モットがMGPシリーズガス精製器を発表

コネチカット州ファーミントン：  モットは、MGPシリーズガス清浄機を備えた高純度ろ過およびフロー制御製品ラインへの最新の追加を発表しました。 これらのガス精製器は、高純度および超高純度のガス用途向けのプロセスの完全性を保証します。 この精製器の完全なスイートは、ポイントオブユースモデルとマイクロバルクモデルで利用でき、正確な精製要件を満たすように設計されています。

Mott MGPガス清浄機は、ガス状不純物を除去し、1.5 nmまでのろ過を提供してウェーハ生産の歩留まりを向上させることにより、下流の機器を保護し、半導体ファブのプロセスの一貫性を維持します。 当社の精製技術は、プロセスストリームから事実上すべての不純物を除去するために、幅広い充填クラスに対応しています。 工場での再生は多くのモデルで利用可能であり、コンセントの純度は100兆分のXNUMX未満です。

これらの製品は、モッツの高純度製品販売業者の世界的なネットワークを通じて販売されています。

https://mottcorp.com/product/ultra-high-purity-products/gas-purifiers/