Céramique poreuse ultra haute pureté

La technologie céramique de haute pureté de Mott, utilisant des céramiques poreuses de très haute pureté, peut être adaptée pour répondre aux exigences d'application uniques. Cette technologie céramique offre un large spectre de compatibilités chimiques et de robustesse dans des scénarios de températures et de pressions élevées. Les céramiques poreuses de haute pureté, notamment l'alumine poreuse (ou oxyde d'aluminium Al2O3), sont reconnues pour leur résistance mécanique, leur résistance à l'usure et leur résilience en milieu corrosif. 

Ces céramiques ont une température de fonctionnement maximale de 2,750 5,000 degrés Fahrenheit et peuvent résister à des pressions allant jusqu'à XNUMX XNUMX psi. Leur flexibilité géométrique leur permet d'être fabriqués sous diverses formes, depuis de petits tubes ou bagues jusqu'à des disques, des plaques ou même des mandrins électrostatiques. La durabilité et l’adaptabilité des céramiques poreuses permettent une multitude d’applications dans divers secteurs. 

La fabrication de ces céramiques dans un environnement de salle blanche de classe 100 avec de l'alumine pure à >99.5 % garantit une propreté inégalée. Les propriétés inhérentes des matériaux d'alumine de haute pureté, telles qu'une stabilité à haute température, une dureté impressionnante, une résistance à la corrosion, une dilatation thermique minimale et un point de fusion élevé, les rendent idéales pour les composants des processus CVD, les implants ioniques et d'autres processus semi-conducteurs.

 

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Documentation et fiches techniques

Applications typiques

  • Conduits de mandrin électrostatique et systèmes d'alimentation
  • Diffusion de gaz à ultra haute pureté
  • Filtration de liquide à haute température
  • Composants de fabrication de plaquettes semi-conductrices
  • Pièces d'équipement CVD
  • Composants électroniques et substrats
  • Bouchons et orifices de débit de gaz

Catalogue de produits semi-conducteurs

Explorez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit de haute pureté Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.

Spécifications du produit

Conditions d'utilisation

» Pression de fonctionnement maximale : 5,000 XNUMX psi

» Température de fonctionnement maximale : 2,750 1,500 °C (XNUMX XNUMX °F)

» Pression différentielle maximale : 1,250 XNUMX psi

Spécifications
Flux Jusqu'à 71.6 SCCM He/cm2 à 8 Torr
Variabilité de pièce à pièce <10 % à 3 sigma
Pureté du matériau >99.5% Al2O3
Taille des pores 0.2 – 5 mg
Densité % 35 +
Géométries

Petits tubes/douilles

Assiettes

Disques

  • Télécharger la feuille de coupe pour les spécifications

Nos capacités de conception

  • Courbes de débit/perte de charge et efficacité de filtration pour pratiquement toutes les conceptions
  • Considérations de compatibilité avec les gaz
  • Média filtrant personnalisé, récipient sous pression et matériel et configurations de raccords disponibles

Services pertinents pour les céramiques poreuses et les solutions céramiques de haute pureté

Expertise en conception - De la conceptualisation à la réalisation, nous personnalisons des solutions céramiques de haute pureté en fonction de vos paramètres de conception. Relevant les défis, notre équipe dévouée s'engage à fabriquer les meilleures céramiques poreuses sans compromettre la qualité, quelle que soit la complexité de la tâche.

Test Lab - Si vous avez besoin de packages de données ou de tests de faisabilité pour vos composants en céramique poreuse avant l'installation, nous sommes à votre service. Notre centre de laboratoire effectue des tests complets de caractérisation et de performance, garantissant que vos pièces répondent à des spécifications strictes. Ces tests rigoureux élucident les capacités précises et les limites potentielles des produits, évitant ainsi les dommages coûteux dus à un effort excessif ou à un stress excessif.

Soutien à l'ingénierie - Collaborez avec nos ingénieurs de projet pour approfondir les exigences de votre processus et choisir la conception de mandrin en céramique poreuse ou électrostatique adaptée à votre application. Avec une myriade d’options de personnalisation pour nos produits céramiques, nos ingénieurs experts se consacrent à garantir que ce que vous recevez correspond parfaitement à vos besoins spécifiques.

