Diffuseurs de chambre GasShield®
Les diffuseurs de gaz Mott Gasshield fournissent des flux de gaz uniformes et laminaires, minimisant ainsi les perturbations des particules. Ils éliminent efficacement les particules supérieures à 0.0015 µm, améliorant ainsi la qualité des plaquettes, et offrent une longévité de plus de 6 000 000 de cycles, ce qui en fait un choix fiable pour la fabrication de semi-conducteurs.
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Littérature et fiches techniques
Applications typiques
Les diffuseurs à chambre sont utilisés pour la ventilation dans les applications suivantes :
» sas de chargement
» chambres de transfert
» chambres de refroidissement, et
» chambres de traitement
of interfaces d'équipements semi-conducteurs (CVD, PVD, gravure, Epi) ou d'autres chambres à vide
Catalogue des produits Mott Semiconductor
Découvrez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit haute pureté de Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.
Guide d'installation du diffuseur HP
Instructions de manipulation et d'installation des produits diffuseurs GasShield® haute pureté Mott
Spécifications du produit
| Conditions d'utilisation |
» Pression de service maximale : 60 psig (4.2 barg) » Température de fonctionnement maximale pour le gaz inerte 860°F (460°C) sans joint torique 212°F (100°C) avec joint torique » Pression différentielle maximale : 75 psid (5.0 bar) |
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| Informations d'installation |
Voir le guide d'installation du diffuseur HP https://www.mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/ Remarque : pour les raccords VCR®, serrez toujours l'écrou à la main, puis 1/8 de tour au-delà du serrage manuel à l'aide d'une clé (clé compatible VCR) pour assurer un ajustement correct. |
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| Matériaux |
» Quincaillerie : SS 316L ou alliage 22* » Milieu filtrant : Fibre SS 316L ou alliage 22* » Finition de la surface du matériel mouillé : 10 Ra *L'alliage 22 ou UNS NO6022 est un superalliage nickel-chrome-molybdène communément appelé Hastelloy® C-22® |
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| Spécifications |
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| Données de flux |
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| Connexions et dimensions |
*Conceptions et accessoires personnalisés disponibles. |
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Courbes de débit disponibles. Consultez les fiches techniques et les informations d'usine pour plus d'informations.
Vidéos et articles
Nos capacités de conception
- Courbes de débit/perte de charge et efficacité de filtration pour pratiquement toutes les conceptions de systèmes
- Considérations sur la compatibilité des gaz
- Supports filtrants personnalisés, diffuseurs de gaz, récipients sous pression, matériaux et configurations de raccords disponibles
Produits et services
Expertise en conception de diffuseurs de gaz – Du début à la fin, nous nous spécialisons dans les solutions de diffuseurs de gaz personnalisées en fonction de vos paramètres de conception – défiez-nous !
Modélisation des fluides – Nos nombreuses applications ont permis de constituer une bibliothèque de données permettant d’augmenter la précision de nos modèles d’écoulement de diffuseurs de gaz, en fournissant des estimations initiales de performances et de faisabilité avant la construction de prototypes.
Réseau de partenaires étendu – Si un matériau n’est pas répertorié ou si la capacité n’est pas disponible en interne, nous maintenons un vaste réseau de partenaires pour l’approvisionnement en nouveaux matériaux, les capacités de fabrication avancées et les tests de validation des diffuseurs de gaz.
Soutien à l'ingénierie – Faites appel à nos ingénieurs experts pour concevoir les solutions de diffuseur de gaz idéales pour votre application.
À propos des diffuseurs de gaz
Les diffuseurs de gaz sont des composants essentiels utilisés dans diverses industries pour assurer une distribution uniforme et contrôlée des gaz sans perturber les particules ou les impuretés du milieu environnant. Ils jouent un rôle crucial dans des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs, où le maintien d'une atmosphère propre et exempte de particules est crucial pour des processus de production de haute qualité. Les diffuseurs de gaz contribuent à minimiser les défauts sur les plaquettes en éliminant les particules supérieures à 0.0015 μm des gaz entrants.
Mott se distingue comme fournisseur leader de diffuseurs de gaz grâce à son expertise en conception et ingénierie sur mesure. Ses diffuseurs de gaz sont adaptés à des paramètres de conception spécifiques, garantissant des performances et une fiabilité optimales. La vaste expérience de Mott, ses capacités de modélisation des fluides et son accès à des matériaux de pointe grâce à un vaste réseau de partenaires lui permettent de fournir des diffuseurs de gaz répondant aux exigences les plus strictes de l'industrie, ce qui en fait le choix privilégié pour les applications critiques de distribution de gaz.
FAQ : Diffuseurs de gaz
Q : Qu’est-ce qu’un diffuseur de gaz et comment fonctionne-t-il ?
R : Un diffuseur de gaz est un dispositif utilisé pour distribuer les gaz de manière uniforme et contrôlée, sans perturber les particules ou les contaminants présents dans le milieu environnant. Il fonctionne en diffusant les gaz entrants à travers des canaux ou des structures spécialement conçus, assurant une distribution uniforme tout en éliminant les particules dépassant une taille spécifiée du flux gazeux.
Q : Pourquoi les diffuseurs de gaz sont-ils importants dans la fabrication de semi-conducteurs ?
R : Les diffuseurs de gaz jouent un rôle crucial dans la fabrication des semi-conducteurs en maintenant un environnement propre et exempt de particules. Ils contribuent à minimiser les défauts sur les plaquettes en éliminant les particules supérieures à 0.0015 μm des gaz entrants, garantissant ainsi des processus de production de haute qualité et minimisant les pertes de rendement.
Q : Qu'est-ce qui distingue les diffuseurs de gaz Mott des autres sur le marché ?
R : Les diffuseurs de gaz Mott se distinguent par leurs capacités de conception sur mesure, leur ingénierie de précision et leur vaste expérience industrielle. Ils offrent des solutions sur mesure basées sur des paramètres de conception spécifiques, garantissant des performances et une fiabilité optimales. L'expertise de Mott en modélisation des fluides, l'accès à des matériaux de pointe grâce à un vaste réseau de partenaires et son engagement à répondre aux exigences les plus strictes de l'industrie en font un choix de confiance pour les applications critiques de distribution de gaz.
Q : Mott peut-il fournir des diffuseurs de gaz pour diverses applications et industries ?
R : Oui, Mott propose des diffuseurs de gaz personnalisables pour une large gamme d'applications et de secteurs. Que vous ayez besoin de diffuseurs de gaz pour la fabrication de semi-conducteurs, l'aérospatiale ou d'autres applications spécialisées, l'expertise en ingénierie et en conception de Mott vous permet de trouver des solutions sur mesure pour vos besoins spécifiques.
