Filtros a granel y utilitarios de alta pureza Mott para suministro de gas sin partículas
Los filtros a granel y utilitarios de alta pureza de Mott proporcionan una filtración de partículas de 9 log a 0.0015 μm, lo que da como resultado un gas libre de partículas. Estos filtros a granel son ideales para las temperaturas más altas que a menudo se encuentran aguas abajo de un purificador durante las operaciones de secado y calentamiento.
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Literatura y hojas de datos
Aplicaciones típicas
Filtros para corrientes de flujo de gas en la plataforma de gas.
Catálogo de productos semiconductores
Explore la amplia gama de filtros, difusores y limitadores de flujo de alta pureza de Mott diseñados exclusivamente para fabricantes de semiconductores.
Especificaciones del producto
| Condiciones de Operación |
»Presión máxima de funcionamiento: hasta 650 psig (44.8 barg) »Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte: hasta 450 ° C »Presión diferencial máxima: hasta 250 psid (17.2 barg) |
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| Materiales |
»Hardware: 316L SS »Medio de filtro: fibra SS 316L o níquel Penta® » Acabado superficial de herrajes húmedos: 10 Ra »Materiales personalizados también disponibles |
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| Especificaciones |
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| Datos de flujo |
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| Accesorios y dimensiones |
BGF-310 y BGF-315
BGF-610
BGF-615
BGF-815
BGF12P23
* Diseños personalizados y accesorios disponibles. |
Los filtros a granel con flujos nominales de hasta 170,000 SLPM están disponibles. Consulte las hojas de fábrica o de especificaciones para obtener información sobre la curva de flujo.
Videos y artículos
Nuestras capacidades de diseño
- Curvas de caída de flujo / presión y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño de sistema
- Consideraciones de compatibilidad de gas
- Medios de filtro personalizados, recipiente a presión y material de ajuste y configuraciones disponibles
Servicios relevantes
Experiencia en diseño – De principio a fin, personalizamos las soluciones de filtrado a granel según sus parámetros de diseño. ¡Desafíanos!
Certificaciones de calidad – ¿Necesita marcas de conformidad con estándares de salud, seguridad y medio ambiente como CE? Te tenemos cubierto.
Amplia red de socios Si un material de filtro a granel no figura en la lista o no existe una capacidad interna, contamos con una extensa red de socios para la adquisición de materiales, fabricación avanzada y pruebas de validación.
Soporte de ingeniería - Nuestros ingenieros de proyectos están disponibles para consultarle sobre su proceso y ayudarlo a seleccionar el filtro a granel y de uso general ideal para su aplicación.
Preguntas frecuentes: filtros y filtración de gas a granel
P: ¿Qué es un filtro a granel en el contexto de aplicaciones de pureza ultraalta?
R: Un filtro a granel es un dispositivo de filtración especializado diseñado para manejar grandes volúmenes de gas, lo que garantiza la eliminación de contaminantes e impurezas, especialmente en aplicaciones de pureza ultraalta, como la fabricación de semiconductores.
P: ¿Cómo garantiza el filtro a granel de Mott una filtración de 9 registros?
R: Los filtros a granel de Mott están diseñados con tecnología avanzada de metales porosos, lo que les permite lograr una filtración de 9 registros. Los filtros Mott están fabricados con la más alta calidad y la porosidad de mayor precisión del mercado. Esto garantiza que el gas que pasa sea de la más alta pureza, libre de partículas y contaminantes.
P: ¿Son los filtros a granel de Mott compatibles con diversos gases de proceso de semiconductores?
R: Sí, los filtros a granel de Mott están diseñados para ser compatibles con todos los gases de proceso de semiconductores de alta pureza, lo que garantiza versatilidad y confiabilidad en una variedad de aplicaciones desafiantes. Los filtros Mott se utilizan en los procesos de fabricación de chips más desafiantes, incluidas tecnologías de nodos avanzadas < 7 nm.
P: ¿Cómo contribuyen los filtros a granel de Mott a acelerar los tiempos de "secado"?
R: Los filtros a granel de Mott están fabricados con materiales y diseños que permiten un "secado" rápido, lo que significa que logran un rendimiento óptimo en minutos en lugar de horas, lo que reduce el tiempo de inactividad y aumenta la eficiencia.
P: ¿Pueden los filtros a granel de Mott manejar gases corrosivos?
R: Absolutamente. Los filtros a granel de Mott están disponibles en varios materiales, incluidos acero inoxidable, Hastelloy® y níquel Penta®, lo que los hace adecuados para manejar una variedad de gases, incluidos los corrosivos.