Produits de premier plan

Chez Mott, nous sommes fiers de fournir des produits de haute qualité qui ont été mis en œuvre dans plusieurs industries depuis des décennies. Nos céramiques poreuses de haute pureté sont très bien notées dans plusieurs domaines, garantissant qu'elles résisteront aux exigences de vos machines. Nous pouvons également développer des géométries supplémentaires de nos céramiques poreuses ultra haute pureté. Les représentants commerciaux de Mott sont heureux d'avoir une conversation avec vous pour déterminer si nos capacités correspondent à vos besoins !

FAQ : Céramiques poreuses de très haute pureté

Q : Quelles sont les caractéristiques uniques des céramiques poreuses de très haute pureté de Mott ?

R : Les céramiques poreuses de très haute pureté de Mott sont personnalisables selon les exigences d'application spécifiques. Ils offrent une large gamme de compatibilités chimiques et sont durables dans des environnements à haute température, haute tension et/ou haute pression. Ces céramiques sont particulièrement adaptées aux applications exigeant les normes de pureté les plus élevées.

Q : Dans quelle mesure les produits céramiques de haute pureté Mott's résistent-ils à des températures et des pressions extrêmes ?

R : Les céramiques poreuses de haute pureté de Mott peuvent fonctionner à des températures allant jusqu'à 2,750 5,000 degrés Fahrenheit et résister à des pressions allant jusqu'à XNUMX XNUMX psi. Cela les rend idéaux pour les applications exigeantes qui nécessitent une résilience aux conditions extrêmes.

Q : Sous quelles formes les céramiques poreuses de Mott peuvent-elles être fabriquées ?

R : Les céramiques poreuses de Mott présentent une grande flexibilité géométrique. Ils peuvent être fabriqués sous différentes formes telles que de petits tubes, des bagues, des disques ou des plaques de pomme de douche, répondant à divers besoins d'application. Mott développe actuellement l'impression 3D de pièces en céramique pour fabriquer des géométries complexes afin d'inclure une porosité précise si nécessaire.

Q : Quels sont les principaux avantages de l’utilisation de l’alumine poreuse dans les applications céramiques de haute pureté ?

R : L'alumine poreuse, ou oxyde d'aluminium Al2O3, offre une résistance mécanique, une résistance à l'usure et une résistance aux environnements corrosifs exceptionnelles. Sa haute stabilité à des températures élevées, sa dureté impressionnante, son excellente résistance à la corrosion, son faible coefficient de dilatation thermique et son point de fusion élevé le rendent précieux dans de nombreuses industries, en particulier dans les processus de semi-conducteurs.

Q : Les céramiques poreuses de Mott peuvent-elles être utilisées dans les applications de mandrin électrostatique ?

R : Mott peut fournir les composants essentiels d'un mandrin électrostatique pour prolonger sa durée de vie utile et améliorer ses performances de gestion thermique. Par exemple, nos bouchons en céramique poreuse avancés sont fabriqués à partir d'alumine de haute pureté avec des tailles de pores méticuleusement conçues, permettant un flux de gaz de refroidissement fiable et uniforme. Leur résistance inhérente aux claquages ​​haute tension leur permet de fonctionner pendant de longues périodes sans arc électrique, améliorant ainsi la productivité de l'outil semi-conducteur global. Grâce à ce risque réduit d'arcs électriques qui provoquent généralement des débris limitant le rendement, combiné à un refroidissement arrière plus uniforme, vous pouvez désormais maximiser les performances de votre chambre de traitement grâce à un contrôle amélioré du processus et à des calendriers de maintenance plus prévisibles.

Q : Qu’est-ce qui fait de l’alumine poreuse un matériau privilégié pour les applications céramiques de haute pureté ?

R : L'alumine poreuse, également connue sous le nom d'oxyde d'aluminium (Al2O3), est un matériau céramique réputé pour sa résistance mécanique, sa résistance à l'usure et sa résilience exceptionnelles dans les environnements corrosifs. Ses propriétés, telles que la stabilité à haute température, la dureté, la résistance à la corrosion, le faible coefficient de dilatation thermique et un point de fusion élevé, le rendent inestimable pour diverses industries. Les céramiques d'alumine poreuse de haute pureté de Mott sont fabriquées avec plus de 99.5 % d'alumine pure, garantissant des performances et une pureté optimales pour les applications critiques.