Fab Facility-Komponenten
Verbessern Sie die Sicherheit Ihrer Produktionsstätte mit hochreinen porösen Penta® Nickel-Massenfiltern und Mott Präzisions-Durchflussbegrenzern.
Hochdruck-Sauerstoffsysteme sind anfällig für adiabatische Kompressionszündung, wenn im System Materialien verwendet werden, die einer hohen Zündenergie nicht standhalten können, wie z. B. Teflon. Das Ergebnis kann katastrophal sein. Mott Penta® Nickel poröse Metallfilter arbeiten bei höheren Temperaturen als Kunststoff, Teflon oder Edelstahl und wirken als Wärmesenke, um potenzielle Flammen zu löschen.
Mott-Präzisions-Durchflussbegrenzer, die in den Gaseindämmungssystemen (dh Ventilverteilerkasten, Werkzeugisolierkasten und Gasschrank) installiert sind, begrenzen den Gasfluss im Katastrophenfall. Sie reduzieren auch die erforderliche Luftaustauschrate in diesen belüfteten Rückhaltesystemen, was zu kleineren Entlüftungsrohren und damit niedrigeren Baukosten führt.
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Relevante Unterlagen
Typische Anwendungen:
- Massengase vor Ort
- Ventilverteilerkasten
- Werkzeugisolationsbox
- Gasschrank
Halbleiter-Produktkatalog
Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.
Hochreine Gasflussbegrenzer
Wenn Sie nach einer kostengünstigen Option suchen, um eine konsistente Durchflusskontrolle und Verstopfungsbeständigkeit zu erreichen, erkunden Sie unsere hochreinen Durchflussbegrenzer aus porösem Metall.
Lab & Engineering Services
Entdecken Sie unser gesamtes Leistungsspektrum, einschließlich Rapid Prototyping, Filtermachbarkeit, Mediencharakterisierung und mehr.
Was sind Fabs?
Fabs, kurz für „Fabrication Plants“, sind spezialisierte Einrichtungen, die sich der Herstellung von Halbleiterbauelementen wie integrierten Schaltkreisen (ICs) widmen. In diesen Anlagen durchlaufen Siliziumwafer komplizierte Prozesse, darunter Dotierung, Ionenimplantation und Ätzung, um sie in Chips umzuwandeln. Angesichts der bei diesen Prozessen erforderlichen Präzision ist die Aufrechterhaltung höchster Reinheit der Gase und Chemikalien von entscheidender Bedeutung. Die Mott Corporation spielt eine entscheidende Rolle, indem sie fortschrittliche Filtrations- und Gasversorgungslösungen anbietet, um die hohen Reinheitsstandards in Fabriken zu erfüllen.
FAQs: Fab Facility-Komponenten
F: Welche Komponenten bietet Mott an, um die Sicherheit einer Fabrikanlage zu verbessern?
A: Mott bietet hochreine poröse Penta®-Nickel-Massenfilter und Präzisions-Durchflussbegrenzer an, um die Sicherheit und Effizienz von Fabrikanlagen zu verbessern.
F: Warum sind die porösen Nickelmetallfilter Penta® von Mott für eine Fabrikanlage unerlässlich?
A: Die porösen Metallfilter Penta® Nickel von Mott arbeiten bei höheren Temperaturen als Materialien wie Kunststoff, Teflon oder Edelstahl. Sie fungieren als Wärmesenke und löschen potenzielle Flammen. Daher sind sie besonders wichtig für Hochdruck-Sauerstoffsysteme in Fabrikanlagen, in denen die Gefahr einer adiabatischen Kompressionszündung besteht.
F: Wie profitieren Mott Precision Flow Restrictors von Gaseinschlusssystemen in einer Fabrikanlage?
A: Mott Precision Flow Restrictors begrenzen den Gasfluss bei katastrophalen Ereignissen, wenn sie in Gaseindämmungssystemen wie Ventilverteilerkästen, Werkzeugisolierkästen und Gasschränken installiert werden. Sie reduzieren außerdem die erforderliche Luftaustauschrate in belüfteten Eindämmungssystemen, was zu kleineren Entlüftungsrohren und damit zu geringeren Baukosten führt. Poröses Metall ist ein ideales Medium zur Strömungskontrolle, da es selbst unter den schwierigsten Prozessbedingungen eine gleichmäßige, laminare Strömung gewährleistet. Im Vergleich zu Strömungsöffnungen kommt es bei porösem Metall nicht zu Verstopfungen oder turbulenten Strömungsproblemen, da das Gas durch Tausende winziger Poren und nicht durch einen Strömungskanal strömt.
F: Wie tragen die Lösungen von Mott zu Kosteneinsparungen in einer Fabrik bei?
A: Die Lösungen von Mott wurden mit dem spezifischen Ziel entwickelt, die Leistung zu verbessern und die Betriebskosten für unsere Kunden in unserem gesamten Produktportfolio zu senken:
Begrenzer
Durch die Reduzierung des erforderlichen Luftdurchsatzes in belüfteten Eindämmungssystemen ermöglichen die Präzisions-Durchflussbegrenzer von Mott kleinere Entlüftungsleitungen, was zu niedrigeren Baukosten für die Fabrikanlage führt. Unsere Drosseln aus porösem Metall verhindern, dass Druckstöße in Gasleitungen nachgeschaltete Prozesse verunreinigen, was Kosten und Ausfallzeiten reduziert.
Organische kostenlose Diffusoren
In Vakuumkammern verwendete Diffusoren werden sehr nahe am zu bearbeitenden Wafer positioniert. Aufgrund der Nähe zum Wafer ist die Reinheit entscheidend, um eine optimale Ausbeute zu gewährleisten und Ausfallzeiten für die Werkzeugwartung zu vermeiden. Die organikfreien Lösungen von Mott eliminieren die Möglichkeit einer Wafer-Kontamination, wodurch die Ausbeute erhöht und Ausfallzeiten reduziert werden.
Gesinterte Faserfilter
Die gesinterten Faserfilter von Mott, einschließlich Point-of-Use- und Bulk-Formaten, bieten Kunden den niedrigsten Druckabfall auf dem Markt, 6-mal niedriger als gesinterte Pulverfilter. Eine geringere Differenzdruckschwankung von Teil zu Teil ermöglicht eine strengere Systemsteuerung in der Halbleiterfabrik. Die gesinterten Faserfilter von Mott haben im Vergleich zu PTFE-Filtern eine drei- bis fünfmal kürzere Trocknungszeit, was die Ausfallzeiten für Kunden reduziert. Darüber hinaus besteht im Vergleich zu Filterlösungen auf Teflonbasis keine Brandgefahr.
