Difusores de cámara GasShield®

Los difusores de gas Mott Gasshield brindan flujos de gas uniformes y laminares, minimizando la perturbación de partículas. Se eliminan eficazmente partículas superiores a 0.0015 μm, mejoran la calidad de las obleas y ofrecen una longevidad de más de 6,000,000 de ciclos, lo que las convierte en una opción confiable para la fabricación de semiconductores.

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Literatura y hojas de datos

Aplicaciones típicas

Los difusores de cámara se utilizan para ventilar en las siguientes aplicaciones:

»Cámaras de bloqueo de carga

»Cámaras de transferencia

»Cámaras de enfriamiento, y

»Cámaras de proceso

of Interfaces de equipos de semiconductores (CVD, PVD, Etch, Epi) u otras cámaras de vacío

Catálogo de productos de semiconductores Mott

Explore la amplia gama de filtros, difusores y limitadores de flujo de alta pureza de Mott diseñados exclusivamente para fabricantes de semiconductores.

Guía de instalación del difusor HP

Instrucciones para la manipulación e instalación de los productos difusores GasShield® de alta pureza Mott

Especificaciones del producto

Condiciones de Operación

»Presión máxima de funcionamiento: 60 psig (4.2 barg)

»Temperatura máxima de funcionamiento para gas inerte

860 ° F (460 ° C) sin junta tórica

212 ° F (100 ° C) con junta tórica

»Presión diferencial máxima: 75 psid (5.0 bar)

Información de instalación

Consulte la Guía de instalación del difusor HP

https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/

Nota: Para los accesorios VCR®, siempre apriete la tuerca a mano, luego 1/8 de vuelta y luego apriete a mano con una llave (llave compatible con VCR) para asegurar un ajuste adecuado.

Materiales

» Herrajes: acero inoxidable 316L o aleación 22*

» Medio filtrante: fibra o aleación 316L SS 22*

» Acabado superficial de herrajes húmedos: 10 Ra

*La aleación 22 o UNS NO6022 es una superaleación de níquel-cromo-molibdeno comúnmente conocida como Hastelloy® C-22®

Especificaciones
Tamaño de eliminación de partículas ≥ 0.0015 μm
Derramamiento de partículas: Contribución de cero partículas por encima del fondo (<1 partícula / pie³) según el método de prueba SEMI F43-0308
Vida útil: 5 años o hasta 3,000,000 de ciclos a presión máxima de operación (ver garantía)
Datos de flujo

Curvas de flujo disponibles. Consulte las hojas de especificaciones y la fábrica para obtener más información.

 

 

Conexiones y dimensiones
Conexión de salida ISO NW50

 

Descripción De Pieza Tipo de ajuste Conexión de entrada Conexión de salida Material de la junta tórica Tamaño de la junta tórica ID de ranura de junta tórica (In / mm) O-Ring Groove OD (pulg. / Mm) Profundidad de la ranura de la junta tórica (in / mm)
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L

 

GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22

Giratorio macho de ¼ "

Cara foca

VCR giratoria macho de ¼ " ISONW50 Viton Rinde de 2 a 229 porciones 2.36/59.9 2.67/67.9 0.102/2.6
Conexión de salida IS NW40

Descripción De Pieza Tipo de ajuste Conexión de entrada Conexión de salida Material de la junta tórica Tamaño de la junta tórica ID de ranura de junta tórica (In / mm) O-Ring Groove OD (pulg. / Mm) Profundidad de la ranura de la junta tórica (in / mm)
GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L Giratorio macho de ¼ "

Cara foca

VCR giratoria macho de ¼ " ES NW40 Viton Rinde de 2 a 224 porciones 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
Conexión de salida IS NW100 (atornillable)

Descripción De Pieza Tipo de ajuste Conexión de entrada Conexión de salida Material de la junta tórica Tamaño de la junta tórica ID de ranura de junta tórica (In / mm) O-Ring Groove OD (pulg. / Mm) Profundidad de la ranura de la junta tórica (in / mm)
GSD-FLG-3.6-F1-NW100-0.5-316L Giratorio macho de ¼ "

Cara foca

VCR de ¼ " ISONW100 Viton Rinde de 2 a 246 porciones 4.50/114.3 5.12/130.0 0.102/2.6
Conexión de salida ISO NW40

Descripción De Pieza Tipo de ajuste Conexión de entrada Conexión de salida Material de la junta tórica Tamaño de la junta tórica ID de ranura de junta tórica (In / mm) O-Ring Groove OD (pulg. / Mm) Profundidad de la ranura de la junta tórica (in / mm)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 ¼ "macho

Cara foca

VCR macho de ¼ " ISONW25 Viton Rinde de 2 a 224 porciones 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
Conexión de salida ISO NW25

Descripción De Pieza Tipo de ajuste Conexión de entrada Conexión de salida Material de la junta tórica Tamaño de la junta tórica ID de ranura de junta tórica (In / mm) O-Ring Groove OD (pulg. / Mm) Profundidad de la ranura de la junta tórica (in / mm)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 ¼ "macho

Cara foca

VCR macho de ¼ " ISONW25 Viton Rinde de 2 a 123 porciones 1.14/28.9 1.38/35.1 0.075/1.9

* Diseños personalizados y accesorios disponibles.

