Ultrahochreine poröse Keramik

Die hochreine Keramiktechnologie von Mott, bei der ultrahochreine poröse Keramiken zum Einsatz kommen, kann an individuelle Anwendungsanforderungen angepasst werden. Diese Keramiktechnologie bietet ein breites Spektrum an chemischen Kompatibilitäten und Robustheit in Hochtemperatur- und Druckszenarien. Hochreine poröse Keramiken, insbesondere poröses Aluminiumoxid (oder Aluminiumoxid Al2O3), sind für ihre mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit und Widerstandsfähigkeit in korrosiven Umgebungen bekannt. 

Diese Keramiken haben eine maximale Betriebstemperatur von 2,750 Grad Fahrenheit und können Drücken von bis zu 5,000 psi standhalten. Aufgrund ihrer geometrischen Flexibilität können sie in verschiedenen Formen hergestellt werden, von kleinen Röhren oder Buchsen bis hin zu Scheiben, Platten oder sogar elektrostatischen Spannfuttern. Die Haltbarkeit und Anpassungsfähigkeit poröser Keramiken ermöglichen eine Vielzahl von Anwendungen in verschiedenen Branchen. 

Die Herstellung dieser Keramiken in einer Reinraumumgebung der Klasse 100 mit >99.5 % reinem Aluminiumoxid gewährleistet beispiellose Sauberkeit. Die inhärenten Eigenschaften hochreiner Aluminiumoxidmaterialien, wie hohe Temperaturstabilität, beeindruckende Härte, Korrosionsbeständigkeit, minimale Wärmeausdehnung und ein hoher Schmelzpunkt, machen sie ideal für Komponenten in CVD-Prozessen, Ionenimplantationen und anderen Halbleiterprozessen.

 

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Literatur & Datenblätter

Typische Anwendungen

  • Elektrostatische Futterkanäle und Zuführsysteme
  • Ultrahochreine Gasdiffusion
  • Hochtemperatur-Flüssigkeitsfiltration
  • Komponenten für die Herstellung von Halbleiterwafern
  • CVD-Ausrüstungsteile
  • Elektronische Komponenten und Substrate
  • Gasflussstopfen und Anschlüsse

Katalog für Halbleiterprodukte

Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.

Produktspezifikation

Betriebsbedingungen

» Maximaler Betriebsdruck: 5,000 psi

» Maximale Betriebstemperatur: 2,750 °C (1,500 °F)

» Maximaler Differenzdruck: 1,250 psi

Spezifikationen
Fluss Bis zu 71.6 SCCM He/cm2 bei 8 Torr
Variabilität von Teil zu Teil <10 % bei 3-Sigma
Materielle Reinheit >99.5% Al2O3
Porengröße 0.2 – 5 mg
Dichte 35% +
Geometrien

Kleine Rohre/Buchsen

PLATTEN

Scheiben

  • Datenblatt für Spezifikationen herunterladen

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss-/Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Design
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter sowie Anschlussmaterial und Konfigurationen erhältlich

Relevante Dienstleistungen für poröse Keramik und hochreine Keramiklösungen

Design-Expertise - Von der Konzeption bis zur Fertigstellung passen wir hochreine Keramiklösungen basierend auf Ihren Designparametern an. Unser engagiertes Team stellt sich den Herausforderungen und ist bestrebt, die beste poröse Keramik ohne Kompromisse bei der Qualität herzustellen, unabhängig von der Komplexität der Aufgabe.

Lab-Tests - Sollten Sie vor der Installation Datenpakete oder Machbarkeitstests für Ihre porösen Keramikkomponenten benötigen, stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Unser Laborzentrum führt umfassende Charakterisierungs- und Leistungstests durch, um sicherzustellen, dass Ihre Teile strengen Spezifikationen entsprechen. Diese strengen Tests verdeutlichen die genauen Fähigkeiten und potenziellen Einschränkungen der Produkte und verhindern so kostspielige Schäden durch Überanstrengung oder übermäßigen Stress.

Technische Unterstützung - Arbeiten Sie mit unseren Projektingenieuren zusammen, um sich eingehend mit Ihren Prozessanforderungen zu befassen und das richtige poröse Keramik- oder elektrostatische Spannfutterdesign auszuwählen, das auf Ihre Anwendung zugeschnitten ist. Mit einer Vielzahl von Anpassungsmöglichkeiten für unsere Keramikprodukte sind unsere erfahrenen Ingenieure bestrebt, sicherzustellen, dass das, was Sie erhalten, perfekt auf Ihre spezifischen Bedürfnisse abgestimmt ist.

