GasShield®-Dichtungsfilter

Mott GasShield® Dichtungsfilter sind so konstruiert, dass sie extremen Betriebsbedingungen standhalten und eine optimale Filterleistung bieten. GasShield-Dichtungsfilter ermöglichen die Integration eines Filters, ohne das Gassystem länger zu machen, und sind mit den meisten Inert- und Spezialgasen kompatibel, passen in 1/4-Zoll-Flachdichtungsfittings, mit 1-Zoll- oder 3-Zoll-langen porösen Elementen und werden komplett geliefert mit integrierte Gleitringdichtung.

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Übersicht über GasShield-Dichtungsfilter

Spezifikationen für Nickel- und Edelstahl-Dichtungsfilter

Mott Semiconductor Produktkatalog

Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.

Installations- und Austauschanweisungen für den Dichtungsfilter

Grundlegende Installations- und Austauschanweisungen für Dichtungsfilter

Produktspezifikation

Betriebsbedingungen

»Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: 450 ° C.

»Maximaler Differenzdruck: 1000 psid vorwärts oder rückwärts (68.9 Bar)

Materialien

»Hardware: 316LSS oder Nickel

»Filtermedium: 316L SS oder Nickel

»Hastelloy oder kundenspezifische Materialien kontaktieren Sie uns

Spezifikationen
Partikelentfernungsgröße: ≥ 0.003 μm
Heliumleck Bewertung: 1 x 10 & supmin; & sup9; atm cm³ / s
Feuchtigkeitsbeitrag: <10 ppb nach 1 Stunde bei Umgebungsspülung mit geringem Durchfluss gemäß SEMI F27-Testmethode
Gesamtkohlenwasserstoffe: Unterhalb der nachweisbaren Grenzen gemäß SEMASPEC 90120396B-Testmethode
Partikelabwurf: Kein Partikelbeitrag über dem Hintergrund (<1 Partikel / ft³) gemäß SEMI F43-0308-Testmethode
Flussdaten

Weitere Durchflusskurven verfügbar, siehe Fabrik- oder Datenblätter.

Armaturen & Abmessungen

Typische Installation

Teil Beschreibung Durchflussbewertung (SLPM) Filtermaterial Dichtungsgröße der Gesichtsdichtung (Zoll) Elementlänge (Zoll) Wechselintervall
GSG-V4-1-N 1 Super ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V4-3-N 3 Super ¼ 3 Systemabhängig
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 Super ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V5-1-2N 50 Super ½ 1 Systemabhängig
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 Systemabhängig
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 Systemabhängig

* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich.

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Konfigurationen für Filtermedien, Anpassungsmaterial und Hardware-Design verfügbar

Relevante Dienstleistungen

Design-Expertise - Von Anfang bis Ende passen wir Lösungen an Ihre Designparameter an - fordern Sie uns heraus!

Fluidmodellierung - Unsere umfangreichen Anwendungen haben eine Datenbibliothek erstellt, um die Genauigkeit unserer Durchflussmodelle zu erhöhen und vor dem Bau von Prototypen erste Schätzungen der Leistung und Durchführbarkeit bereitzustellen.

Umfangreiches Partnernetzwerk - Wenn ein Material nicht aufgeführt ist oder nicht intern verfügbar ist, unterhalten wir ein umfangreiches Partnernetzwerk für die Beschaffung neuer Materialien, erweiterte Fertigungsfunktionen und Validierungstests.

Technische Unterstützung - Nutzen Sie unsere erfahrenen Projektingenieure, um den richtigen Dichtungsfilter für Ihre Anwendung auszuwählen.