Filtres en vrac et utilitaires de haute pureté Mott

Les filtres en vrac et utilitaires de haute pureté Mott fournissent une filtration de 9 log des particules à 0.0015 m, ce qui permet d'obtenir un gaz sans particules. Ces filtres en vrac sont parfaitement adaptés aux températures plus élevées souvent rencontrées en aval d'un purificateur lors des opérations de séchage et de chauffage.

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Spécifications du produit

Conditions d'utilisation

»Pression de fonctionnement maximale: jusqu'à 650 psig (44.8 barg)

»Température de fonctionnement maximale pour le gaz inerte: jusqu'à 450 ° C

»Pression différentielle maximale: jusqu'à 250 psid (17.2 barg)

Matériaux

»Quincaillerie: 316L SS

»Médium filtrant: fibre SS 316L ou nickel Penta®

» Finition de surface du matériel mouillé : 10 Ra

» Matériaux personnalisés également disponibles

Spécifications
Taille d'élimination des particules: ≥ 0.0015 μm
Taux de fuite d'hélium: 1 x 10-9 atm cc / sec
Contribution à l'humidité: <10 ppb après 1 heure à une purge ambiante à faible débit selon la méthode d'essai SEMI F27
Hydrocarbures totaux: Inférieur aux limites détectables selon la méthode d'essai ASTM F1398
Délestage des particules: Contribution zéro particule au-dessus du fond (<1 particule / pi³) selon la méthode d'essai SEMI F43-0308
Données de flux

Des filtres en vrac avec des débits nominaux jusqu'à 170,000 XNUMX SLPM sont disponibles. Consultez l'usine ou les fiches techniques pour des informations sur la courbe de débit.

Raccords et dimensions

BGF-310 et BGF-315

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
Tube de 2 po 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M Tube de 1.5 po 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M Tube de 1 po 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M Tube de 2 po 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M Tube de 1.5 po 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
Tube de 4 po 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M Tube de 2 po 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M Tube de 1.5 po 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M Tube de 1 po 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
Tube de 6 po 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
Tube de 4 po 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
Tube de 2 po 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
BGF-815HF-6TS-N-170M Tube de 6 po 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

Description de la pièce Type de raccord A in / mm B en / mm C en / mm
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

* Conceptions et accessoires personnalisés disponibles.

Nos capacités de conception

  • Courbes de débit / chute de pression et efficacité de filtration pour pratiquement n'importe quelle conception de système
  • Considérations de compatibilité avec les gaz
  • Média filtrant personnalisé, récipient sous pression et matériel et configurations de raccords disponibles

 

Services pertinents

Expertise en conception - Du début à la fin, nous personnalisons les solutions de filtrage en vrac en fonction de vos paramètres de conception. Mettez-nous au défi !

Certifications de qualité - Besoin de marquages ​​pour la conformité aux normes de santé, de sécurité et environnementales comme CE ? Nous avons ce qu'il vous faut.

Réseau de partenaires étendu - Si un matériau de filtre en vrac n'est pas répertorié ou si une capacité n'est pas disponible en interne, nous disposons d'un vaste réseau de partenaires pour l'approvisionnement en matériaux, la fabrication avancée et les tests de validation.

Support technique - Nos ingénieurs de projet sont à votre disposition pour vous conseiller sur votre processus et vous aider à sélectionner le filtre en vrac et utilitaire idéal pour votre application.

FAQ : Filtres à gaz en vrac et filtration

Q : Qu'est-ce qu'un filtre en vrac dans le contexte des applications d'ultra haute pureté ?

R : Un filtre en vrac est un dispositif de filtration spécialisé conçu pour traiter de grands volumes de gaz, garantissant l'élimination des contaminants et des impuretés, en particulier dans les applications d'ultra haute pureté comme la fabrication de semi-conducteurs.

Q : Comment le filtre en vrac Mott's garantit-il une filtration de 9 log ?

R : Les filtres en vrac Mott's sont conçus avec une technologie avancée de métaux poreux, leur permettant d'atteindre une filtration de 9 log. Les filtres Mott sont fabriqués avec la plus haute qualité et la porosité la plus précise du marché. Cela garantit que le gaz qui le traverse est de la plus haute pureté, exempt de particules et de contaminants.

Q : Les filtres en vrac Mott's sont-ils compatibles avec divers gaz de traitement des semi-conducteurs ?

R : Oui, les filtres en vrac Mott sont conçus pour être compatibles avec tous les gaz de traitement des semi-conducteurs de haute pureté, garantissant ainsi polyvalence et fiabilité dans une gamme d'applications difficiles. Les filtres Mott sont utilisés dans les processus de fabrication de puces les plus difficiles, y compris les technologies de nœuds avancées < 7 nm.

Q : Comment les filtres en vrac Mott's contribuent-ils à des temps de « séchage » plus rapides ?

R : Les filtres en vrac Mott's sont fabriqués avec des matériaux et des conceptions qui permettent un « séchage » rapide, ce qui signifie qu'ils atteignent des performances optimales en quelques minutes plutôt qu'en heures, réduisant ainsi les temps d'arrêt et augmentant l'efficacité.

Q : Les filtres en vrac Mott's peuvent-ils gérer les gaz corrosifs ?

R : Absolument. Les filtres en vrac Mott's sont disponibles dans divers matériaux, notamment l'acier inoxydable, l'Hastelloy® et le Penta® Nickel, ce qui les rend adaptés à la manipulation d'une gamme de gaz, y compris les gaz corrosifs.