它们还降低了这些通风密封系统中所需的空气置换流量，从而转化为更小的通风管道，从而降低了建设成本。
