Améliorez la sécurité dans les usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs grâce aux filtres en nickel Mott's Penta®

Par Paul Hofemann

Dans l'environnement à enjeux élevés de la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs (wafer fabs), garantir la sécurité et l'efficacité des systèmes d'oxygène gazeux en vrac est primordial. Un aspect crucial du maintien de cette sécurité implique l'utilisation d'éléments filtrants de haute qualité pour prévenir les pannes catastrophiques. Mott Corporation Filtres métalliques poreux en nickel Penta® fournir une solution efficace à ce défi, en offrant une protection supérieure contre les dangers de l’allumage par compression adiabatique.

Comprendre la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs

Une usine de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, ou usine de fabrication de plaquettes, est une usine de traitement spécialisée où les plaquettes de silicium sont transformées en circuits intégrés (CI). Ces installations sont essentielles à la production des micropuces qui équipent une large gamme d'appareils, des smartphones aux équipements médicaux. La précision et la propreté requises dans les usines de fabrication de plaquettes sont inégalées, car même les plus petits contaminants peuvent compromettre la fonctionnalité de l'ensemble du lot de plaquettes.

Les dangers de l'allumage par compression adiabatique

Qu'est-ce que l'allumage par compression adiabatique ?

Compression adiabatique, souvent appelé effet « coup de bélier » ou incendie de métal, se produit dans les systèmes d'oxygène haute pression lorsqu'une vanne est ouverte brusquement. L'afflux rapide d'oxygène dans le tube haute pression peut provoquer une compression adiabatique à l'extrémité du tube, près de la vanne ou du détendeur suivant. Il en résulte une augmentation temporaire de pression et de température sans apport de chaleur externe. Cette augmentation de température peut enflammer des matériaux autrement ininflammables, entraînant des défaillances catastrophiques.

Implications dans le monde réel

Les systèmes d'oxygène haute pression sont particulièrement sensibles à l'inflammation par compression adiabatique lorsque des matériaux ne supportant pas une énergie d'inflammation élevée, comme le Téflon, sont utilisés. Les conséquences peuvent être désastreuses, comme en témoignent de nombreux incidents où un choix de matériaux inapproprié a entraîné des explosions et des incendies.

Selon le Association des gaz comprimésSelon les directives de la CGA (California Air Gas Association) relatives aux systèmes de canalisations et de conduites d'oxygène, les éléments filtrants sont des points critiques en raison de leur fonction de rétention des particules et de leur rapport surface/volume élevé. Le choix du matériau de ces éléments est donc crucial pour prévenir l'inflammation.

Solution Mott's : filtres métalliques poreux en nickel Penta®

Pourquoi Nickel ?

Le nickel est un matériau de qualité supérieure pour les systèmes d'oxygène haute pression en raison de sa température d'inflammation élevée par rapport aux plastiques, au Téflon ou à l'acier inoxydable 316. De plus, sa grande surface spécifique agit comme un dissipateur thermique, éteignant toute flamme potentielle et empêchant l'inflammation.

Principaux avantages des filtres en nickel Penta®

• Propriétés hydrophobes : Les qualités hydrophobes du nickel entraînent des temps de séchage considérablement réduits, atteignant 10 parties par milliard (ppb) de H2O en quelques minutes plutôt qu'en quelques heures.
• Filtration supérieure : les filtres en nickel Penta® de Mott offrent une filtration de 1.5 nm, par rapport à la norme industrielle de 3 nm, garantissant une élimination supérieure des contaminants.
• Rentabilité : Bien que comparables en termes de coût au Téflon à des débits plus élevés, les filtres en nickel offrent un matériau d'intégrité supérieure qui dure plus longtemps, réduisant ainsi le coût global de possession.
• Fiabilité prouvée : le support Penta® Nickel a fait ses preuves dans les usines de fabrication de plaquettes depuis plus de 15 ans, démontrant sa fiabilité et son efficacité dans les applications critiques.

Éviter les pièges courants

L'utilisation de grilles en nickel devant les filtres en Téflon est une solution inadéquate et potentiellement dangereuse. Ces grilles ne contribuent pas à réduire les températures élevées causées par l'accumulation de pression adiabatique et peuvent néanmoins provoquer une inflammation. Les filtres en nickel Mott's Penta® offrent une solution complète qui répond à la fois aux besoins de filtration et de contrôle de la température.

L'avantage Mott : filtres en vrac GASSHIELD® au nickel Penta® pour point d'utilisation

Filtres en vrac Mott's GasShield® au nickel Penta® pour point d'utilisation Conçus pour améliorer la sécurité et les performances des systèmes d'oxygène gazeux en vrac dans les usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, ces filtres offrent :

• Séchage rapide : atteindre 10 ppb de H2O en quelques minutes, et non en quelques heures.
• Filtration haute efficacité : filtration de 1.5 nm pour une élimination supérieure des contaminants.
• Performances éprouvées : plus de 15 ans de fiabilité dans les usines de fabrication de plaquettes.
• Débits polyvalents : disponibles dans des débits de 1 500 SLPM à 60 000 SLPM.
• Rentable : Comparable en termes de coût au Téflon à des débits plus élevés, offrant une solution plus durable et plus résistante.

Assurer la sécurité et l'efficacité des usines de fabrication de plaquettes

Dans l'environnement exigeant des usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, le choix des matériaux et de la technologie de filtration peut avoir un impact significatif sur la sécurité et l'efficacité opérationnelle. Les filtres métalliques poreux en nickel Penta® de Mott's offrent une solution robuste, fiable et économique aux défis posés par les systèmes d'oxygène haute pression.

Contactez-nous dès aujourd'hui

Pour plus d'informations sur la manière dont les filtres haute pureté de Mott peuvent améliorer la sécurité et l'efficacité de votre usine de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, Contactez notre équipe commerciale Haute Pureté dès aujourd'huiEn tirant parti de l'expertise et des solutions de filtration avancées de Mott, vous pouvez assurer la sécurité et l'efficacité de votre usine de fabrication de plaquettes, en phase avec l’évolution rapide de l’industrie des semi-conducteurs.