Nuestras capacidades de diseño

  • Curvas de caída de flujo / presión y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño de sistema
  • Consideraciones de compatibilidad de gas
  • Medios filtrantes personalizados, difusor de gas, recipiente a presión y material y configuraciones de accesorios disponibles

Servicios relevantes

Experiencia en diseño de difusores de gas – De principio a fin, nos especializamos en soluciones de difusores de gas personalizadas según sus parámetros de diseño. ¡Desafíanos!

Modelado de fluidos – Nuestras amplias aplicaciones han creado una biblioteca de datos para aumentar la precisión de nuestros modelos de flujo de difusores de gas, proporcionando estimaciones iniciales de rendimiento y viabilidad antes de construir prototipos.

Amplia red de socios – Si un material no figura en la lista o la capacidad no es interna, mantenemos una extensa red de socios para la adquisición de nuevos materiales, capacidades de fabricación avanzadas y pruebas de validación de difusores de gas.

Soporte de Ingeniería – Utilice nuestros ingenieros expertos para diseñar las soluciones de difusor de gas ideales para su aplicación.

Acerca de los difusores de gas

Los difusores de gas son componentes esenciales utilizados en diversas industrias para garantizar una distribución uniforme y controlada del gas sin perturbar partículas o impurezas en el entorno circundante. Desempeñan un papel crucial en aplicaciones como la fabricación de semiconductores, donde mantener una atmósfera limpia y libre de partículas es fundamental para procesos de producción de alta calidad. Los difusores de gas ayudan a minimizar los defectos en las obleas al eliminar partículas de más de 0.0015 μm de los gases entrantes.

Mott se destaca como proveedor líder de difusores de gas debido a su experiencia en diseño e ingeniería personalizados. Sus difusores de gas se adaptan a parámetros de diseño específicos, lo que garantiza un rendimiento y una fiabilidad óptimos. La amplia experiencia de Mott, sus capacidades de modelado de fluidos y el acceso a materiales avanzados a través de una amplia red de socios contribuyen a su capacidad para ofrecer difusores de gas que cumplan con los requisitos más exigentes de la industria, lo que los convierte en la opción preferida para aplicaciones críticas de distribución de gas.

Preguntas frecuentes: Difusores de gas

P: ¿Qué es un difusor de gas y cómo funciona?

R: Un difusor de gas es un dispositivo que se utiliza para distribuir gases de manera uniforme y controlada sin alterar partículas o contaminantes en el ambiente circundante. Funciona difundiendo los gases entrantes a través de canales o estructuras especialmente diseñados, lo que garantiza una distribución uniforme y al mismo tiempo elimina partículas de mayor tamaño que un tamaño específico de la corriente de gas.

P: ¿Por qué son importantes los difusores de gas en la fabricación de semiconductores?

R: Los difusores de gas desempeñan un papel crucial en la fabricación de semiconductores al mantener un entorno limpio y libre de partículas. Ayudan a minimizar los defectos en las obleas al eliminar partículas de más de 0.0015 μm de los gases entrantes, lo que garantiza procesos de producción de alta calidad y minimiza la pérdida de rendimiento.

P: ¿Qué diferencia a los difusores de gas de Mott de otros en el mercado?

R: Los difusores de gas de Mott se destacan por sus capacidades de diseño personalizado, ingeniería de precisión y amplia experiencia en la industria. Ofrecen soluciones personalizadas basadas en parámetros de diseño específicos, lo que garantiza un rendimiento y una fiabilidad óptimos. La experiencia de Mott en modelado de fluidos, el acceso a materiales avanzados a través de una amplia red de socios y el compromiso de cumplir con los estrictos requisitos de la industria los convierten en una opción confiable para aplicaciones críticas de distribución de gas.

P: ¿Mott puede proporcionar difusores de gas para diversas aplicaciones e industrias?

R: Sí, Mott ofrece difusores de gas que se pueden personalizar para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones e industrias. Ya sea que necesite difusores de gas para la fabricación de semiconductores, la industria aeroespacial u otras aplicaciones especializadas, el soporte de ingeniería y la experiencia en diseño de Mott pueden brindarle soluciones adaptadas a sus requisitos únicos.