粒子のないガスを供給するための Mott 高純度バルクフィルターおよびユーティリティフィルター
Mott High Purity Bulk and Utility Filtersは、9μmで粒子を0.0015対数でろ過し、粒子のないガスを生成します。 これらのバルクフィルターは、加熱されたドライダウン操作中に精製器の下流でしばしば遭遇する高温に理想的に適しています。
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資料とデータシート
代表的なアプリケーション
半導体製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
製品の仕様
| 操作条件 |
»最高使用圧力：最大650 psig（44.8 barg） »不活性ガスの最大動作温度：最大450°C »最大差圧：最大250 psid（17.2 barg） |
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| 材料 |
»ハードウェア：316L SS »濾材：316L SSファイバーまたはPenta®ニッケル » 接液ハードウェアの表面仕上げ: 10 Ra » カスタム素材も利用可能 |
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| 仕様 |
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| フローデータ |
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| フィッティングと寸法 |
BGF-310＆BGF-315
BGF-610
BGF-615
BGF-815
BGF12P23
*カスタム設計と継手が利用可能です。 |
定格流量が最大170,000 SLPMのバルクフィルターを使用できます。 フローカーブの情報については、工場またはスペックシートを参照してください。
私たちのデザイン能力
- ほぼすべてのシステム設計に対する流量/圧力降下曲線とろ過効率
- ガスの互換性に関する考慮事項
- カスタムのろ材、圧力容器、フィッティング材料および構成が利用可能
関連サービス
デザインの専門知識 – 最初から最後まで、お客様の設計パラメータに基づいてバルク フィルター ソリューションをカスタマイズします。 私たちに挑戦してください！
品質認証 – CE などの健康、安全、環境基準に適合するためのマーキングが必要ですか? ご対応させていただきます。
広範なパートナーネットワーク– バルクフィルターの材料がリストに掲載されていない場合、または社内に能力がない場合でも、当社には材料調達、高度な製造、検証テストのための広範なパートナーネットワークがあります。
エンジニアリングサポート– 当社のプロジェクト エンジニアがお客様のプロセスについて相談し、アプリケーションに最適なバルクおよびユーティリティ フィルターの選択をお手伝いします。
FAQ: バルクガスフィルターとろ過
Q: 超高純度アプリケーションにおけるバルクフィルターとは何ですか?
A: バルク フィルターは、大量のガスを処理するように設計された特殊な濾過装置で、特に半導体製造などの超高純度用途において汚染物質や不純物を確実に除去します。
Q: Mott のバルクフィルターはどのようにして 9-log 濾過を保証しますか?
A: モットのバルクフィルターは高度な多孔質金属技術を使用して設計されており、9-log の濾過を実現します。 モット フィルターは、市場で最高の品質と最高の精度の気孔率で製造されています。 これにより、通過するガスの純度が最も高く、粒子や汚染物質が含まれないことが保証されます。
Q: モットのバルクフィルターはさまざまな半導体プロセスガスと互換性がありますか?
A: はい、モットのバルク フィルタは、すべての高純度半導体プロセス ガスと互換性があるように設計されており、さまざまな困難な用途において多用途性と信頼性を保証します。 モット フィルターは、7nm 未満の高度なノード テクノロジーを含む、最も困難なチップ製造プロセスで使用されます。
Q: モットのバルクフィルターは「ドライダウン」時間の短縮にどのように貢献しますか?
A: Mott のバルク フィルターは、迅速な「ドライダウン」を可能にする材料と設計で作られています。つまり、数時間ではなく数分で最適なパフォーマンスを達成し、ダウンタイムを削減し、効率を向上させます。
Q: モットのバルクフィルターは腐食性ガスに対応できますか?
A: もちろんです。 Mott のバルク フィルターは、ステンレス鋼、ハステロイ®、ペンタ® ニッケルなどのさまざまな材質で入手でき、腐食性ガスを含むさまざまなガスの処理に適しています。
