ファブ施設コンポーネント
Mott高純度多孔質Penta®ニッケルバルクフィルターとMottPrecision Flow Restrictorsを使用して、製造施設の安全性を向上させます。
テフロンのような高い点火エネルギーに耐えられない材料がシステムで使用される場合、高圧酸素システムは断熱圧縮点火の影響を受けやすくなります。 結果は壊滅的なものになる可能性があります。 MottPenta®ニッケル多孔質金属フィルターは、プラスチック、テフロン、またはステンレス鋼よりも高温で動作し、潜在的な炎を消すためのヒートシンクとして機能します。
ガス封じ込めシステム（バルブマニホールドボックス、ツールアイソレーションボックス、ガスキャビネットなど）内に設置されたモットプレシジョンフローリストリクターは、壊滅的な事態が発生した場合のガスフローを制限します。 また、これらのベント式封じ込めシステムで必要な空気交換流量を削減し、ベント配管を小さくして建設コストを削減します。
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関連リソース
代表的なアプリケーション：
- オンサイトバルクガス
- バルブマニホールドボックス
- ツール分離ボックス
- ガスキャビネット
半導体製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
高純度ガスフローリストリクター
一貫したフロー制御と目詰まりに対する耐性を実現するための低コストのオプションをお探しの場合は、高純度の多孔質金属フローリストリクターをご検討ください。
ラボおよびエンジニアリングサービス
ラピッドプロトタイピング、フィルターの実現可能性、メディアの特性評価など、当社のあらゆるサービスをご覧ください。
ファブとは何ですか?
ファブは「製造工場」の略で、集積回路（IC）などの半導体デバイスの製造に特化した施設です。 これらの工場内では、シリコン ウェーハはドーピング、イオン注入、エッチングなどの複雑なプロセスを経てチップに変わります。 これらのプロセスで要求される精度を考慮すると、ガスと化学物質の純度を最大限に維持することが不可欠です。 Mott Corporation は、工場における高い純度基準を満たす高度な濾過およびガス供給ソリューションを提供することで極めて重要な役割を果たしています。
FAQ: 製造施設のコンポーネント
Q: 製造施設の安全性を向上させるために、Mott はどのようなコンポーネントを提供していますか?
A: Mott は、製造施設の安全性と効率を向上させるために、高純度の多孔質 Penta® ニッケル バルク フィルターと精密流量制限装置を提供しています。
Q: Mott's Penta® ニッケル多孔質金属フィルターが製造施設に不可欠なのはなぜですか?
A: Mott's Penta® ニッケル多孔質金属フィルターは、プラスチック、テフロン、ステンレス鋼などの素材よりも高温で動作します。 これらはヒートシンクとして機能し、潜在的な炎を消し、断熱圧縮着火のリスクが存在する工場施設の高圧酸素システムにとって特に重要です。
Q: Mott プレシジョン フロー リストリクターは、製造施設のガス封じ込めシステムにどのようなメリットをもたらしますか?
A: モット精密流量リストリクターは、バルブマニホールドボックス、ツール隔離ボックス、ガスキャビネットなどのガス封じ込めシステム内に設置すると、壊滅的な事態が発生した際のガス流量を制限します。 また、ベント付き格納システムで必要な空気置換流量も削減され、ベント配管の小型化につながり、その結果、建設コストが削減されます。 多孔質金属は、最も困難なプロセス条件でも一貫した層流を提供するため、流量制御に理想的な媒体です。 フローオリフィスと比較して、多孔質金属はガスが XNUMX つの流路ではなく数千の小さな細孔を通過するため、目詰まりや乱流の問題が発生しません。
Q: モットのソリューションは製造施設のコスト削減にどのように貢献しますか?
A: Mott のソリューションは、当社の製品ポートフォリオ全体にわたって、お客様のパフォーマンスを向上させ、所有コストを削減するという具体的な目標を持って設計されています。
リストリクター
モットの精密流量リストリクターは、ベント付き格納システムで必要な空気流量を減らすことにより、ベント配管の小型化を可能にし、製造施設の建設コストの削減につながります。 当社の多孔質金属リストリクターは、ガスラインの急増による下流プロセスの汚染を防ぎ、コストとダウンタイムを削減します。
オーガニックフリーディフューザー
真空チャンバーで使用されるディフューザーは、処理されるウェーハの非常に近くに配置されます。 ウェーハに近いため、最適な歩留まりを確保し、ツールのメンテナンスによるダウンタイムを防ぐためには純度が重要です。 モットの有機フリー ソリューションはウェーハ汚染の可能性を排除し、それにより歩留まりを向上させ、ダウンタイムを短縮します。
焼結繊維フィルター
モットの焼結繊維フィルターは、使用時点およびバルク形式を含め、市場で最も低い圧力損失を顧客に提供します。これは、焼結粉末フィルターの 6 分の 3 です。 部品ごとの差圧の変動が小さいため、半導体工場でのシステム制御をより厳密に行うことができます。 Mott の焼結繊維フィルターは PTFE フィルターと比較してドライダウン時間が 5 ～ XNUMX 倍短いため、お客様のダウンタイムが短縮されます。 さらに、テフロンベースのフィルターソリューションと比較して火災の危険性がありません。
