Filtros de montaje en superficie GasShield®
Los filtros de montaje superficial Mott GasShield® ofrecen capacidades de filtración de 0.0015 μm de primera línea en sistemas de gas integrados empleados en herramientas OEM de semiconductores. Estos GasShield® Los filtros de montaje en superficie están diseñados para encajar perfectamente en los sistemas de distribución de gas de montaje en superficie de cuatro sujetadores de 1.125” y 1.5”, con configuraciones de sello C y sello W. Son compatibles con una amplia gama de gases inertes, así como con la mayoría de los gases especiales.
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Literatura y hojas de datos
Aplicaciones típicas
Para usar con sello W y sello C, sistemas de suministro de gas modulares de montaje en superficie de 1.125 "y 1.5".
Catálogo de productos de semiconductores Mott
Explore la amplia gama de filtros, difusores y limitadores de flujo de alta pureza de Mott diseñados exclusivamente para fabricantes de semiconductores.
Especificaciones del producto
| Condiciones de Operación |
»Presión máxima de funcionamiento: 1800 psig (124.1 barg) »Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte: 460 ° C »Presión diferencial máxima: 500 psid (34.4 bar) |
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| Materiales |
» Herrajes: 316LSS o aleación 22* » Medio filtrante: Penta® Nickel, 316L SS o aleación 22* » Acabado superficial de herrajes húmedos: 5 Ra »Materiales personalizados también disponibles *La aleación 22 o UNS N06022 es una superaleación de níquel-cromo-molibdeno comúnmente conocida como Hastelloy® C-22® |
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| Especificaciones |
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| Datos de flujo |
Más curvas de flujo disponibles, consulte la fábrica o las hojas de especificaciones. |
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| Accesorios y dimensiones |
Sello C GSMM-75 para 1.125 "
Sello C GSMM-60 para 1.500 "
GSMM-55 W-Seal para 1.125 "
GSMM-50 W-seal para 1.500 "
* Diseños personalizados y accesorios disponibles. |
Videos y artículos
Nuestras capacidades de diseño
- Curvas de flujo/caída de presión y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño de sistema, incluidos aquellos que requieren un filtro de montaje en superficie para herramientas OEM de semiconductores.
- Consideraciones de compatibilidad de gas
- Medios de filtro personalizados, recipiente a presión y material de ajuste y configuraciones disponibles
Servicios relevantes
Experiencia en diseño – De principio a fin, personalizamos soluciones en función de sus parámetros de diseño, ya sea que necesite un filtro de montaje en superficie para herramientas OEM de semiconductores u otras aplicaciones especializadas: ¡desafíanos!
Modelado de fluidos – Nuestras amplias aplicaciones han creado una biblioteca de datos para aumentar la precisión de nuestros modelos de flujo, asegurando el rendimiento óptimo de los filtros de montaje en superficie y otros componentes. Proporcionamos estimaciones iniciales de rendimiento y viabilidad antes de construir prototipos.
Amplia red de socios – Si un material no figura en la lista o la capacidad no es interna, mantenemos una extensa red de socios para la adquisición de nuevos materiales, capacidades de fabricación avanzadas y pruebas de validación, todo para respaldar el desarrollo de su filtro de montaje en superficie.
Soporte de Ingeniería – Utilice nuestros ingenieros expertos para diseñar el filtro de montaje en superficie adecuado y adaptado a su aplicación específica, garantizando el mejor rendimiento de filtración posible.
Filtros de montaje superficial: mejora de la fabricación de semiconductores
Los filtros de montaje en superficie son componentes de filtración especializados que se utilizan en sistemas de gas integrados dentro de herramientas OEM de semiconductores. Desempeñan un papel crucial para garantizar la pureza y confiabilidad de los gases utilizados en los procesos de fabricación de semiconductores. Estos filtros están ubicados estratégicamente dentro de los sistemas de distribución de gas, eliminando de manera eficiente contaminantes y partículas de hasta 0.0015 μm, lo que garantiza que los gases cumplan con estrictos estándares de calidad. Los filtros de montaje en superficie son esenciales para proteger equipos semiconductores sensibles, prevenir defectos inducidos por contaminación y garantizar un rendimiento constante.
Mott se destaca como líder en el suministro de los mejores filtros de montaje en superficie debido a su dedicación a la excelencia en la filtración. Los filtros de Mott están diseñados para ofrecer máxima eficiencia de filtración, consistencia de flujo líder en la industria y confiabilidad inigualable. Su experiencia en la personalización de filtros de montaje superficial en función de parámetros de diseño específicos garantiza que cada solución esté diseñada para satisfacer las necesidades únicas de diversas aplicaciones de semiconductores. Además, la amplia red de socios y el soporte de ingeniería de Mott garantizan que los clientes reciban filtros de montaje en superficie de alta calidad que funcionan de manera óptima, lo que contribuye al éxito general de los procesos de fabricación de semiconductores.
Preguntas frecuentes: filtros de montaje en superficie
P: ¿Qué es un filtro de montaje superficial y dónde se utiliza normalmente en la industria de los semiconductores?
R: Un filtro de montaje superficial es un componente de filtración especializado que se utiliza en la industria de semiconductores para proporcionar filtración ultrafina para sistemas de distribución de gas dentro de equipos de fabricación de semiconductores. Normalmente se emplea en sistemas de gas para garantizar la pureza y limpieza de los gases utilizados en diversos procesos de fabricación de semiconductores y ofrece la ventaja de consumir menos espacio en los paneles de gas.
P: ¿Qué tamaño de partículas eliminan de los gases los filtros de montaje en superficie GasShield® de Mott?
R: Los filtros de montaje superficial GasShield® de Mott brindan una eficiencia de filtración líder en la industria, eliminando partículas tan pequeñas como 0.0015 μm de los gases, lo que los hace ideales para aplicaciones de semiconductores críticas donde el control de partículas es esencial.
P: ¿Los filtros de montaje superficial de Mott son compatibles con todos los tipos de gases utilizados en la fabricación de semiconductores?
R: Sí, los filtros de montaje en superficie GasShield® de Mott son compatibles con una amplia gama de gases, incluidos gases inertes y la mayoría de los gases especiales que se utilizan comúnmente en los procesos de fabricación de semiconductores.
P: ¿Cómo puede ayudar Mott a personalizar los filtros de montaje en superficie para aplicaciones específicas de fabricación de semiconductores?
R: Mott ofrece experiencia en diseño y soporte de ingeniería para personalizar filtros de montaje en superficie según parámetros de diseño específicos, garantizando que cada solución se adapte a las necesidades únicas de diversas aplicaciones de fabricación de semiconductores.
