Arbeiten Sie mit Mott zusammen, um längere Werkzeugverfügbarkeiten und einen besseren Fabrikdurchsatz zu erzielen
Die Verbesserung der Werkzeugverfügbarkeit und des Werkzeugdurchsatzes ist entscheidend, um bessere Werksausbeuten zu erzielen. Ohne sorgfältige Werkzeugbedienung, ordnungsgemäße Wartung und kompatible Systemkomponenten können Werkzeuge bis zu 60% der Zeit im Leerlauf stehen. Die meiste Zeit ist auf geplante Wartung oder unerwartete Ausfallzeiten zurückzuführen.
Mott Point-of-Use-Glasfasergasfilter helfen nachweislich Fabriken dabei, die Werkzeugverfügbarkeit zu verbessern, indem sie in Minuten und nicht in Stunden austrocknen. So können Werkzeuge beim Starten des Werkzeugs oder nach dem Herunterfahren der Wartung schneller in Betrieb genommen werden. Darüber hinaus bieten die Fasermetallmedien eine Partikelaufnahme von 1.5 nm, das Zweifache des 2-nm-Standards der Branche. Es wurde nachgewiesen, dass Mott-Diffusoren den Durchsatz von Werkzeugwafern um bis zu 3 bis 10% erhöhen, indem Partikelstörungen in der Kammer während des Entlüftens von Vakuum- zu Atmosphärenbedingungen beseitigt werden. Es ist bekannt, dass die kontinuierlichen Entlüftungszyklen wettbewerbsfähige Diffusoren bis zum frühen Versagen belasten. Die Diffusoren von Mott wurden getestet, um 20 Millionen Entlüftungszyklen standzuhalten, kostspielige Materialfehler zu vermeiden und den Wartungsaufwand zu reduzieren.
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Mott Point of Use Gasfasermetallfilter
Zur Verwendung in OEM-Werkzeuggaskästen, UHP-Gassticks für den Anschluss von Halbleiterwerkzeugen, UHP-Prozessgasfiltration in Ventilverteilerkästen, Gasschränken, Werkzeugisolationsgaskästen oder allen Prozessen, die eine hochreine Partikelentfernung erfordern.
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1.5 nm Partikelaufnahme
Mott hat gemeinsam mit dem Partikeltechnologielabor der Universität von Minnesota einen neuen Test entwickelt, mit dem jetzt Testpartikel erstellt und die Filtereffizienz bis zu 1.5 nm (0.0015 µm) gemessen werden kann. Dies ist eine 2-mal geringere Partikelretention als der derzeitige Industriestandard von 3 nm. Mott hat durch die Entwicklung proprietärer Herstellungstechniken Metallfiltermedien geschaffen, die diese Effizienz erfüllen, ohne zum Filterdruckabfall beizutragen. |
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Mott Diffusoren
Verwenden Sie Mott-Diffusoren mit Gasen in Entlüftungsanwendungen in Lastverriegelungskammern, Übertragungskammern, Kühlkammern und Prozesskammern oder Schnittstellen für Halbleitergeräte (CVD, PVD, Etch, Epi) oder anderen Vakuumkammern.
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