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半导体晶圆厂通过Mott的Penta®镍多孔金属过滤器提高了散装氧气系统的安全性

没有人愿意看到这个场景,更不用说造成这个场景了。

发生了什么?

当在系统中使用无法承受高点火能量的材料(如特氟龙)时,高压氧气系统易受绝热压缩点火的影响。 如您所见,结果可能是灾难性的。

根据压缩气体协会(CGA) 氧气管道和管道系统: 过滤器元件由于具有颗粒保留功能,因此被认为是高风险的撞击位置。 元素也是“高表面积体积比”组件,根据所使用的材料,它们很容易着火。 因此,元素材料的选择需要额外的注意。 系统的设计应避免过滤器或过滤器逆流运行的可能性。 常见的滤芯材料包括但不限于烧结镍。

什么是绝热压缩点火?

绝热压缩也称​​为“ GAS HAMMER”效应或“ Metal Fire”。

在纯度为99.5%的高压氧气系统中,快速打开阀门时,氧气会冲入高压管道,当氧气到达下一个阀门或调节器的管道末端时,可能发生绝热压缩。 在这里,压力将短暂高于氧气源的填充压力。

这是绝热的,因为压缩是在没有外部热量输入的情况下进行的。 但是,结果是压缩热量是局部产生的,因此我们看到的压力高于常压  温度升高,使与氧气接触的材料变得更加重要; 通常,在高温下与高压氧气接触时,不易燃材料易燃。

避免氧气燃烧,提高性能并降低拥有成本

烧结镍粉可提供最佳的防氧气着火保护。

  • 镍有一个 较高的着火温度 比塑料,铁氟龙或316不锈钢
  • 镍滤芯的高表面积 充当散热器以淬灭任何潜在的火焰

镍的其他好处包括:

  • 镍有 疏水 品质,导致 2小时干hours 而不是几天
  • 在更高的流量下,成本可与特富龙媲美,因为更高的完整性材料比特富龙的使用寿命更长,因此 最小化拥有成本,同时最大限度地提高安全性

注意:尝试在铁氟龙过滤器前使用镍筛网是完全不充分的,并且有潜在危险,因为该筛网无助于降低绝热压力升高的高温.

莫特解决方案

莫特多孔散装气体过滤器加西尔® 使用要点五角® 镍块过滤器

  • 疏水,导致干燥时间达到10 ppb H2以分钟为单位,而不是小时
  • 1.5 nm过滤(行业标准为3 nm)
  • 在晶圆厂中经过15年的验证
  • PENTA®镍介质
  • 降低dp
  • 流量范围从1500 SLPM到60,000 SLPM
  • 在较高流量下的成本可与铁氟龙媲美

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