Hochreine Groß- und Nutzfilter von Mott für partikelfreie Gaslieferung
Mott High Purity Bulk- und Utility-Filter bieten eine 9-log-Filterung von Partikeln bei 0.0015 μm, was zu partikelfreiem Gas führt. Diese Großfilter eignen sich ideal für die höheren Temperaturen, die häufig stromabwärts eines Reinigers bei beheizten Trockenvorgängen auftreten.
Fragen? Anruf 860.747.6333 Heute!
Literatur & Datenblätter
Typische Anwendungen
Katalog für Halbleiterprodukte
Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.
Produktspezifikation
| Betriebsbedingungen |
»Maximaler Betriebsdruck: bis zu 650 psig (44.8 psig) »Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: bis zu 450 ° C. »Maximaler Differenzdruck: bis zu 250 psid (17.2 Barg) |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Materialien |
»Hardware: 316L SS »Filtermedium: 316L SS-Faser oder Penta® Nickel » Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Hardware: 10 Ra » Auch kundenspezifische Materialien erhältlich |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Spezifikationen |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Flussdaten |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Armaturen & Abmessungen |
BGF-310 & BGF-315
BGF-610
BGF-615
BGF-815
BGF12P23
* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich. |
Bulk-Filter mit Nenndurchflüssen bis zu 170,000 SLPM sind verfügbar. Informationen zur Durchflusskurve finden Sie im Werk oder in den technischen Datenblättern.
Videos & Artikel
Unsere Designfähigkeiten
- Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
- Überlegungen zur Gaskompatibilität
- Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter sowie Anschlussmaterial und Konfigurationen erhältlich
Relevante Dienstleistungen
Design-Expertise - Von Anfang bis Ende passen wir Massenfilterlösungen basierend auf Ihren Designparametern an. Fordern Sie uns heraus!
Qualitätszertifikate - Benötigen Sie Kennzeichnungen für die Konformität mit Gesundheits-, Sicherheits- und Umweltstandards wie CE? Wir geben dir Deckung.
Umfangreiches Partnernetzwerk - Wenn ein Filtermaterial in großen Mengen nicht aufgeführt ist oder keine eigene Fähigkeit vorhanden ist, verfügen wir über ein umfangreiches Netzwerk von Partnern für Materialbeschaffung, fortschrittliche Fertigung und Validierungstests.
Technische Unterstützung - Unsere Projektingenieure beraten Sie gerne zu Ihrem Prozess und helfen Ihnen bei der Auswahl des idealen Groß- und Nutzfilters für Ihre Anwendung.
FAQs: Massengasfilter und -filtration
F: Was ist ein Massenfilter im Zusammenhang mit ultrahochreinen Anwendungen?
A: Ein Massenfilter ist ein spezielles Filtergerät, das für die Handhabung großer Gasmengen entwickelt wurde und die Entfernung von Verunreinigungen und Verunreinigungen gewährleistet, insbesondere bei Anwendungen mit ultrahoher Reinheit wie der Halbleiterfertigung.
F: Wie gewährleistet der Massenfilter von Mott eine 9-Log-Filterung?
A: Die Massenfilter von Mott sind mit fortschrittlicher poröser Metalltechnologie ausgestattet, die eine 9-Log-Filtration ermöglicht. Mott-Filter werden mit der höchsten Qualität und der höchsten Porositätspräzision auf dem Markt hergestellt. Dadurch wird sichergestellt, dass das durchströmende Gas von höchster Reinheit ist und frei von Partikeln und Verunreinigungen ist.
F: Sind die Massenfilter von Mott mit verschiedenen Halbleiterprozessgasen kompatibel?
A: Ja, die Massenfilter von Mott sind so konzipiert, dass sie mit allen hochreinen Halbleiterprozessgasen kompatibel sind und so Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit in einer Reihe anspruchsvoller Anwendungen gewährleisten. Mott-Filter werden in den anspruchsvollsten Chipherstellungsprozessen eingesetzt, einschließlich fortschrittlicher Knotentechnologien < 7 nm.
F: Wie tragen die Massenfilter von Mott zu schnelleren „Trocknungszeiten“ bei?
A: Die Massenfilter von Mott sind aus Materialien und Designs gefertigt, die ein schnelles „Trocknen“ ermöglichen, was bedeutet, dass sie innerhalb von Minuten statt Stunden eine optimale Leistung erzielen, wodurch Ausfallzeiten reduziert und die Effizienz gesteigert werden.
F: Können die Großfilter von Mott mit korrosiven Gasen umgehen?
A: Absolut. Die Massenfilter von Mott sind in verschiedenen Materialien erhältlich, darunter Edelstahl, Hastelloy® und Penta® Nickel, wodurch sie für die Handhabung einer Reihe von Gasen, einschließlich korrosiver Gase, geeignet sind.
