Composants Fab Facility
Améliorez la sécurité de votre usine de fabrication de semi-conducteurs avec les composants de haute pureté de Mott pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Nos filtres Mott de haute pureté, y compris les filtres en vrac poreux Penta® Nickel et les filtres à gaz de fabrication de semi-conducteurs, sont conçus pour répondre aux exigences rigoureuses de la fabrication moderne de semi-conducteurs.
Solutions de filtration de haute pureté
Les systèmes d'oxygène à haute pression dans les installations de fabrication sont susceptibles de s'enflammer par compression adiabatique lorsque des matériaux comme le téflon, qui ne peuvent pas résister à une énergie d'inflammation élevée, sont utilisés. Le résultat peut être catastrophique. Les filtres métalliques poreux Penta® Nickel de haute pureté de Mott fonctionnent à des températures plus élevées que le plastique, le téflon ou l'acier inoxydable et agissent comme un dissipateur thermique pour éteindre toute flamme potentielle. Nos solutions de filtration de gaz en vrac garantissent sécurité et efficacité dans ces environnements à enjeux élevés.
Contrôle de flux de précision pour les usines
Les limiteurs de débit de précision Mott sont installés à l'intérieur des systèmes de confinement de gaz (tels que les boîtes de collecteurs de vannes, les boîtes d'isolation d'outils et les armoires à gaz) pour limiter le débit de gaz lors d'événements catastrophiques. Ces limiteurs de débit Mott réduisent également le débit de remplacement d'air nécessaire dans les systèmes de confinement ventilés, ce qui se traduit par des tuyaux de ventilation plus petits et des coûts de construction inférieurs.
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Documentation associée
Applications typiques:
- Gaz en vrac sur place
- Boîte de collecteur de soupape
- Boîte d'isolation d'outil
- Armoire à gaz
Catalogue de produits semi-conducteurs
Explorez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit de haute pureté Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.
Limiteurs de débit de gaz de haute pureté
Si vous recherchez une option peu coûteuse pour obtenir un contrôle de débit constant et une résistance au colmatage, explorez nos limiteurs de débit en métal poreux de haute pureté.
Services de laboratoire et d'ingénierie
Découvrez toute notre gamme de services, y compris le prototypage rapide, la faisabilité des filtres, la caractérisation des supports et plus encore.
Que sont les Fab ?
Les fabriques, abréviation de « usines de fabrication », sont des installations spécialisées dédiées à la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs, tels que les circuits intégrés (CI). Au sein de ces usines, les tranches de silicium subissent des processus complexes, notamment le dopage, l’implantation ionique et la gravure, pour se transformer en puces. Compte tenu de la précision requise dans ces processus, le maintien de la plus grande pureté des gaz et des produits chimiques est essentiel. Mott Corporation joue un rôle central en proposant des solutions avancées de filtration des semi-conducteurs et de distribution de gaz pour répondre aux normes élevées de pureté dans les usines de fabrication.
FAQ : Composants de l'installation Fab
Q : Quels composants Mott propose-t-il pour améliorer la sécurité d'une installation de fabrication ?
R : Mott fournit des filtres en vrac poreux Penta® Nickel de haute pureté et des limiteurs de débit de précision pour améliorer la sécurité et l'efficacité des installations de fabrication.
Q : Pourquoi les filtres métalliques poreux Mott's Penta® Nickel sont-ils essentiels pour une installation de fabrication ?
R : Les filtres métalliques poreux Mott's Penta® Nickel fonctionnent à des températures plus élevées que les matériaux comme le plastique, le téflon ou l'acier inoxydable. Ils agissent comme un dissipateur thermique, éteignant toute flamme potentielle, ce qui les rend particulièrement cruciaux pour les systèmes d'oxygène à haute pression dans les installations de fabrication où existent des risques d'inflammation par compression adiabatique.
Q : Comment les limiteurs de débit Mott Precision profitent-ils aux systèmes de confinement de gaz dans une usine de fabrication ?
R : Les limiteurs de débit de précision Mott, lorsqu'ils sont installés à l'intérieur de systèmes de confinement de gaz tels que des boîtes de collecteurs de vannes, des boîtes d'isolation d'outils et des armoires à gaz, limitent le débit de gaz lors d'événements catastrophiques. Ils réduisent également le débit de remplacement d'air requis dans les systèmes de confinement ventilés, ce qui conduit à des tuyaux de ventilation plus petits et, par conséquent, à des coûts de construction inférieurs. Le métal poreux est un matériau idéal pour le contrôle du débit car il fournit un écoulement laminaire constant, même dans les conditions de processus les plus difficiles. Comparé aux orifices d'écoulement, le métal poreux ne se bouche pas et ne présente pas de problèmes d'écoulement turbulent car le gaz traverse des milliers de minuscules pores plutôt qu'un seul canal d'écoulement.
Q : Comment les solutions de Mott contribuent-elles aux économies de coûts dans une usine de fabrication ?
R : Les solutions Mott sont conçues dans le but spécifique d'améliorer les performances et de réduire le coût de possession pour nos clients, à travers notre portefeuille de produits :
– Restricteurs : en réduisant le débit d'air nécessaire dans les systèmes de confinement ventilés, les limiteurs de débit de précision de Mott permettent une tuyauterie de ventilation plus petite, ce qui se traduit par des coûts de construction inférieurs pour l'installation de fabrication. Nos restricteurs en métal poreux empêchent les surtensions dans les conduites de gaz de contaminer les processus en aval, réduisant ainsi les coûts et les temps d'arrêt.
– Diffuseurs sans matières organiques : les diffuseurs utilisés dans les chambres à vide sont positionnés très près de la plaquette en cours de traitement. En raison de la proximité de la plaquette, la pureté est essentielle pour garantir un rendement optimal et éviter les temps d'arrêt pour la maintenance des outils. Les solutions sans matières organiques de Mott éliminent le risque de contamination des plaquettes, augmentant ainsi le rendement et réduisant les temps d'arrêt.
– Filtres à fibres frittées : les filtres à fibres frittées de Mott, y compris les formats au point d'utilisation et en vrac, offrent aux clients la chute de pression la plus faible du marché, 6 fois inférieure à celle des filtres à poudre frittée. Une variabilité plus faible de la pression différentielle d’une pièce à l’autre permet un contrôle plus strict du système dans l’usine de semi-conducteurs. Les filtres en fibre frittée de Mott ont un temps de séchage 3 à 5 fois inférieur à celui des filtres en PTFE, ce qui réduit les temps d'arrêt pour les clients. De plus, il n’y a aucun risque d’incendie par rapport aux solutions filtrantes à base de téflon.
