Cerámica porosa de ultra alta pureza

La tecnología cerámica de alta pureza de Mott, que utiliza cerámicas porosas de pureza ultra alta, se puede adaptar para cumplir con requisitos de aplicación únicos. Esta tecnología cerámica proporciona un amplio espectro de compatibilidades químicas y robustez en escenarios de alta temperatura y presión. Las cerámicas porosas de alta pureza, especialmente la alúmina porosa (u óxido de aluminio Al2O3), son reconocidas por su resistencia mecánica, resistencia al desgaste y resiliencia en entornos corrosivos. 

Estas cerámicas tienen una temperatura de funcionamiento máxima de 2,750 grados Fahrenheit y pueden soportar presiones de hasta 5,000 psi. Su flexibilidad geométrica les permite fabricarlos en diversas formas, desde pequeños tubos o casquillos hasta discos, placas o incluso mandriles electrostáticos. La durabilidad y adaptabilidad de las cerámicas porosas permiten una gran cantidad de aplicaciones en diversos sectores. 

La fabricación de estas cerámicas en un entorno de sala limpia Clase 100 con >99.5 % de alúmina pura garantiza una limpieza incomparable. Las propiedades inherentes de los materiales de alúmina de alta pureza, como estabilidad a altas temperaturas, dureza impresionante, resistencia a la corrosión, expansión térmica mínima y un alto punto de fusión, los hacen ideales para componentes en procesos CVD, implantes de iones y otros procesos de semiconductores.

 

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Literatura y hojas de datos

Aplicaciones típicas

  • Sistemas de alimentación y conductos de mandriles electrostáticos
  • Difusión de gas de ultra alta pureza
  • Filtración de líquidos a alta temperatura
  • Componentes de fabricación de obleas de semiconductores
  • Piezas de equipos CVD
  • Sustratos y componentes electrónicos
  • Tapones y puertos de flujo de gas
Mott Ceramics para mandriles electrostáticos

Componentes de flujo cerámicos porosos de alta pureza para ESC

Catálogo de productos semiconductores

Explore la amplia gama de filtros, difusores y limitadores de flujo de alta pureza de Mott diseñados exclusivamente para fabricantes de semiconductores.

Especificaciones del producto

Condiciones de Operación

» Presión máxima de funcionamiento: 5,000 psi

» Temperatura máxima de funcionamiento: 2,750 °F (1,500 °C)

» Presión diferencial máxima: 1,250 psi

Especificaciones
Flujo Hasta 71.6 SCCM He/cm2 a 8 Torr
Variabilidad de parte a parte <10% a 3-sigma
Pureza material >99.5% Al2O3
Tamaño de poro 0.2 – 5 mg
Densidad -35%
Geometrías

Pequeños Tubos/Bujes

Placas

Discos

  • Descargar hoja de corte para especificaciones

Nuestras capacidades de diseño

  • Curvas de caída de presión/flujo y eficiencia de filtración para prácticamente cualquier diseño
  • Consideraciones de compatibilidad de gas
  • Medios de filtro personalizados, recipiente a presión y material de ajuste y configuraciones disponibles

Servicios relevantes para cerámica porosa y soluciones cerámicas de alta pureza

Experiencia en diseñoDesde la conceptualización hasta la finalización, personalizamos soluciones cerámicas de alta pureza según sus parámetros de diseño. Nuestro equipo dedicado, que acepta desafíos, se compromete a elaborar las mejores cerámicas porosas sin comprometer la calidad, sin importar la complejidad de la tarea.

Las pruebas de laboratorioSi necesita paquetes de datos o pruebas de viabilidad para sus componentes cerámicos porosos antes de la instalación, estamos a su servicio. Nuestro centro de laboratorio realiza pruebas integrales de caracterización y rendimiento, garantizando que sus piezas cumplan con especificaciones estrictas. Estas pruebas rigurosas aclaran las capacidades precisas y las posibles limitaciones de los productos, evitando costosos daños por esfuerzo excesivo o estrés indebido.

Soporte de IngenieríaColabore con nuestros ingenieros de proyectos para profundizar en los requisitos de su proceso y elegir el diseño de mandril electrostático o cerámico poroso adecuado adaptado a su aplicación. Con una gran variedad de opciones de personalización para nuestros productos cerámicos, nuestros ingenieros expertos se dedican a garantizar que lo que reciba esté perfectamente alineado con sus necesidades específicas.