Erstklassige Produkte

Wir bei Mott sind stolz darauf, qualitativ hochwertige Produkte zu liefern, die seit Jahrzehnten in mehreren Branchen eingesetzt werden. Unsere hochreinen porösen Keramiken werden in mehreren Bereichen hoch bewertet, um sicherzustellen, dass sie den Anforderungen Ihrer Maschinen standhalten. Wir können auch zusätzliche Geometrien unserer ultrahochreinen porösen Keramiken entwickeln. Mott-Vertriebsmitarbeiter führen gerne eine Konservierung mit Ihnen durch, um festzustellen, ob unsere Fähigkeiten Ihren Anforderungen entsprechen!

FAQs: Ultrahochreine poröse Keramik

F: Was sind die einzigartigen Merkmale der ultrahochreinen porösen Keramik von Mott?

A: Die hochreinen porösen Keramiken von Mott können an spezifische Anwendungsanforderungen angepasst werden. Sie bieten ein breites Spektrum an chemischen Kompatibilitäten und sind in Umgebungen mit hohen Temperaturen, hoher Spannung und/oder hohem Druck langlebig. Diese Keramiken eignen sich besonders für Anwendungen, die höchste Reinheitsstandards erfordern.

F: Wie gut halten die hochreinen Keramikprodukte von Mott extremen Temperaturen und Drücken stand?

A: Die hochreine poröse Keramik von Mott kann bei Temperaturen von bis zu 2,750 Grad Fahrenheit betrieben werden und hält Drücken von bis zu 5,000 psi stand. Dies macht sie ideal für anspruchsvolle Anwendungen, die Widerstandsfähigkeit gegenüber extremen Bedingungen erfordern.

F: In welchen Formen kann die poröse Keramik von Mott hergestellt werden?

A: Die porösen Keramiken von Mott weisen eine hohe geometrische Flexibilität auf. Sie können in verschiedenen Formen hergestellt werden, z. B. als kleine Röhren, Buchsen, Scheiben oder Duschkopfplatten, um den unterschiedlichen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden. Mott entwickelt derzeit den 3D-Druck von Keramikteilen, um komplexe Geometrien herzustellen und bei Bedarf präzise Porosität einzubauen.

F: Was sind die Hauptvorteile der Verwendung von porösem Aluminiumoxid in hochreinen Keramikanwendungen?

A: Poröses Aluminiumoxid oder Aluminiumoxid Al2O3 bietet hervorragende mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit und Beständigkeit gegenüber korrosiven Umgebungen. Seine hohe Stabilität bei erhöhten Temperaturen, seine beeindruckende Härte, seine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, sein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und sein hoher Schmelzpunkt machen es in vielen Branchen wertvoll, insbesondere in Halbleiterprozessen.

F: Können die porösen Keramiken von Mott in elektrostatischen Spannfutteranwendungen verwendet werden?

A: Mott kann wichtige Komponenten eines elektrostatischen Spannfutters bereitstellen, um dessen Nutzungsdauer zu verlängern und seine Wärmemanagementleistung zu verbessern. Unsere fortschrittlichen porösen Keramikstopfen werden beispielsweise aus hochreinem Aluminiumoxid mit sorgfältig entwickelten Porengrößen hergestellt, was einen zuverlässigen und gleichmäßigen Kühlgasfluss ermöglicht. Ihre inhärente Durchbruchfestigkeit bei hoher Spannung ermöglicht einen Betrieb über längere Zeiträume ohne Lichtbögen und steigert so die Produktivität des gesamten Halbleiterwerkzeugs. Mit diesem verringerten Risiko von Lichtbogenereignissen, die typischerweise zu ertragsbegrenzenden Ablagerungen führen, kombiniert mit einer gleichmäßigeren Rückseitenkühlung, können Sie jetzt die Leistung Ihrer Prozesskammer durch verbesserte Prozesskontrolle und vorhersehbarere Wartungspläne maximieren.

F: Was macht poröses Aluminiumoxid zu einem bevorzugten Material für hochreine Keramikanwendungen?

A: Poröses Aluminiumoxid, auch bekannt als Aluminiumoxid (Al2O3), ist ein Keramikmaterial, das für seine außergewöhnliche mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit und Widerstandsfähigkeit in korrosiven Umgebungen bekannt ist. Seine Eigenschaften wie hohe Temperaturstabilität, Härte, Korrosionsbeständigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und hoher Schmelzpunkt machen es für verschiedene Branchen von unschätzbarem Wert. Die hochreine poröse Aluminiumoxidkeramik von Mott wird aus über 99.5 % reinem Aluminiumoxid hergestellt und gewährleistet optimale Leistung und Reinheit für kritische Anwendungen.