Trabaje con Mott para lograr tiempos de funcionamiento de herramienta más largos y un mejor rendimiento de fábrica
Mejorar el tiempo de actividad y el rendimiento de la herramienta es fundamental para lograr mejores rendimientos de fábrica. Sin una operación cuidadosa de la herramienta, un mantenimiento adecuado y componentes del sistema compatibles, las herramientas pueden permanecer inactivas hasta el 60% del tiempo. La mayor parte de ese tiempo se debe al mantenimiento programado o al tiempo de inactividad inesperado.
Se ha demostrado que los filtros de gas de fibra de metal en el punto de uso de Mott ayudan a las fábricas a mejorar el tiempo de actividad de la herramienta con un secado en minutos, no en horas, lo que permite que las herramientas se pongan en marcha más rápido durante el arranque de la herramienta o después de paradas de mantenimiento. Además, los medios de fibra de metal ofrecen captura de partículas de 1.5 nm, 2 veces el estándar de 3 nm de la industria. Se ha demostrado que los difusores Mott aumentan el rendimiento de la oblea de la herramienta hasta en un 10-20% al eliminar las perturbaciones de partículas en la cámara durante la ventilación desde el vacío a las condiciones atmosféricas. Se sabe que los ciclos de ventilación continuos estresan los difusores competitivos hasta el punto de fallar prematuramente. Los difusores de Mott han sido probados para resistir 3 millones de ciclos de ventilación, eliminando costosas fallas de materiales y reduciendo los requisitos de mantenimiento.
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Mott Punto de uso Filtros de metal de fibra de gas
Para usar en cajas de gas de herramientas OEM, barras de gas UHP para la conexión de herramientas de semiconductores, filtración de gas de proceso UHP en cajas de válvulas, gabinetes de gas, cajas de gas de aislamiento de herramientas o cualquier proceso que requiera la eliminación de partículas de pureza ultra alta.
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Captura de partículas de 1.5 nm
Mott ha desarrollado una nueva prueba con el Laboratorio de Tecnología de Partículas de la Universidad de Minnesota que ahora puede crear partículas de prueba y medir la eficiencia del filtro hasta partículas de 1.5 nm (0.0015 µm). Esta es una retención de partículas 2 veces menor que el estándar actual de la industria de 3 nm. El desarrollo de Mott de técnicas de fabricación patentadas ha creado medios de filtro de metal que cumplen con esta eficiencia sin contribuir a la caída de presión del filtro. |
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Difusores Mott
Use difusores Mott con gases en aplicaciones de ventilación en cámaras de bloqueo de carga, cámaras de transferencia, cámaras de enfriamiento y cámaras de proceso o interfaces de equipos semiconductores (CVD, PVD, Etch, Epi) u otras cámaras de vacío.
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