Productos de primer nivel

En Mott, estamos orgullosos de suministrar productos de alta calidad que se han implementado en varias industrias durante décadas. Nuestras cerámicas porosas de alta pureza tienen una calificación alta en varias áreas, lo que garantiza que resistirán las demandas que requiere su maquinaria. También podemos desarrollar geometrías adicionales de nuestras cerámicas porosas de ultra alta pureza. ¡Los representantes de ventas de Mott estarán felices de tener una conservación con usted para determinar si nuestras capacidades se alinean con sus necesidades!

Preguntas frecuentes: Cerámica porosa de pureza ultraalta

P: ¿Cuáles son las características únicas de las cerámicas porosas de pureza ultraalta de Mott?

R: Las cerámicas porosas de pureza ultraalta de Mott se pueden personalizar según los requisitos de aplicaciones específicas. Ofrecen una amplia gama de compatibilidades químicas y son duraderos en entornos de alta temperatura, alto voltaje y/o alta presión. Estas cerámicas son especialmente adecuadas para aplicaciones que requieren los más altos estándares de pureza.

P: ¿Hasta qué nivel soportan temperaturas y presiones extremas los productos cerámicos de alta pureza de Mott?

R: Las cerámicas porosas de alta pureza de Mott pueden funcionar a temperaturas de hasta 2,750 grados Fahrenheit y soportar presiones de hasta 5,000 psi. Esto los hace ideales para aplicaciones exigentes que requieren resistencia a condiciones extremas.

P: ¿En qué formas se pueden fabricar las cerámicas porosas de Mott?

R: Las cerámicas porosas de Mott exhiben una alta flexibilidad geométrica. Se pueden fabricar en varias formas, como pequeños tubos, casquillos, discos o placas de cabezal de ducha, para satisfacer diversas necesidades de aplicación. Actualmente, Mott está desarrollando la impresión 3D de piezas cerámicas para fabricar geometrías complejas que incluyan una porosidad precisa cuando sea necesario.

P: ¿Cuáles son los principales beneficios de utilizar alúmina porosa en aplicaciones cerámicas de alta pureza?

R: La alúmina porosa u óxido de aluminio Al2O3 ofrece excelente resistencia mecánica, resistencia al desgaste y resistencia a ambientes corrosivos. Su alta estabilidad a temperaturas elevadas, dureza impresionante, excelente resistencia a la corrosión, bajo coeficiente de expansión térmica y alto punto de fusión lo hacen valioso en muchas industrias, especialmente en procesos de semiconductores.

P: ¿Se pueden utilizar las cerámicas porosas de Mott en aplicaciones de mandriles electrostáticos?

R: Mott puede proporcionar componentes críticos de un mandril electrostático para extender su vida útil y mejorar su desempeño de gestión térmica. Por ejemplo, nuestros tapones cerámicos porosos avanzados están fabricados con alúmina de alta pureza con tamaños de poro meticulosamente diseñados, lo que permite un flujo de gas de refrigeración uniforme y confiable. Su resistencia inherente a la ruptura de alto voltaje les permite operar durante períodos prolongados sin eventos de arco, mejorando así la productividad de la herramienta semiconductora en general. Con este riesgo reducido de eventos de formación de arcos que normalmente causan desechos que limitan el rendimiento, combinado con un enfriamiento trasero más uniforme, ahora puede maximizar el rendimiento de su cámara de proceso a través de un control de proceso mejorado y programas de mantenimiento más predecibles.

P: ¿Qué hace que la alúmina porosa sea un material preferido para aplicaciones cerámicas de alta pureza?

R: La alúmina porosa, también conocida como óxido de aluminio (Al2O3), es un material cerámico reconocido por su excepcional resistencia mecánica, resistencia al desgaste y resiliencia en ambientes corrosivos. Sus propiedades, como estabilidad a altas temperaturas, dureza, resistencia a la corrosión, bajo coeficiente de expansión térmica y alto punto de fusión, lo hacen invaluable para diversas industrias. Las cerámicas de alúmina porosa de alta pureza de Mott se fabrican con más de un 99.5 % de alúmina pura, lo que garantiza un rendimiento y una pureza óptimos para aplicaciones críticas.