Los limitadores de flujo de alta pureza Mott Precision ahorran millones en sistemas Wafer Fab Gas Vent
con mott Restrictores de flujo de precisión y alta pureza puede reducir el flujo de una fuga de gas catastrófica en minutos, no en horas, cumplir con las pautas SEMI S2 y SEMI S6 y reducir los requisitos de ventilación para ahorrar millones en la construcción de su sistema de ventilación. Además, los limitadores de flujo de precisión de Mott no provocan una corriente de flujo de gas turbulenta que pueda disminuir el rendimiento de los componentes críticos de control de gas, como controladores de flujo másico, interruptores de presión y transductores. De hecho, los limitadores de flujo de metal poroso de Mott acondicionan el gas en un flujo laminar que mejora el rendimiento de estos instrumentos sensibles.
Beneficios de costos e infraestructura
La instalación de limitadores de flujo de precisión dentro de los sistemas de contención de gas (es decir, caja del colector de válvulas, caja de aislamiento de herramientas y gabinete de gas) para limitar el flujo de gas en un evento catastrófico reducirá la tasa de flujo de reemplazo de aire necesario en estos sistemas de contención ventilados. Un flujo de aire de ventilación más bajo significa tamaños de tubería de ventilación más pequeños. Con tamaños de tubería de ventilación más pequeños, puede ahorrar sustancialmente en costos en todas las conexiones desde la subfabricación hasta los sistemas de manejo y eliminación de aire, todo con la instalación de un restrictor de flujo de precisión Mott rentable.
Ventilar fugas catastróficas en minutos, no horas
Los restringidores de flujo de precisión Mott ayudan a crear un ambiente más seguro en su fábrica al limitar el flujo de gas en un evento catastrófico. Como puede ver en la tabla anterior, con un Restrictor de Flujo Mott instalado, el tiempo para ventilar una fuga a 2,000 PSI es de aproximadamente 3 minutos, en comparación con 1,000 minutos en un sistema sin un Restrictor de Flujo.
Como regla general, los limitadores de flujo de precisión Mott tienen un tamaño del 125% del flujo máximo del controlador de flujo másico, o el flujo de proceso requerido. Se pueden instalar en la caja de aislamiento de gas, VMB o en el armario de cilindros. Limitar el flujo de gas a la caja limitará el flujo máximo en una fuga de gas catastrófica.
Si se dimensiona correctamente, el Restrictor de flujo de precisión Mott se puede instalar en el sistema de gas sin un impacto perjudicial en la instrumentación aguas abajo. De hecho, los limitadores de flujo de precisión Mott condicionan el gas a un flujo laminar, lo que mejora el rendimiento de los controladores de flujo de masa basados en presión y térmicos.
Los limitadores de flujo de precisión también se pueden usar en ventilación suave; Rellenar las cámaras del vacío a la atmósfera, reemplazar las válvulas de aguja, los orificios calibrados y los controladores de flujo másico.
Cumplimiento de los estándares de la industria: cumplimiento de las pautas SEMI S2 y SEMI S6
La guía SEMI S6 EHS para la ventilación de escape de equipos de fabricación de semiconductores1 establece lo siguiente:
7.2.3.3.2 NOTA 24 Los controles de ingeniería, tales como válvulas de exceso de flujo, interruptores de flujo y limitadores de flujo pueden usarse para limitar el flujo disponible y, por lo tanto, reducir la ventilación de escape requerida.
7.6.2 Dado que los requisitos de flujo de ventilación de escape dependen en gran medida de la posible liberación, el proveedor del equipo debe considerar limitar el flujo disponible de sustancias de interés, como los Restrictores de flujo o las válvulas de exceso de flujo, como un medio para reducir el flujo de ventilación de escape requerido .
La guía ambiental, de salud y seguridad SEMI S2 para equipos de fabricación2 establece lo siguiente:
22.2 La ventilación por extracción del equipo debe diseñarse y realizarse una evaluación de la ventilación de acuerdo con § 23.5 y SEMI S6, para controlar, de manera eficiente y segura, las posibles exposiciones realistas de los empleados en el peor de los casos a sustancias químicas durante el funcionamiento normal, el mantenimiento o la falla de otros componentes del equipo (hardware o software). Todos los criterios de diseño y protocolos de prueba deben basarse en métodos reconocidos.
1SEMI S2-1016b Edición 2017 - Directrices medioambientales, de salud y seguridad para equipos de fabricación de semiconductores
2SEMI S6-0707 Edición 2007 - Directriz EHS para la ventilación de escape de equipos de fabricación de semiconductores
Los beneficios de los restrictores de flujo de metales porosos
Los limitadores de flujo de alta pureza de Mott utilizan medios metálicos porosos únicos que se desarrollaron específicamente para la fabricación de semiconductores y proporcionan un control de flujo compacto y duradero junto con:
Diseña a tu medida
Usted proporciona a Mott el tamaño requerido, el caudal y los gases utilizados en su entorno, y nosotros diseñamos el limitador de flujo Mott según sus necesidades. Los caudales aguas abajo varían de 100 SLPM a <1 × 10-6 SCCM Los restrictores Mott soportan temperaturas sostenidas de hasta 450 ° C (gas inerte) y presiones de hasta 120 psig, estándar; hasta 1500 psig por pedido.
Diseño rentable
El diseño simple de restricción de flujo de Mott consiste en un elemento metálico poroso dentro de un accesorio estándar, que proporciona la máxima resistencia y confiabilidad a un costo mínimo.
Construcción totalmente metálica.
Elementos de metal poroso construidos 100% de acero inoxidable y fijados permanentemente en accesorios de sello frontal de 1/4 ″. Hay disponibles otras aleaciones y configuraciones. No hay elastómeros u otros materiales no metálicos que puedan flexionarse o desprender partículas.
Rendimiento fijo a prueba de manipulaciones
Cada restrictor de flujo Mott proporciona el flujo aguas abajo especificado durante la vida útil del producto. No hay piezas móviles ni ajustes potenciales del operador que puedan obstaculizar el rendimiento.
Rendimiento sin obstrucciones, con flujo laminar
El elemento metálico poroso se extiende por todo el ancho del canal interno, permitiendo que los gases se muevan a través de cientos de microcanales sin aumentar la velocidad del flujo o crear rutas de flujo irregulares. El flujo aguas abajo es suave y constante, y los medios no se desgastarán por la fricción ni se obstruirán cuando se expongan a partículas esporádicas.
Seguridad avanzada y ahorros con limitadores de flujo Mott
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