Filtres à joints GasShield®

Les filtres à joint Mott GasShield® sont conçus pour résister à des conditions de fonctionnement extrêmes et offrir des performances de filtration optimales. Les filtres à joint GasShield permettent l'intégration d'un filtre sans ajouter de longueur au système de gaz et sont compatibles avec la plupart des gaz inertes et spéciaux, s'adaptent à l'intérieur des raccords à joint facial de 1/4", avec des éléments poreux de 1" ou 3" de long, et sont livrés complets avec joint d'étanchéité facial intégré.

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Présentation des filtres à joints GasShield

Spécifications du filtre à joint en nickel et en acier inoxydable

Catalogue de produits Mott Semiconductor

Explorez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit de haute pureté Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.

Instructions d'installation et de remplacement du filtre à joint

Instructions d'installation et de remplacement du filtre à joint

Spécifications du produit

Conditions d'utilisation

»Température de fonctionnement maximale pour le gaz inerte: 450 ° C

»Pression différentielle maximale: 1000 psid avant ou arrière (68.9 barg)

Matériaux

»Quincaillerie: 316LSS ou Nickel

»Médium filtrant: 316L SS ou Nickel

»Hastelloy ou matériaux personnalisés contactez-nous

Spécifications
Taille d'élimination des particules: ≥ 0.003 μm
Taux de fuite d'hélium: 1 x 10-9 atm cc / sec
Contribution à l'humidité: <10 ppb après 1 heure à une purge ambiante à faible débit selon la méthode d'essai SEMI F27
Hydrocarbures totaux: Inférieur aux limites détectables selon la méthode d'essai SEMASPEC 90120396B
Délestage des particules: Contribution zéro particule au-dessus du fond (<1 particule / pi³) selon la méthode d'essai SEMI F43-0308
Données de flux

Plus de courbes de débit disponibles, consultez l'usine ou les fiches techniques.

Raccords et dimensions

Installation typique

Description de la pièce Débit (SLPM) Matériau du filtre Taille du joint du joint facial (pouces) Longueur de l'élément (pouces) Intervalle de changement
GSG-V4-1-N 1 Nickel ¼ 1 Dépendant du système
GSG-V4-3-N 3 Nickel ¼ 3 Dépendant du système
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 Nickel ¼ 1 Dépendant du système
GSG-V5-1-2N 50 Nickel ½ 1 Dépendant du système
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 Dépendant du système
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 Dépendant du système
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 Dépendant du système
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 Dépendant du système

* Conceptions et accessoires personnalisés disponibles.

Nos capacités de conception

  • Courbes de débit / chute de pression et efficacité de filtration pour pratiquement n'importe quelle conception de système
  • Considérations de compatibilité avec les gaz
  • Médias filtrants personnalisés, matériaux de montage et configurations de conception matérielle disponibles

Services pertinents

Expertise en conception - Du début à la fin, nous personnalisons des solutions en fonction de vos paramètres de conception - mettez-nous au défi!

Modélisation fluide - Nos applications étendues ont construit une bibliothèque de données pour augmenter la précision de nos modèles de flux afin de fournir des estimations de performance et de faisabilité initiales avant de construire des prototypes.

Réseau de partenaires étendu - Si un matériau n'est pas répertorié ou si la capacité n'est pas en interne, nous maintenons un vaste réseau de partenaires pour l'approvisionnement en nouveaux matériaux, des capacités de fabrication avancées et des tests de validation.

Support technique - Utilisez nos ingénieurs de projet experts pour sélectionner le filtre à joint adapté à votre application.