超高純度ガス供給システム

Mott の多孔質金属ガスフィルターは、9 μm もの微細な粒子を 0.0015-log ろ過し、ガスから粒子を確実に除去するため、超高純度ガス供給用途に最適です。 当社のポイントオブユースフィルターは、ステンレススチール、ハステロイ®、ペンタ® ニッケルで入手可能で、数時間ではなく数分で乾燥が可能です。 モットのバルクガスフィルターは、ほぼすべての高純度半導体プロセスガスとの互換性を確保するために、さまざまな材質で入手できます。

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代表的なアプリケーション:

  • ガスキャビネット
  • バルブマニホールドボックス

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半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。

モットガスシールドファイバーバルクガスフィルター12P23モデル

最大15,000m3 / Hr(250,000 slpm)の流量でのプロセス不活性ガスの超高純度フィルタリング

ラボおよびエンジニアリングサービス

ラピッドプロトタイピング、フィルターの実現可能性、メディアの特性評価など、当社のあらゆるサービスをご覧ください。

超高純度ガス供給システムとは

超高純度 (UHP) ガス供給システムは、最高レベルの純度のガスを半導体製造などの特定の用途に輸送および供給するように設計された特殊なセットアップです。 これらのシステムは、モットのバルクガス供給に関する専門知識を活用し、高度な濾過および精製メカニズムを組み込んで、ガス流から汚染物質や不純物を効果的に除去します。 主な目標は、厳しい純度基準を満たすガスを提供し、重要な用途で最適な性能と製品品質を保証することです。 モットの最先端のフィルターや供給ラインを含むシステムのコンポーネントは、多くの場合、汚染を防ぎ、ガスの純度を一貫して維持する材料で作られています。

FAQ: 超高純度ガス供給システム

Q: 超高純度ガス供給システムとは何ですか?

A: 超高純度 (UHP) ガス供給システムは、最高レベルの純度のガスを半導体製造などの特定の用途に輸送および供給するように設計された特殊なセットアップです。 汚染物質や不純物を効果的に除去することで、ガスが厳しい純度基準を確実に満たすようにします。

Q: 超高純度ガス供給システムが産業にとって不可欠なのはなぜですか?

A: UHP ガス供給システムは、わずかな不純物が製品の品質、歩留まり、安全性に影響を与える可能性がある半導体製造、製薬、航空宇宙などの業界にとって非常に重要です。 これらのシステムは、重要なアプリケーションにおいて最適なパフォーマンスと製品品質を保証します。

Q: 超高純度ガス供給システムはどのように機能しますか?

A: このシステムには、ガス流から汚染物質や不純物を除去するための高度な濾過および精製機構が組み込まれています。 フィルターや供給ラインなどのコンポーネントは汚染を防ぐ素材で作られており、ガスが望ましい純度レベルに保たれるようにします。

Q: 通常、超高純度ガス供給システムの一部となるコンポーネントは何ですか?

A: システムは通常、フィルター、精製器、レギュレーター、バルブ、配送ラインなどのコンポーネントで構成されます。 これらのコンポーネントは多くの場合、汚染に強い材料で作られており、供給されるガスの一貫した純度が保証されます。

Q: 超高純度ガス供給システムはどのくらいの頻度でメンテナンスが必要ですか?

A: メンテナンスの頻度は、システムの使用状況、処理されるガスの種類、ソースガス中の汚染物質のレベルによって異なります。 システムの寿命と一貫したガス純度を確保するには、定期的な検査と適時のメンテナンスが不可欠です。

Q: 超高純度ガス供給システムは腐食性ガスや可燃性ガスを処理できますか?

A: はい、多くの UHP ガス供給システムは、可燃性ガス、腐食性ガス、不活性ガスなどのさまざまなガスを安全に処理できるように設計されています。 安全性とパフォーマンスを確保するには、使用するガスの種類に合わせて特別に設計されたシステムを選択することが重要です。