GasShield®ガスケットフィルター

MottGasShield®ガスケットフィルターは、極端な動作条件に耐え、最適なろ過性能を発揮するように作られています。 GasShieldガスケットフィルターは、ガスシステムに長さを追加することなくフィルターの統合を可能にし、ほとんどの不活性ガスおよび特殊ガスと互換性があり、1/4インチのフェイスシールフィッティング内に収まり、1インチまたは3インチの長さの多孔質要素を備えています。一体型フェイスシールガスケット。

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GasShieldガスケットフィルターの概要

ニッケルおよびステンレス鋼ガスケットフィルターの仕様

Mott Semiconductor製品カタログ

半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。

ガスケットフィルターの取り付けおよび交換手順

ガスケットフィルターの基本的な取り付けと交換の手順

製品の仕様

操作条件

»不活性ガスの最高使用温度:450°C

»最大差圧:1000 psidフォワードまたはリバース(68.9 barg)

材料

»ハードウェア:316LSSまたはニッケル

»フィルター媒体:316L SSまたはニッケル

»ハステロイまたはカスタム材料は私達に連絡します

仕様
粒子除去サイズ: ≥0.003μm
ヘリウムリーク評価: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分の寄与: SEMI F10試験方法に従って、低流量周囲パージで1時間後に<27 ppb
総炭化水素: SEMASPEC 90120396Bテスト方法による検出限界以下
パーティクルシェディング: SEMI F1-43試験方法によるバックグラウンドを超えるゼロ粒子寄与(<0308粒子/ft³)
フローデータ

利用可能なより多くのフローカーブ、工場またはスペックシートを参照してください。

フィッティングと寸法

通常のインストール

部品の説明 流量定格(SLPM) フィルター材料 面シールガスケットサイズ(インチ) 要素の長さ(インチ) 交換間隔
GSG-V4-1-N 1 ニッケル ¼ 1 システム依存
GSG-V4-3-N 3 ニッケル ¼ 3 システム依存
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 ニッケル ¼ 1 システム依存
GSG-V5-1-2N 50 ニッケル ½ 1 システム依存
GSG-V4-1-S 1 316ステンレス鋼 ¼ 1 システム依存
GSG-V4-3-S 3 316ステンレス鋼 ¼ 3 システム依存
GSG-V4-1-2S 20 316ステンレス鋼 ¼ 1 システム依存
GSG-V5-1-2S 50 316ステンレス鋼 ½ 1 システム依存

*カスタム設計と継手が利用可能です。

私たちのデザイン能力

  • ほぼすべてのシステム設計に対する流量/圧力降下曲線とろ過効率
  • ガスの互換性に関する考慮事項
  • カスタムフィルターメディア、フィッティング材料、ハードウェア設計構成が利用可能

関連サービス

デザインの専門知識 –最初から最後まで、お客様の設計パラメーターに基づいてソリューションをカスタマイズします–私たちに挑戦してください!

流体モデリング –私たちの広範なアプリケーションは、プロトタイプを構築する前に初期のパフォーマンスと実現可能性の見積もりを提供するためにフローモデルの精度を高めるためのデータのライブラリを構築しています。

広範なパートナーネットワーク– 材料がリストされていない場合、または社内に機能がない場合、新しい材料の調達、高度な製造機能、および検証テストのために、パートナーの広範なネットワークを維持しています。

エンジニアリングサポート– 専門のプロジェクトエンジニアを活用して、アプリケーションに適したガスケットフィルターを選択してください。