Filtres au point d'utilisation GasShield®

Pour une efficacité, une fiabilité et une régularité de débit maximales de l'industrie, les filtres au point d'utilisation GasShield® sont idéaux pour les applications de distribution de gaz à ultra haute pureté (UHP). Ces filtres de point d'utilisation sont disponibles dans une variété de matériaux et sont compatibles avec la plupart des gaz de procédé de haute pureté de qualité électronique, garantissant des performances optimales.

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Spécifications du produit

Conditions d'utilisation

»Pression de fonctionnement maximale: jusqu'à 3750 psig (258 barg)

»Température de fonctionnement maximale pour le gaz inerte: 460 ° C

»Pression différentielle maximale: 1000 psid (68.9 bar)

Matériaux

» Quincaillerie : acier inoxydable, acier inoxydable VAR ou alliage 22*

» Milieu filtrant : acier inoxydable, nickel, alliage 22* ou fibre d'acier inoxydable

» Finition de surface de la quincaillerie mouillée : 5 Ra pour la quincaillerie en acier inoxydable ou en Hastelloy®

» Options personnalisées également disponibles

*L'alliage 22 ou UNS N06022 est un superalliage nickel-chrome-molybdène communément appelé Hastelloy® C-22®

Spécifications
Taille d'élimination des particules: ≥ 0.0015 μm
Efficacité du filtre (Valeur de réduction du journal): 9 LRV (réduction de 99.9999999% des particules).

Confirmé à la taille de particule la plus pénétrante de 0.08 μm par la méthode d'essai SEMI F38-0699

Taux de fuite d'hélium: 1 x 10-9 atm cc / sec
Contribution à l'humidité: <10 ppb après 1 heure à une purge ambiante à faible débit selon la méthode d'essai SEMI F27
Hydrocarbures totaux: Inférieur aux limites détectables selon la méthode d'essai SEMASPEC 90120396B
Délestage des particules: Contribution zéro particule au-dessus du fond (<1 particule / pi³) selon la méthode d'essai SEMI F43-0308
Raccords et dimensions
POU-03

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

Joint facial mâle / mâle ¼ po 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

Joint facial mâle / mâle ½ po 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

Joint facial mâle / mâle ¼ po 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

Bouts de tube à souder bout à bout ¼ po 3.31/84.0 0.75/19.0 N/D
POU-05-FSV1 Joint facial mâle / mâle ¼ po 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

Joint facial mâle / mâle ¼ po 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

Joint facial mâle / mâle ½ po 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 Bouts de tube à souder bout à bout ¼ po 5.00/127.0 1.50/38.1 N/D
POU-10-ST3 Bouts de tube à souder bout à bout ½ po 5.00/127.0 1.50/38.1 N/D
POU-30

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
POU-30-SV3 Joint facial mâle / mâle ½ po 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 Bouts de tube à souder bout à bout ½ po 11.22/285.0 1.50/38.1 N/D
POU-015

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
POU-015-SV1 Joint facial mâle / mâle ¼ po 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 Bouts de tube à souder bout à bout ¼ po 5.00/127.0 0.75/19.0 N/D
POU-015-SV3 Joint facial mâle / mâle ½ po 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

* Conceptions et accessoires personnalisés disponibles.

Courbes d'écoulement

Consultez les fiches techniques ou l'usine pour les courbes de débit du filtre.

Nos capacités de conception

  • Courbes de débit / chute de pression et efficacité de filtration pour pratiquement n'importe quelle conception de système
  • Considérations de compatibilité avec les gaz
  • Média filtrant personnalisé, récipient sous pression et matériel de montage, y compris les configurations de filtre au point d'utilisation, disponibles

Services pertinents

Expertise en conception – Du début à la fin, nous sommes spécialisés dans solutions de personnalisation en fonction de vos paramètres de conception, mettez-nous au défi de fournir les solutions de filtrage au point d'utilisation adaptées à votre application.

Modélisation fluide – Nos applications étendues ont construit une bibliothèque de données pour augmenter la précision de nos modèles de flux pour les filtres au point d’utilisation, fournissant des estimations initiales de performances et de faisabilité avant de construire des prototypes.

Réseau de partenaires étendu – Si un matériau n'est pas répertorié ou si la capacité n'est pas interne, nous entretenons un vaste réseau de partenaires pour l'approvisionnement en nouveaux matériaux, les capacités de fabrication avancées et les tests de validation des filtres au point d'utilisation.

Soutien à l'ingénierie – Comptez sur nos ingénieurs experts pour concevoir ou sélectionner les solutions de filtrage optimales au point d'utilisation, adaptées aux besoins spécifiques de votre application.