Mottと連携して、ツールの稼働時間の延長と工場スループットの向上を実現
工場の歩留まりを向上させるには、ツールの稼働時間とスループットを改善することが重要です。 ツールの慎重な操作、適切なメンテナンス、互換性のあるシステムコンポーネントがなければ、ツールは最大60％の時間アイドル状態になる可能性があります。 その時間のほとんどは、定期メンテナンスまたは予期しないダウンタイムが原因です。
Mott Point of Useファイバーメタルガスフィルターは、ファブが数時間ではなく数分でドライダウンすることでツールの稼働時間を改善するのに役立つことが証明されており、ツールの起動時またはメンテナンスのシャットダウン後にツールをより迅速に試運転できます。 さらに、ファイバーメタルメディアは、業界の1.5nm標準の2倍である3nmの粒子捕捉を提供します。 モットディフューザーは、真空から大気条件へのベントアップ中にチャンバー内の粒子の乱れを排除することにより、ツールウェーハのスループットを最大10〜20％向上させることが証明されています。 継続的なベントアップサイクルは、競合するディフューザーに初期の故障までストレスを与えることが知られています。 モッツのディフューザーは、3万回のベントサイクルに耐えるようにテストされており、コストのかかる材料の故障を排除し、メンテナンス要件を軽減します。
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モットポイントオブユースガスファイバーメタルフィルター
OEMツールガスボックス、半導体ツールフックアップ用UHPガススティック、バルブマニホールドボックス、ガスキャビネット、ツール分離ガスボックスでのUHPプロセスガスろ過、または超高純度粒子の除去を必要とするプロセスで使用します。
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1.5 nm粒子捕獲
モットは、ミネソタ大学の粒子技術研究所と共同で新しいテストを開発しました。これにより、テスト粒子を作成し、1.5 nm（0.0015 µm）粒子までのフィルター効率を測定できるようになりました。 これは、現在の業界標準である2 nmの3分のXNUMXの粒子保持率です。 モットの独自の製造技術の開発により、フィルターの圧力低下に寄与することなく、この効率を満たす金属フィルター媒体が生み出されました。 |
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モットディフューザー
ロードロックチャンバー、トランスファーチャンバー、冷却チャンバー、プロセスチャンバー、または半導体機器インターフェース（CVD、PVD、Etch、Epi）またはその他の真空チャンバーのベントアプリケーションで、モットディフューザーをガスと共に使用します。
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