Ultrahochreine Gaszuführungssysteme

Mott-Gasfilter aus porösem Metall eignen sich ideal für Anwendungen zur ultrahochreinen Gasversorgung, da sie eine 9-Log-Filterung von Partikeln mit einer Größe von nur 0.0015 μm ermöglichen, um partikelfreies Gas zu gewährleisten. Unsere Point-of-Use-Filter, erhältlich in Edelstahl, Hastelloy® und Penta® Nickel, ermöglichen eine Trocknung innerhalb von Minuten, nicht von Stunden. Mott-Massengasfilter sind in verschiedenen Materialien erhältlich, um die Kompatibilität mit nahezu allen hochreinen Halbleiterprozessgasen sicherzustellen.

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Typische Anwendungen:

  • Gasschrank
  • Ventilverteilerkasten

Halbleiterkatalog

Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.

Mott GasShield Fiber Bulk Gasfilter 12P23 Modelle

Ultrahochreine Filterung von Prozessinertgasen bei Durchflussraten von bis zu 15,000 m3 / h (250,000 slpm)

Labor- und Ingenieurdienstleistungen

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Was ist ein ultrahochreines Gasabgabesystem?

Ein Ultra High Purity (UHP)-Gasversorgungssystem ist eine spezielle Einrichtung, die für den Transport und die Bereitstellung von Gasen mit höchster Reinheit für bestimmte Anwendungen, wie beispielsweise die Halbleiterfertigung, konzipiert ist. Diese Systeme nutzen Motts Fachwissen in der Massengaslieferung und verfügen über fortschrittliche Filter- und Reinigungsmechanismen, um sicherzustellen, dass Verunreinigungen und Verunreinigungen effektiv aus dem Gasstrom entfernt werden. Das Hauptziel besteht darin, Gase bereitzustellen, die strenge Reinheitsstandards erfüllen und so eine optimale Leistung und Produktqualität in kritischen Anwendungen gewährleisten. Die Komponenten des Systems, einschließlich der hochmodernen Filter und Förderleitungen von Mott, bestehen häufig aus Materialien, die eine Kontamination verhindern und die Reinheit des Gases dauerhaft aufrechterhalten.

FAQs: Zuführungssysteme für ultrahochreine Gase

F: Was ist ein System zur Abgabe ultrahochreiner Gase?

A: Ein Ultra High Purity (UHP)-Gasversorgungssystem ist eine spezielle Einrichtung, die für den Transport und die Bereitstellung von Gasen mit höchster Reinheit für bestimmte Anwendungen, wie beispielsweise die Halbleiterfertigung, konzipiert ist. Es stellt sicher, dass Gase strenge Reinheitsstandards erfüllen, indem es Verunreinigungen und Verunreinigungen effektiv entfernt.

F: Warum ist ein System zur Lieferung ultrahochreiner Gase für die Industrie unerlässlich?

A: UHP-Gasversorgungssysteme sind für Branchen wie die Halbleiterfertigung, die Pharmaindustrie und die Luft- und Raumfahrtindustrie von entscheidender Bedeutung, in denen kleinste Verunreinigungen die Produktqualität, den Ertrag und die Sicherheit beeinträchtigen können. Diese Systeme gewährleisten optimale Leistung und Produktqualität in kritischen Anwendungen.

F: Wie funktioniert ein System zur Abgabe ultrahochreiner Gase?

A: Das System verfügt über fortschrittliche Filter- und Reinigungsmechanismen, um Verunreinigungen und Verunreinigungen aus dem Gasstrom zu entfernen. Komponenten, einschließlich Filter und Förderleitungen, bestehen aus Materialien, die eine Kontamination verhindern und sicherstellen, dass das Gas den gewünschten Reinheitsgrad behält.

F: Welche Komponenten sind typischerweise Teil eines ultrahochreinen Gasversorgungssystems?

A: Das System besteht normalerweise aus Komponenten wie Filtern, Reinigern, Reglern, Ventilen und Förderleitungen. Diese Komponenten bestehen oft aus Materialien, die einer Kontamination widerstehen und so die gleichbleibende Reinheit des zugeführten Gases gewährleisten.

F: Wie oft muss ein Ultrahochreingas-Zufuhrsystem gewartet werden?

A: Die Wartungshäufigkeit hängt von der Nutzung des Systems, der Art der verarbeiteten Gase und dem Grad der Verunreinigungen im Quellgas ab. Regelmäßige Inspektionen und rechtzeitige Wartung sind unerlässlich, um die Langlebigkeit des Systems und eine gleichbleibende Gasreinheit sicherzustellen.

F: Können ultrahochreine Gasversorgungssysteme mit korrosiven oder brennbaren Gasen umgehen?

A: Ja, viele UHP-Gasversorgungssysteme sind für den sicheren Umgang mit einer Vielzahl von Gasen ausgelegt, darunter brennbare, korrosive und inerte Gase. Um Sicherheit und Leistung zu gewährleisten, ist es wichtig, ein System zu wählen, das speziell auf die Art des verwendeten Gases ausgelegt ist.