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Améliorez la sécurité des usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs avec les filtres en nickel Mott's Penta®
Amélioration de la sécurité dans les usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs grâce aux filtres métalliques poreux en nickel Mott's Penta®

Dans l’environnement aux enjeux élevés de la fabrication de tranches de semi-conducteurs (wafer fabs), garantir la sécurité et l’efficacité des systèmes d’oxygène gazeux en vrac est primordial. Un aspect crucial du maintien de cette sécurité implique l’utilisation d’éléments filtrants de haute qualité pour éviter les pannes catastrophiques. Mott Corporation Filtres métalliques poreux Penta® en nickel apportent une solution efficace à ce défi, offrant une protection supérieure contre les dangers de l’allumage par compression adiabatique.
Comprendre la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs
Une usine de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, ou installation de fabrication de plaquettes, est une usine de traitement spécialisée dans laquelle les plaquettes de silicium sont transformées en circuits intégrés (CI). Ces installations sont essentielles à la production des micropuces qui alimentent une large gamme d’appareils, des smartphones aux équipements médicaux. La précision et la propreté requises dans la fabrication de plaquettes sont sans précédent, car même les plus petits contaminants peuvent compromettre la fonctionnalité de l'ensemble du lot de plaquettes.
Les dangers de l’allumage par compression adiabatique
Qu'est-ce que l'allumage par compression adiabatique?
Compression adiabatique, souvent appelé effet « coup de bélier » ou incendie de métal, se produit dans les systèmes d’oxygène à haute pression lorsqu’une vanne est ouverte rapidement. L'afflux rapide d'oxygène dans le tube haute pression peut provoquer une compression adiabatique à l'extrémité du tube près de la vanne ou du régulateur suivant. Il en résulte une augmentation temporaire de la pression et de la température sans aucun apport de chaleur externe. L'augmentation de la température peut enflammer des matériaux qui seraient autrement ininflammables, entraînant des pannes catastrophiques.

Implications dans le monde réel
Les systèmes d'oxygène à haute pression sont particulièrement sensibles à l'allumage par compression adiabatique lorsque des matériaux qui ne peuvent pas résister à une énergie d'inflammation élevée, tels que le téflon, sont utilisés. Les résultats peuvent être dévastateurs, comme en témoignent de nombreux incidents où une mauvaise sélection de matériaux a conduit à des explosions et des incendies.
Selon le Association des gaz comprimésSelon les directives de la CGA sur les conduites et les systèmes de tuyauterie d'oxygène, les éléments filtrants sont des points de préoccupation critiques en raison de leur fonction de rétention des particules et de leur rapport surface/volume élevé. Le choix des matériaux pour ces éléments est donc crucial pour prévenir l’inflammation.
Solution Mott : filtres métalliques poreux en nickel Penta®
Pourquoi Nickel ?
Le nickel est un matériau supérieur pour une utilisation dans les systèmes d'oxygène à haute pression en raison de sa température d'inflammation élevée par rapport aux plastiques, au téflon ou à l'acier inoxydable 316. De plus, la surface élevée du nickel agit comme un dissipateur thermique, éteignant toute flamme potentielle et empêchant l'inflammation.
Principaux avantages des filtres Penta® Nickel
- Propriétés hydrophobes : Les qualités hydrophobes du nickel entraînent des temps de séchage considérablement réduits, atteignant 10 parties par milliard (ppb) de H2O en quelques minutes plutôt qu'en heures.
- Filtration supérieure : les filtres Mott's Penta® Nickel offrent une filtration de 1.5 nm, par rapport à la norme industrielle de 3 nm, garantissant une élimination supérieure des contaminants.
- Rentabilité : Bien que leur coût soit comparable à celui du Téflon à des débits plus élevés, les filtres en nickel fournissent un matériau d'intégrité plus élevée qui dure plus longtemps, réduisant ainsi le coût global de possession.
- Fiabilité éprouvée : le support Penta® Nickel a fait ses preuves dans les usines de fabrication de plaquettes depuis plus de 15 ans, démontrant sa fiabilité et son efficacité dans les applications critiques.
Éviter les pièges courants
L'utilisation d'écrans en nickel devant les filtres en téflon est une solution inadéquate et peut être potentiellement dangereuse. L'écran n'aide pas à réduire les températures élevées provoquées par l'accumulation de pression adiabatique et peut quand même conduire à une inflammation. Les filtres Mott's Penta® Nickel offrent une solution complète qui répond à la fois aux besoins de filtration et de contrôle de la température.
L'avantage Mott : filtres en vrac en nickel Penta® au point d'utilisation GASSHIELD®
Filtres en vrac en nickel Penta® au point d'utilisation Mott's GasShield® sont conçus pour améliorer la sécurité et les performances des systèmes d’oxygène gazeux en vrac dans les usines de fabrication de tranches de semi-conducteurs. Ces filtres offrent :
- Séchage rapide : atteindre 10 ppb de H2O en quelques minutes et non en heures.
- Filtration haute efficacité : filtration de 1.5 nm pour une élimination supérieure des contaminants.
- Performances éprouvées : plus de 15 ans de fiabilité dans les usines de fabrication de plaquettes.
- Débits polyvalents : Disponible dans des débits allant de 1500 60,000 SLPM à XNUMX XNUMX SLPM.
- Rentable : coût comparable à celui du téflon à des débits plus élevés, offrant une solution plus durable et plus durable.
Assurer la sécurité et l’efficacité des usines de fabrication de plaquettes
Dans l’environnement exigeant des usines de fabrication de tranches de semi-conducteurs, le choix des matériaux et de la technologie de filtration peut avoir un impact significatif sur la sécurité et l’efficacité opérationnelle. Les filtres métalliques poreux en nickel Penta® de Mott offrent une solution robuste, fiable et rentable aux défis posés par les systèmes d'oxygène à haute pression.
Contactez-nous aujourd'hui
Pour plus d'informations sur la façon dont les filtres de haute pureté de Mott peuvent améliorer la sécurité et l'efficacité de votre usine de fabrication de plaquettes semi-conductrices, contactez notre équipe commerciale de haute pureté dès aujourd'huiEn tirant parti de l'expertise et des solutions de filtration avancées de Mott, vous pouvez assurer la sécurité et l'efficacité de votre usine de fabrication de plaquettes, en suivant le rythme de l’évolution rapide de l’industrie des semi-conducteurs.