超高純度多孔質セラミック
超高純度多孔質セラミックを利用したモットの高純度セラミック技術は、独自の用途要件を満たすように調整できます。 このセラミック技術は、高温および高圧のシナリオにおいて幅広い化学的適合性と堅牢性を提供します。 高純度の多孔質セラミック、特に多孔質アルミナ (または酸化アルミニウム Al2O3) は、その機械的強度、耐摩耗性、腐食環境での弾力性が認められています。
これらのセラミックの最大動作温度は華氏 2,750 度で、最大 5,000 psi の圧力に耐えることができます。 幾何学的な柔軟性により、小さなチューブやブッシングからディスク、プレート、さらには静電チャックに至るまで、さまざまな形状に加工することができます。 多孔質セラミックの耐久性と適応性により、さまざまな分野にわたる多数の用途が可能になります。
これらのセラミックは、純度 100% 以上のアルミナを使用したクラス 99.5 のクリーン ルーム環境で製造され、比類のない清浄度が保証されます。 高温安定性、優れた硬度、耐食性、最小限の熱膨張、高い融点など、高純度アルミナ材料の固有の特性により、CVD プロセス、イオン注入、その他の半導体プロセスのコンポーネントに最適です。
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資料とデータシート
代表的なアプリケーション
- 静電チャック導管および供給システム
- 超高純度ガス拡散
- 高温液体ろ過
- 半導体ウェーハ製造コンポーネント
- CVD機器部品
- 電子部品と基板
- ガスフロープラグとポート
半導体製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
製品の仕様
| 操作条件 |
»最大動作圧力：5,000 psi »最高動作温度：2,750°F（1,500°C） »最大差圧：1,250 psi |
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| 仕様 |
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| ジオメトリ |
小さなチューブ/ブッシング プレート ディスク
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私たちのデザイン能力
- ほぼすべての設計での流量/圧力損失曲線とろ過効率
- ガスの互換性に関する考慮事項
- カスタムのろ材、圧力容器、フィッティング材料および構成が利用可能
多孔質セラミックスおよび高純度セラミックスソリューションの関連サービス
デザインの専門知識 – 概念化から完成まで、お客様の設計パラメータに基づいて高純度セラミック ソリューションをカスタマイズします。 当社の専任チームは課題を受け入れ、タスクの複雑さに関係なく、品質に妥協することなく最高の多孔質セラミックを製造することに尽力しています。
ラボテスト – 設置前に多孔質セラミックコンポーネントのデータパッケージや実現可能性テストが必要な場合は、当社がお手伝いいたします。 当社のラボセンターは包括的な特性評価と性能テストを実施し、お客様の部品が厳しい仕様を満たしていることを確認します。 この厳格なテストにより、製品の正確な機能と潜在的な制限が明らかになり、過度の運動や過度のストレスによる高価な損傷が防止されます。
エンジニアリングサポート – 当社のプロジェクト エンジニアと協力して、お客様のプロセス要件を深く掘り下げ、用途に合わせた適切な多孔質セラミックまたは静電チャックの設計を選択してください。 当社のセラミック製品には無数のカスタマイズ オプションがあり、当社の専門エンジニアは、お客様が受け取る製品がお客様の特定のニーズに完全に適合することを保証することに専念しています。
トップティア製品
モットでは、何十年にもわたっていくつかの業界で実装されてきた高品質の製品を提供できることを誇りに思っています. 当社の高純度多孔質セラミックは、いくつかの分野で高く評価されており、お客様の機械が必要とする要求に確実に対応します。 また、当社の超高純度多孔質セラミックスの追加形状を開発することもできます。 モットの営業担当者は、私たちの能力がお客様のニーズに合っているかどうかを判断するために、喜んでお客様と一緒に保全を行います!
FAQ: 超高純度多孔質セラミックス
Q: モットの超高純度多孔質セラミックスの特徴は何ですか?
A: モットの超高純度多孔質セラミックは、特定の用途要件に合わせてカスタマイズできます。 これらは幅広い化学的適合性を備え、高温、高電圧、および/または高圧環境での耐久性を備えています。 これらのセラミックは、最高の純度基準を必要とする用途に特に適しています。
Q: モットの高純度セラミック製品は、極端な温度と圧力にどのレベルまで耐えられますか?
A: モットの高純度多孔質セラミックは、華氏 2,750 度までの温度で動作し、最大 5,000 psi の圧力に耐えます。 そのため、極端な条件への耐性が必要な要求の厳しい用途に最適です。
Q: モットの多孔質セラミックスはどのような形で製造できますか?
A: モットの多孔質セラミックは、高い幾何学的柔軟性を示します。 小さなチューブ、ブッシング、ディスク、シャワーヘッド プレートなどのさまざまな形状に加工でき、さまざまな用途のニーズに応えます。 モットは現在、必要な箇所に正確な多孔性を含む複雑な形状を製造するセラミック部品の 3D プリンティングを開発中です。
Q: 高純度セラミック用途で多孔質アルミナを使用する主な利点は何ですか?
A: 多孔質アルミナ、つまり酸化アルミニウム Al2O3 は、優れた機械的強度、耐摩耗性、耐腐食性を備えています。 高温での高い安定性、優れた硬度、優れた耐食性、低い熱膨張係数、および高い融点により、多くの産業、特に半導体プロセスにおいて価値があります。
Q: モットの多孔質セラミックは静電チャック用途に使用できますか?
A: モットは、耐用年数を延ばし、熱管理性能を向上させるための静電チャックの重要なコンポーネントを提供できます。 たとえば、当社の先進的な多孔質セラミックプラグは、細心の注意を払って設計された細孔サイズを備えた高純度アルミナから作られており、信頼性の高い均一な冷却ガス流を可能にします。 固有の高電圧破壊強度により、アーク放電が発生することなく長期間動作できるため、半導体ツール全体の生産性が向上します。 通常、歩留りを制限する破片の原因となるアーク発生のリスクを軽減し、より均一な背面冷却と組み合わせることで、強化されたプロセス制御とより予測可能なメンテナンス スケジュールを通じてプロセス チャンバーのパフォーマンスを最大化できるようになります。
Q: 多孔質アルミナが高純度セラミック用途に好ましい材料である理由は何ですか?
A: 酸化アルミニウム (Al2O3) としても知られる多孔質アルミナは、その卓越した機械的強度、耐摩耗性、腐食環境での復元力で知られるセラミック材料です。 高温安定性、硬度、耐食性、低い熱膨張係数、高い融点などの特性により、さまざまな産業にとって非常に貴重なものとなっています。 モットの高純度多孔質アルミナ セラミックは 99.5% 以上の純度のアルミナを使用して製造されており、重要な用途に最適な性能と純度を保証します。
