Filtres à montage en surface GasShield®
Les filtres à montage en surface Mott GasShield® offrent des capacités de filtration haut de gamme de 0.0015 μm dans les systèmes de gaz intégrés utilisés dans les outils OEM à semi-conducteurs. Ces GasShield® Les filtres à montage en surface sont conçus pour s'adapter parfaitement aux systèmes de distribution de gaz à montage en surface à quatre attaches de 1.125" et 1.5", avec les configurations C-seal et W-seal. Ils sont compatibles avec une large gamme de gaz inertes ainsi qu'avec la plupart des gaz spéciaux.
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Documentation et fiches techniques
Applications typiques
Pour une utilisation avec W-Seal et C-Seal, 1.125 "et 1.5" systèmes de distribution de gaz modulaires montés en surface.
Catalogue de produits Mott Semiconductor
Explorez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit de haute pureté Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.
Spécifications du produit
Conditions d'utilisation |
»Pression de fonctionnement maximale: 1800 psig (124.1 barg) »Température de fonctionnement maximale pour le gaz inerte: 460 ° C »Pression différentielle maximale: 500 psid (34.4 bar) |
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Matériaux |
» Quincaillerie : 316LSS ou alliage 22* » Média filtrant : nickel Penta®, acier inoxydable 316L ou alliage 22* » Finition de surface du matériel mouillé : 5 Ra » Matériaux personnalisés également disponibles *L'alliage 22 ou UNS N06022 est un superalliage nickel-chrome-molybdène communément appelé Hastelloy® C-22® |
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Spécifications |
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Données de flux |
Plus de courbes de débit disponibles, consultez l'usine ou les fiches techniques. |
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Raccords et dimensions |
Joint C GSMM-75 pour 1.125 ”
Joint C GSMM-60 pour 1.500 ”
GSMM-55 W-Seal pour 1.125 ”
GSMM-50 W-seal pour 1.500 ”
* Conceptions et accessoires personnalisés disponibles. |
Vidéos et articles
Nos capacités de conception
- Courbes débit/chute de pression et efficacité de filtration pour pratiquement toutes les conceptions de systèmes, y compris celles nécessitant un filtre monté en surface pour les outils OEM à semi-conducteurs.
- Considérations de compatibilité avec les gaz
- Média filtrant personnalisé, récipient sous pression et matériel et configurations de raccords disponibles
Services pertinents
Expertise en conception – Du début à la fin, nous personnalisons les solutions en fonction de vos paramètres de conception, que vous ayez besoin d'un filtre à montage en surface pour les outils OEM de semi-conducteurs ou d'autres applications spécialisées – mettez-nous au défi !
Modélisation fluide – Nos applications étendues ont construit une bibliothèque de données pour augmenter la précision de nos modèles de flux, garantissant ainsi les performances optimales des filtres montés en surface et d’autres composants. Nous fournissons des estimations initiales de performances et de faisabilité avant de construire des prototypes.
Réseau de partenaires étendu – Si un matériau n'est pas répertorié ou si la capacité n'est pas interne, nous entretenons un vaste réseau de partenaires pour l'approvisionnement en nouveaux matériaux, les capacités de fabrication avancées et les tests de validation, le tout pour soutenir le développement de votre filtre à montage en surface.
Soutien à l'ingénierie – Faites appel à nos ingénieurs experts pour concevoir le filtre à montage en surface adapté à votre application spécifique, garantissant les meilleures performances de filtration possibles.
Filtres à montage en surface : améliorer la fabrication de semi-conducteurs
Les filtres à montage en surface sont des composants de filtration spécialisés utilisés dans les systèmes de gaz intégrés au sein des outils OEM à semi-conducteurs. Ils jouent un rôle crucial en garantissant la pureté et la fiabilité des gaz utilisés dans les processus de fabrication des semi-conducteurs. Ces filtres sont stratégiquement placés dans les systèmes de distribution de gaz, éliminant efficacement les contaminants et les particules aussi petites que 0.0015 μm, garantissant ainsi que les gaz répondent à des normes de qualité strictes. Les filtres à montage en surface sont essentiels pour protéger les équipements semi-conducteurs sensibles, prévenir les défauts induits par la contamination et garantir des performances constantes.
Mott se distingue comme un leader dans la fourniture des meilleurs filtres à montage en surface grâce à son dévouement à l'excellence de la filtration. Les filtres Mott's sont conçus pour offrir une efficacité de filtration maximale, une cohérence de débit de pointe et une fiabilité inégalée. Leur expertise dans la personnalisation de filtres à montage en surface en fonction de paramètres de conception spécifiques garantit que chaque solution est adaptée pour répondre aux besoins uniques de diverses applications de semi-conducteurs. De plus, le vaste réseau de partenaires et le support technique de Mott garantissent que les clients reçoivent des filtres à montage en surface de haute qualité qui fonctionnent de manière optimale, contribuant ainsi au succès global des processus de fabrication de semi-conducteurs.
FAQ : Filtres à montage en surface
Q : Qu'est-ce qu'un filtre à montage en surface et où est-il généralement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs ?
R : Un filtre à montage en surface est un composant de filtration spécialisé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour fournir une filtration ultra-fine aux systèmes de distribution de gaz au sein des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Il est généralement utilisé dans les systèmes de gaz pour garantir la pureté et la propreté des gaz utilisés dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs et offre l'avantage de consommer moins d'espace sur les panneaux de gaz.
Q : Quelle taille de particules les filtres à montage en surface Mott's GasShield® éliminent-ils des gaz ?
R : Les filtres à montage en surface GasShield® de Mott offrent une efficacité de filtration de pointe, éliminant les particules aussi petites que 0.0015 μm des gaz, ce qui les rend idéaux pour les applications critiques de semi-conducteurs où le contrôle des particules est essentiel.
Q : Les filtres à montage en surface Mott's sont-ils compatibles avec tous les types de gaz utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs ?
R : Oui, les filtres à montage en surface GasShield® de Mott's sont compatibles avec une large gamme de gaz, y compris les gaz inertes et la plupart des gaz spéciaux couramment utilisés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.
Q : Comment Mott peut-il vous aider à personnaliser les filtres à montage en surface pour des applications spécifiques de fabrication de semi-conducteurs ?
R : Mott offre une expertise en conception et une assistance technique pour personnaliser les filtres à montage en surface en fonction de paramètres de conception spécifiques, garantissant que chaque solution est adaptée pour répondre aux besoins uniques de diverses applications de fabrication de semi-conducteurs.