GasShield®表面実装フィルター
Mott GasShield® 表面実装フィルターは、半導体 OEM ツールで採用されている統合ガス システムにおいて最高級の 0.0015 μm 濾過能力を提供します。 これら ガスシールド® 表面実装フィルターは、C シールと W シールの両方の構成を備えた 1.125 インチおよび 1.5 インチの XNUMX つのファスナーの表面実装ガス分配システムにシームレスに適合するように設計されています。 これらは、ほとんどの特殊ガスだけでなく、幅広い不活性ガスと互換性があります。
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資料とデータシート
代表的なアプリケーション
WシールおよびCシールで使用するために、1.125インチおよび1.5インチの表面実装モジュール式ガス供給システム。
Mott Semiconductor製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
製品の仕様
| 操作条件 |
»最高使用圧力：1800 psig（124.1 barg） »不活性ガスの最高使用温度：460°C »最大差圧：500 psid（34.4バール） |
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| 材料 |
»ハードウェア：316LSSまたはAlloy 22 * »フィルター媒体：Penta®ニッケル、316LSSまたはAlloy22 * » 接液ハードウェアの表面仕上げ: 5 Ra » カスタム素材も利用可能 *合金22またはUNSN06022は、一般にハステロイ®C-22®と呼ばれるニッケル-クロム-モリブデン超合金です。 |
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| 仕様 |
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| フローデータ |
利用可能なより多くのフローカーブ、工場またはスペックシートを参照してください。 |
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| フィッティングと寸法 |
75インチ用GSMM-1.125 Cシール
60インチ用GSMM-1.500 Cシール
55インチ用GSMM-1.125 Wシール
50インチ用GSMM-1.500 Wシール
*カスタム設計と継手が利用可能です。 |
私たちのデザイン能力
- 半導体 OEM ツール用の表面実装フィルターを必要とするシステム設計を含む、ほぼすべてのシステム設計の流量/圧力降下曲線と濾過効率。
- ガスの互換性に関する考慮事項
- カスタムのろ材、圧力容器、フィッティング材料および構成が利用可能
関連サービス
デザインの専門知識 – 半導体 OEM ツールやその他の特殊な用途に表面実装フィルターが必要かどうかにかかわらず、当社は最初から最後までお客様の設計パラメータに基づいてソリューションをカスタマイズします。ぜひ挑戦してください。
流体モデリング – 当社の広範なアプリケーションによりデータのライブラリが構築され、流れモデルの精度が向上し、表面実装フィルターやその他のコンポーネントの最適なパフォーマンスが保証されます。 プロトタイプを構築する前に、初期のパフォーマンスと実現可能性の見積もりを提供します。
広範なパートナーネットワーク – 材料がリストに掲載されていない場合、または社内にない機能がある場合でも、当社は新しい材料の調達、高度な製造能力、検証テストのための広範なパートナーのネットワークを維持し、すべて表面実装フィルターの開発をサポートします。
エンジニアリングサポート – 当社の専門エンジニアを活用して、お客様の特定の用途に合わせた適切な表面実装フィルターを設計し、可能な限り最高の濾過性能を保証します。
表面実装フィルター: 半導体製造の強化
表面実装フィルターは、半導体 OEM ツール内の統合ガス システムで使用される特殊な濾過コンポーネントです。 これらは、半導体製造プロセスで使用されるガスの純度と信頼性を確保する上で重要な役割を果たします。 これらのフィルターはガス分配システム内に戦略的に配置され、0.0015 μm ほどの汚染物質や粒子状物質を効率的に除去し、ガスが厳しい品質基準を確実に満たすようにします。 表面実装フィルターは、傷つきやすい半導体機器を保護し、汚染による欠陥を防ぎ、一貫した性能を確保するために不可欠です。
モットは、優れた濾過への献身的な取り組みにより、最高の表面実装フィルターを提供するリーダーとして傑出しています。 モットのフィルターは、最大の濾過効率、業界をリードする流れの一貫性、比類のない信頼性を実現するように設計されています。 特定の設計パラメータに基づいて表面実装フィルターをカスタマイズする専門知識により、各ソリューションがさまざまな半導体アプリケーションの固有のニーズを満たすように調整されます。 さらに、モットの広範なパートナー ネットワークとエンジニアリング サポートにより、顧客は最適に機能する高品質の表面実装フィルターを確実に入手でき、半導体製造プロセス全体の成功に貢献します。
FAQ: 表面実装フィルター
Q: 表面実装フィルターとは何ですか? 半導体業界で通常どこで使用されますか?
A: 表面実装フィルターは、半導体製造装置内のガス分配システムに超精密濾過を提供するために半導体産業で使用される特殊な濾過コンポーネントです。 通常、さまざまな半導体製造プロセスで使用されるガスの純度と清浄度を確保するためにガス システムで使用され、ガス パネル上の占有スペースが少なくなるという利点があります。
Q: Mott の GasShield® 表面実装フィルターはどのくらいのサイズの粒子をガスから除去しますか?
A: Mott の GasShield® 表面実装フィルターは、業界をリードする濾過効率を提供し、ガスから 0.0015 μm もの粒子を除去するため、粒子制御が不可欠な重要な半導体用途に最適です。
Q: Mott の表面実装フィルターは、半導体製造で使用されるあらゆる種類のガスと互換性がありますか?
A: はい、Mott の GasShield® 表面実装フィルターは、不活性ガスや半導体製造プロセスで一般的に使用されるほとんどの特殊ガスを含む幅広いガスと互換性があります。
Q: 特定の半導体製造用途向けに表面実装フィルターをカスタマイズする際、モットはどのように支援できますか?
A: モットは、特定の設計パラメータに基づいて表面実装フィルタをカスタマイズするための設計専門知識とエンジニアリング サポートを提供し、さまざまな半導体製造アプリケーションの固有のニーズを満たすように各ソリューションを確実にカスタマイズします。
