Filtros de punto de uso GasShield®

Para obtener máxima eficiencia de filtración de gas, confiabilidad y consistencia de flujo líder en la industria, los filtros de punto de uso GasShield® son ideales para aplicaciones de suministro de gas de pureza ultra alta (UHP). Estos filtros de punto de uso están disponibles en una variedad de materiales y son compatibles con la mayoría de los gases de proceso de grado electrónico de alta pureza, lo que garantiza un rendimiento óptimo.

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Especificaciones del producto

Condiciones de Operación

»Presión máxima de funcionamiento: hasta 3750 psig (258 barg)

»Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte: 460 ° C

»Presión diferencial máxima: 1000 psid (68.9 bar)

Materiales

» Herrajes: acero inoxidable, acero inoxidable VAR o aleación 22*

» Medio filtrante: acero inoxidable, níquel, aleación 22* o fibra de acero inoxidable

» Acabado superficial de herrajes húmedos: 5 Ra para herrajes de acero inoxidable o Hastelloy®

»Opciones personalizadas también disponibles

*La aleación 22 o UNS N06022 es una superaleación de níquel-cromo-molibdeno comúnmente conocida como Hastelloy® C-22®

Especificaciones
Tamaño de eliminación de partículas: ≥ 0.0015 μm
Eficiencia del filtro (Valor de reducción de registro): 9 LRV (99.9999999% de reducción en partículas).

Confirmado con el tamaño de partícula más penetrante de 0.08 μm por método de prueba SEMI F38-0699

Clasificación de fuga de helio: 1 x 10 -9 atm cc / seg
Contribución de humedad: <10 ppb después de 1 hora con purga ambiental de flujo bajo según el método de prueba SEMI F27
Hidrocarburos Totales: Por debajo de los límites detectables según el método de prueba SEMASPEC 90120396B
Derramamiento de partículas: Contribución de cero partículas por encima del fondo (<1 partícula / pie³) según el método de prueba SEMI F43-0308
Accesorios y dimensiones
POU-03

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

Sellado facial macho / macho de ¼ in. 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

Sellado facial macho / macho de ½ pulg. 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

Sellado facial macho / macho de ¼ in. 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

Trozos de tubo de soldadura a tope de ¼ pulg. 3.31/84.0 0.75/19.0 N/A
POU-05-FSV1 Sellado facial macho / macho de ¼ in. 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

Sellado facial macho / macho de ¼ in. 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

Sellado facial macho / macho de ½ pulg. 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 Trozos de tubo de soldadura a tope de ¼ pulg. 5.00/127.0 1.50/38.1 N/A
POU-10-ST3 Trozos de tubo de soldadura a tope de ½ pulg. 5.00/127.0 1.50/38.1 N/A
POU-30

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
POU-30-SV3 Sellado facial macho / macho de ½ pulg. 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 Trozos de tubo de soldadura a tope de ½ pulg. 11.22/285.0 1.50/38.1 N/A
POU-015

Descripción De Pieza Tipo de ajuste A en / mm B in / mm C in / mm
POU-015-SV1 Sellado facial macho / macho de ¼ in. 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 Trozos de tubo de soldadura a tope de ¼ pulg. 5.00/127.0 0.75/19.0 N/A
POU-015-SV3 Sellado facial macho / macho de ½ pulg. 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

* Diseños personalizados y accesorios disponibles.

Curvas de flujo

Consulte las hojas de corte o la fábrica para conocer las curvas de flujo del filtro.

Nuestras capacidades de diseño

  • Curvas de caída de flujo / presión y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño de sistema
  • Consideraciones de compatibilidad de gas
  • Medios filtrantes personalizados, recipientes a presión y material de conexión, incluidas configuraciones de filtro en el punto de uso, disponibles

Servicios relevantes

Experiencia en diseño – De principio a fin, nos especializamos en personalización de soluciones según sus parámetros de diseño: desafíenos a brindarle las soluciones de filtrado adecuadas para su aplicación en el punto de uso.

Modelado de fluidos – Nuestras amplias aplicaciones han creado una biblioteca de datos para aumentar la precisión de nuestros modelos de flujo para filtros de punto de uso, proporcionando estimaciones iniciales de rendimiento y viabilidad antes de construir prototipos.

Amplia red de socios – Si un material no figura en la lista o la capacidad no es interna, mantenemos una extensa red de socios para la adquisición de nuevos materiales, capacidades de fabricación avanzadas y pruebas de validación para filtros en el punto de uso.

Soporte de Ingeniería – Cuente con nuestros ingenieros expertos para diseñar o seleccionar las soluciones de filtrado óptimas para el punto de uso adaptadas a las necesidades específicas de su aplicación.