Filtros de juntas GasShield®

Los filtros de juntas Mott GasShield® están fabricados para soportar condiciones de funcionamiento extremas y ofrecer un rendimiento de filtración óptimo. Los filtros de juntas GasShield permiten la integración de un filtro sin agregar longitud al sistema de gas y son compatibles con la mayoría de los gases inertes y especiales, se ajustan dentro de los accesorios de sello de cara de 1/4 ”, con elementos porosos de 1” o 3 ”de largo, y vienen completos con junta de sello de cara integral.

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Descripción general de los filtros de juntas GasShield

Especificaciones del filtro de junta de níquel y acero inoxidable

Catálogo de productos de semiconductores Mott

Explore la amplia gama de filtros, difusores y limitadores de flujo de alta pureza de Mott diseñados exclusivamente para fabricantes de semiconductores.

Instrucciones de instalación y reemplazo del filtro de junta

Instrucciones básicas de instalación y reemplazo del filtro de empaquetadura

Especificaciones del producto

Condiciones de Operación

»Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte: 450 ° C

»Presión diferencial máxima: 1000 psid hacia adelante o hacia atrás (68.9 barg)

Materiales

»Hardware: 316LSS o níquel

»Medio de filtro: 316L SS o níquel

»Hastelloy o materiales personalizados contáctenos

Especificaciones
Tamaño de eliminación de partículas: ≥ 0.003 μm
Clasificación de fuga de helio: 1 x 10-9 atm cc / seg
Contribución de humedad: <10 ppb después de 1 hora con purga ambiental de flujo bajo según el método de prueba SEMI F27
Hidrocarburos Totales: Por debajo de los límites detectables según el método de prueba SEMASPEC 90120396B
Derramamiento de partículas: Contribución de cero partículas por encima del fondo (<1 partícula / pie³) según el método de prueba SEMI F43-0308
Datos de flujo

Más curvas de flujo disponibles, consulte la fábrica o las hojas de especificaciones.

Accesorios y dimensiones

Instalación típica

Descripción De Pieza Clasificación de flujo (SLPM) Material de filtro Tamaño de la junta del sello de la cara (pulgadas) Longitud del elemento (pulgadas) Intervalo de cambio
GSG-V4-1-N 1 Níquel ¼ 1 Sistema dependiente
GSG-V4-3-N 3 Níquel ¼ 3 Sistema dependiente
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 Níquel ¼ 1 Sistema dependiente
GSG-V5-1-2N 50 Níquel ½ 1 Sistema dependiente
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 Sistema dependiente
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 Sistema dependiente
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 Sistema dependiente
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 Sistema dependiente

* Diseños personalizados y accesorios disponibles.

Nuestras capacidades de diseño

  • Curvas de caída de flujo / presión y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño de sistema
  • Consideraciones de compatibilidad de gas
  • Medios de filtro personalizados, material de ajuste y configuraciones de diseño de hardware disponibles

Servicios relevantes

Experiencia en diseño - De principio a fin, personalizamos soluciones basadas en sus parámetros de diseño: ¡desafíenos!

Modelado de fluidos - Nuestras amplias aplicaciones han creado una biblioteca de datos para aumentar la precisión de nuestros modelos de flujo para proporcionar estimaciones iniciales de rendimiento y viabilidad antes de construir prototipos.

Amplia red de socios Si un material no está en la lista o la capacidad no es interna, mantenemos una extensa red de socios para la adquisición de nuevos materiales, capacidades de fabricación avanzadas y pruebas de validación.

Soporte de ingeniería - Utilice nuestros ingenieros de proyectos expertos para seleccionar el filtro de junta adecuado para su aplicación.