Mikroelektronische Engineering-Lösungen

Verbessern Sie die Sicherheit Ihrer Fabrikanlage mit hochreinen porösen Penta® Nickel-Massenfiltern und Mott Precision Flow Restrictors. Hochdrucksauerstoffsysteme sind anfällig für adiabatische Kompressionszündung, wenn im System Materialien verwendet werden, die einer hohen Zündenergie nicht standhalten können, wie z. B. Teflon. Das Ergebnis kann katastrophal sein. Poröse Metallfilter aus Nickel von Mott Penta® arbeiten bei höheren Temperaturen als Kunststoff, Teflon oder Edelstahl und fungieren als Wärmesenke, um mögliche Flammen zu löschen.

Als zuverlässiger Lieferant der weltweit führenden Hersteller von Halbleiterwerkzeugen finden sich Mott-Produkte in den meisten Halbleiterwerkzeugen. Unsere hochreinen porösen Produkte bieten eine branchenführende 9-log-Filtration von Partikeln mit einer Größe von nur 0.0015 µm, um die Waferausbeute zu maximieren.

Mott-Gasfilter aus porösem Metall eignen sich ideal für Anwendungen zur ultrahochreinen Gasversorgung, da sie eine 9-Log-Filterung von Partikeln mit einer Größe von nur 0.0015 μm ermöglichen, um partikelfreies Gas zu gewährleisten. Unsere Point-of-Use-Filter, erhältlich in Edelstahl, Hastelloy® und Penta® Nickel, ermöglichen eine Trocknung innerhalb von Minuten, nicht von Stunden. Und Mott-Filter sind in verschiedenen Materialien erhältlich, um die Kompatibilität mit nahezu allen hochreinen Halbleiterprozessgasen sicherzustellen.