GasShield® 개스킷 필터

Mott GasShield® 가스켓 필터는 극한의 작동 조건을 견디고 최적의 여과 성능을 제공하도록 제작되었습니다. GasShield 가스켓 필터를 사용하면 가스 시스템에 길이를 추가하지 않고도 필터를 통합할 수 있으며 대부분의 불활성 가스 및 특수 가스와 호환되며 1/4" 페이스 씰 피팅 내부에 1" 또는 3" 길이의 다공성 요소가 포함되며 일체형 페이스 씰 개스킷.

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문헌 및 데이터 시트

GasShield 개스킷 필터 개요

니켈 및 스테인리스강 개스킷 필터 사양

Mott Semiconductor 제품 카탈로그

반도체 제조업체 전용으로 설계된 Mott의 광범위한 고순도 필터, 디퓨저 및 유량 제한기를 살펴보십시오.

개스킷 필터 설치 및 교체 지침

가스켓 필터 기본 설치 및 교체 지침

제품 사양

작동 조건

»불활성 가스의 최대 작동 온도 : 450 ° C

»최대 차압 : 1000 psid 정방향 또는 역방향 (68.9 barg)

소스

»하드웨어 : 316LSS 또는 니켈

»필터 매체 : 316L SS 또는 니켈

»하 스텔로이 또는 맞춤형 재료 문의

제품 사양
입자 제거 크기 : 0.003 μm 이상
헬륨 누출 등급 : 1 x 10-9 atm cc / 초
수분 기여 : SEMI F10 테스트 방법에 따라 저 유량 주변 퍼지에서 1 시간 후 27ppb 미만
총 탄화수소 : SEMASPEC 90120396B 테스트 방법에 따라 감지 가능한 한계 미만
입자 흘리기 : SEMI F1-43 테스트 방법에 따라 배경 위의 입자 기여도 없음 (<0308 입자 / ft³)
흐름 데이터

더 많은 유량 곡선이 가능합니다. 공장 또는 사양서를 참조하십시오.

피팅 및 치수

일반적인 설치

부품 설명 유량 등급 (SLPM) 필터 재질 페이스 실 가스켓 크기 (인치) 요소 길이 (인치) 체인지 아웃 간격
GSG-V4-1-N 1 니켈 ¼ 1 시스템 의존
GSG-V4-3-N 3 니켈 ¼ 3 시스템 의존
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
20 니켈 ¼ 1 시스템 의존
GSG-V5-1-2N 50 니켈 ½ 1 시스템 의존
GSG-V4-1-S 1 316L SS ¼ 1 시스템 의존
GSG-V4-3-S 3 316L SS ¼ 3 시스템 의존
GSG-V4-1-2S 20 316L SS ¼ 1 시스템 의존
GSG-V5-1-2S 50 316L SS ½ 1 시스템 의존

* 사용자 정의 디자인 및 피팅 가능.

우리의 디자인 기능

  • 거의 모든 시스템 설계를위한 유량 / 압력 강하 곡선 및 여과 효율
  • 가스 호환성 고려 사항
  • 맞춤형 필터 매체, 피팅 재료 및 하드웨어 디자인 구성 가능

관련 서비스

디자인 전문 지식 – 처음부터 끝까지, 설계 매개 변수를 기반으로 솔루션을 사용자 정의합니다 – 도전하십시오!

유체 모델링 – 당사의 광범위한 응용 프로그램은 프로토 타입을 제작하기 전에 초기 성능 및 타당성 추정치를 제공하기 위해 흐름 모델의 정확도를 높이기 위해 데이터 라이브러리를 구축했습니다.

광범위한 파트너 네트워크 – 재료가 목록에 없거나 사내 기능이 아닌 경우 새로운 재료 조달, 고급 제조 기능 및 검증 테스트를 위해 광범위한 파트너 네트워크를 유지합니다.

엔지니어링 지원 – 당사의 전문 프로젝트 엔지니어를 활용하여 애플리케이션에 적합한 가스켓 필터를 선택하십시오.