GasShield®使用場所フィルター

最大のガス濾過効率、信頼性、業界をリードする流量の一貫性を実現するため、GasShield® 使用時点フィルターは超高純度 (UHP) ガス供給アプリケーションに最適です。 これらのポイントオブユースフィルターはさまざまな材質で入手でき、ほとんどの高純度エレクトロニクスグレードのプロセスガスと互換性があり、最適なパフォーマンスを保証します。

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資料とデータシート

代表的なアプリケーション

ポイントオブユースフィルターは、次の目的でガススティックで使用されます。

製品の仕様

操作条件

»最大動作圧力:最大3750 psig(258 barg)

»不活性ガスの最高使用温度:460°C

»最大差圧:1000 psid(68.9バール)

材料

»ハードウェア:ステンレス鋼、ステンレス鋼VAR、または合金22 *

»フィルター媒体:ステンレス鋼、ニッケル、合金22 *、またはステンレス鋼繊維

» 接液ハードウェアの表面仕上げ: ステンレス鋼または Hastelloy® ハードウェアの場合は 5 Ra

» カスタムオプションも利用可能

*合金22またはUNSN06022は、一般にハステロイ®C-22®と呼ばれるニッケル-クロム-モリブデン超合金です。

仕様
粒子除去サイズ: ≥0.0015μm
フィルター効率 (ログ削減値): 9 LRV(99.9999999%の粒子減少)。

SEMI F0.08-38試験法による0699μmの最も浸透する粒子サイズで確認

ヘリウムリーク評価: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分の寄与: SEMI F10試験方法に従って、低流量周囲パージで1時間後に<27 ppb
総炭化水素: SEMASPEC 90120396Bテスト方法による検出限界以下
パーティクルシェディング: SEMI F1-43試験方法によるバックグラウンドを超えるゼロ粒子寄与(<0308粒子/ft³)
フィッティングと寸法
POU-03

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

¼インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

½インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

¼インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

¼インチ。突合せ溶接チューブスタブ 3.31/84.0 0.75/19.0 無し
POU-05-FSV1 ¼インチオス/オスフェイスシール 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

¼インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

½インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 ¼インチ。突合せ溶接チューブスタブ 5.00/127.0 1.50/38.1 無し
POU-10-ST3 ½インチ。突合せ溶接チューブスタブ 5.00/127.0 1.50/38.1 無し
POU-30

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-30-SV3 ½インチオス/オスフェイスシール 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 ½インチ。突合せ溶接チューブスタブ 11.22/285.0 1.50/38.1 無し
POU-015

部品の説明 継手タイプ Aインチ/ mm Bインチ/ mm Cインチ/ mm
POU-015-SV1 ¼インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 ¼インチ。突合せ溶接チューブスタブ 5.00/127.0 0.75/19.0 無し
POU-015-SV3 ½インチオス/オスフェイスシール 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

*カスタム設計と継手が利用可能です。

流れ曲線

フィルターのフロー曲線については、カットシートまたは工場にお問い合わせください。

私たちのデザイン能力

  • ほぼすべてのシステム設計に対する流量/圧力降下曲線とろ過効率
  • ガスの互換性に関する考慮事項
  • カスタムフィルター媒体、圧力容器、継手材料(ユースポイントフィルター構成を含む)が利用可能

関連サービス

デザインの専門知識 – 最初から最後まで、私たちはに特化しています ソリューションのカスタマイズ お客様の設計パラメータに基づいて、お客様のアプリケーションに適切な使用時点のフィルター ソリューションを提供するよう当社に挑戦してください。

流体モデリング – 当社の広範なアプリケーションは、使用時点フィルターのフロー モデルの精度を高めるためのデータ ライブラリを構築し、プロトタイプを構築する前に初期パフォーマンスと実現可能性の見積もりを提供します。

広範なパートナーネットワーク – 材料がリストに掲載されていない場合、または社内にない機能がある場合、当社は、新しい材料の調達、高度な製造能力、および使用時点フィルターの検証テストのために、パートナーとの広範なネットワークを維持します。

エンジニアリングサポート – お客様のアプリケーション固有のニーズに合わせた最適な使用時点フィルター ソリューションを設計または選択するには、弊社の専門エンジニアにお任せください。