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GasShield®-Dichtungsfilter

Mott GasShield®-Dichtungsfilter sind für extreme Betriebsbedingungen ausgelegt und bieten eine außergewöhnliche Filtrationsleistung. Diese Filter integrieren sich nahtlos in das Gassystem, ohne dessen Länge zu erhöhen. GasShield-Dichtungsfilter sind mit einer Vielzahl von Inert- und Spezialgasen kompatibel und passen genau in 1/4-Zoll-Anschlüsse mit Gleitringdichtung. Sie sind mit 1 Zoll oder 3 Zoll langen porösen Elementen erhältlich und verfügen für zusätzlichen Komfort über eine integrierte Gesichtsdichtung.

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Übersicht über GasShield-Dichtungsfilter

Spezifikationen für Nickel- und Edelstahl-Dichtungsfilter

Mott Semiconductor Produktkatalog

Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.

Installations- und Austauschanweisungen für den Dichtungsfilter

Grundlegende Installations- und Austauschanweisungen für Dichtungsfilter

Produktspezifikation

Betriebsbedingungen

»Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: 450 ° C.

»Maximaler Differenzdruck: 1000 psid vorwärts oder rückwärts (68.9 Bar)

Materialien

»Hardware: 316LSS oder Nickel

»Filtermedium: 316L SS oder Nickel

»Hastelloy oder kundenspezifische Materialien kontaktieren Sie uns

Spezifikationen
Partikelentfernungsgröße: ≥ 0.003 μm
Heliumleck Bewertung: 1 x 10 & supmin; & sup9; atm cm³ / s
Feuchtigkeitsbeitrag: <10 ppb nach 1 Stunde bei Umgebungsspülung mit geringem Durchfluss gemäß SEMI F27-Testmethode
Gesamtkohlenwasserstoffe: Unterhalb der nachweisbaren Grenzen gemäß SEMASPEC 90120396B-Testmethode
Partikelabwurf: Kein Partikelbeitrag über dem Hintergrund (<1 Partikel / ft³) gemäß SEMI F43-0308-Testmethode
Flussdaten

Weitere Durchflusskurven verfügbar, siehe Fabrik- oder Datenblätter.

Armaturen & Abmessungen

Typische Installation

Teil Beschreibung Durchflussbewertung (SLPM) Filtermaterial Dichtungsgröße der Gesichtsdichtung (Zoll) Elementlänge (Zoll) Wechselintervall
GSG-V4-1-N 1 Super ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V4-3-N 3 Super ¼ 3 Systemabhängig
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 Super ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V5-1-2N 50 Super ½ 1 Systemabhängig
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 Systemabhängig
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 Systemabhängig
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 Systemabhängig

* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich.

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Filtermedien, Dichtungsfilter-Montagematerialien und Hardware-Designkonfigurationen sind verfügbar

Relevante Dienstleistungen

Design-Expertise – Von Anfang bis Ende passen wir Dichtungsfilterlösungen basierend auf Ihren Designparametern an – fordern Sie uns heraus!

Fluidmodellierung – Unsere umfangreichen Anwendungen haben eine Datenbibliothek aufgebaut, um die Genauigkeit unserer Strömungsmodelle für Dichtungsfilter zu erhöhen und vor dem Bau von Prototypen erste Leistungs- und Machbarkeitsschätzungen zu liefern.

Umfangreiches Partnernetzwerk – Wenn ein Material nicht aufgeführt ist oder die Produktion von Dichtungsfiltern nicht betriebsintern möglich ist, unterhalten wir ein umfangreiches Netzwerk von Partnern für die Beschaffung neuer Materialien, erweiterte Fertigungskapazitäten und Validierungstests.

Technische Unterstützung – Nutzen Sie unsere erfahrenen Projektingenieure, um den richtigen Dichtungsfilter für Ihre Anwendung auszuwählen und so optimale Leistung und Kompatibilität sicherzustellen.

Warum sollten Sie sich für Dichtungsfilter von Mott entscheiden?

Dichtungsfilter sind integrale Komponenten zur Steuerung des Gasflusses und zur Beseitigung von Partikeln mit einer Größe von mehr als 0.003 μm in verschiedenen Anwendungen, um die Reinheit und Integrität von Gasen sicherzustellen. Diese Filter sind von entscheidender Bedeutung für Branchen wie die Halbleiterfertigung und hochreine Prozesse, in denen die Aufrechterhaltung der Gasqualität von größter Bedeutung ist. Mott Corporation ist ein vertrauenswürdiger Marktführer auf dem Gebiet der Dichtungsfilter und bekannt für sein Engagement für Präzisionstechnik und Exzellenz in der Filterkonstruktion und -produktion. Die Dichtungsfilter von Mott sind äußerst langlebig und bieten eine außergewöhnliche Filtrationsleistung, was sie zur bevorzugten Wahl für Branchen macht, die erstklassige Gasfiltration und -reinheit erfordern.

FAQs: Dichtungsfilter

F: Was ist ein Dichtungsfilter und wie funktioniert er?

A: Ein Dichtungsfilter ist eine spezielle Filterkomponente zur Entfernung von Verunreinigungen aus Gasen oder Flüssigkeiten. Es besteht typischerweise aus einem porösen Material, das in einer dichtungsartigen Struktur eingeschlossen ist. Wenn Flüssigkeiten oder Gase durch den Filter strömen, werden Verunreinigungen zurückgehalten, sodass nur saubere Flüssigkeiten oder Gase durchgelassen werden.

F: Was sind die Hauptanwendungen für die Dichtungsfilter von Mott?

A: Die Dichtungsfilter von Mott werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter in der Halbleiterfertigung, der chemischen Verarbeitung, der pharmazeutischen Produktion und mehr. Sie sind entscheidend für die Sicherstellung der Reinheit und Qualität von Gasen und Flüssigkeiten in verschiedenen industriellen Prozessen.

F: Können die Dichtungsfilter von Mott an bestimmte Anforderungen angepasst werden?

A: Ja, Mott bietet kundenspezifische Dichtungsfilterlösungen an, die auf spezifische Filtrationsanforderungen zugeschnitten sind. Diese Anpassung umfasst die Auswahl von Filtermedien, Materialien und Konfigurationen, um eine optimale Leistung in verschiedenen Anwendungen sicherzustellen.

F: Wie langlebig sind die Dichtungsfilter von Mott und können sie rauen Betriebsbedingungen standhalten?

A: Die Dichtungsfilter von Mott sind äußerst langlebig und halten extremen Betriebsbedingungen stand, einschließlich hoher Temperaturen, Drücke und korrosiver Umgebungen. Sie sind so konstruiert, dass sie eine lang anhaltende und zuverlässige Filterleistung bieten.

F: Sind die Dichtungsfilter von Mott für eine einfache Installation mit integrierten Dichtungen ausgestattet?

A: Ja, die Dichtungsfilter von Mott sind mit integrierten Gesichtsdichtungen ausgestattet, was den Installationsprozess vereinfacht und einen sicheren, leckagefreien Sitz in kompatiblen Systemen gewährleistet.