팹 시설 구성 요소
Mott 고순도 다공성 Penta® Nickel 벌크 필터와 Mott Precision Flow Restrictors로 팹 시설의 안전을 개선하십시오.
고압 산소 시스템은 테프론과 같은 높은 점화 에너지를 견딜 수 없는 재료가 시스템에 사용되는 경우 단열 압축 점화에 취약합니다. 결과는 치명적일 수 있습니다. Mott Penta® 니켈 다공성 금속 필터는 플라스틱, 테플론 또는 스테인리스 스틸보다 높은 온도에서 작동하며 잠재적인 화염을 소멸시키는 방열판 역할을 합니다.
가스 격납 시스템(예: 밸브 매니폴드 상자, 도구 격리 상자 및 가스 캐비닛) 내부에 설치된 Mott Precision Flow Restrictor는 치명적인 상황에서 가스 흐름을 제한합니다. 또한 이러한 환기식 격납 시스템에서 필요한 공기 교체 유량을 줄여 환기 배관을 더 작게 만들어 건설 비용을 낮춥니다.
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일반적인 응용 프로그램 :
- 현장 벌크 가스
- 밸브 매니 폴드 박스
- 도구 격리 상자
- 가스 내각
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팹이란 무엇입니까?
팹(Fab)은 '패브리케이션 플랜트(Fabrication Plant)'의 약자로 집적회로(IC) 등 반도체 소자 제조를 전담하는 전문 시설이다. 이 공장에서는 실리콘 웨이퍼가 도핑, 이온 주입, 에칭 등 복잡한 공정을 거쳐 칩으로 변신합니다. 이러한 공정에 필요한 정밀도를 고려하면 가스와 화학물질의 순도를 최대한 유지하는 것이 필수적입니다. Mott Corporation은 제조공장의 높은 순도 기준을 충족하기 위해 고급 여과 및 가스 공급 솔루션을 제공함으로써 중추적인 역할을 합니다.
FAQ: 팹 시설 구성요소
Q: Mott는 팹 시설의 안전성을 향상시키기 위해 어떤 구성 요소를 제공합니까?
A: Mott는 제조 시설의 안전성과 효율성을 향상시키기 위해 고순도 다공성 Penta® 니켈 벌크 필터와 정밀 흐름 제한 장치를 제공합니다.
Q: Mott의 Penta® 니켈 다공성 금속 필터가 제조 시설에 필수적인 이유는 무엇입니까?
A: Mott의 Penta® 니켈 다공성 금속 필터는 플라스틱, 테플론 또는 스테인레스 스틸과 같은 재료보다 더 높은 온도에서 작동합니다. 이는 잠재적인 화염을 냉각시키는 방열판 역할을 하므로 단열 압축 점화 위험이 존재하는 제조 시설의 고압 산소 시스템에 특히 중요합니다.
Q: Mott Precision Flow Restrictors는 제조 시설의 가스 봉쇄 시스템에 어떤 이점을 제공합니까?
A: Mott Precision Flow Restrictor는 밸브 매니폴드 상자, 도구 격리 상자 및 가스 캐비닛과 같은 가스 봉쇄 시스템 내부에 설치하면 치명적인 사건 중에 가스 흐름을 제한합니다. 또한 환기식 격납 시스템에서 필요한 공기 교체 유량을 줄여서 환기 배관을 더 작게 만들고 결과적으로 건설 비용을 낮춥니다. 다공성 금속은 가장 까다로운 공정 조건에서도 일관된 층류 흐름을 제공하므로 흐름 제어에 이상적인 매체입니다. 흐름 오리피스에 비해 다공성 금속은 가스가 하나의 흐름 채널이 아닌 수천 개의 작은 기공을 통과하기 때문에 막히거나 난류 흐름 문제를 나타내지 않습니다.
Q: Mott의 솔루션은 팹 시설의 비용 절감에 어떻게 기여합니까?
A: Mott의 솔루션은 제품 포트폴리오 전반에 걸쳐 고객의 성능을 향상하고 소유 비용을 절감한다는 구체적인 목표를 가지고 설계되었습니다.
제한자
Mott의 정밀 흐름 제한 장치는 통풍식 격납 시스템에 필요한 공기 유량을 줄임으로써 더 작은 통풍구 배관을 허용하여 제조 시설의 건설 비용을 낮춥니다. 당사의 다공성 금속 제한 장치는 가스 라인의 서지가 다운스트림 공정을 오염시키는 것을 방지하여 비용과 가동 중지 시간을 줄입니다.
유기농 프리 디퓨저
진공 챔버에 사용되는 디퓨저는 처리 중인 웨이퍼에 매우 가까이 위치합니다. 웨이퍼와의 근접성으로 인해 최적의 수율을 보장하고 도구 유지 관리를 위한 가동 중지 시간을 방지하려면 순도가 중요합니다. Mott의 유기물 없는 솔루션은 웨이퍼 오염 가능성을 제거하여 수율을 높이고 가동 중지 시간을 줄입니다.
소결섬유 필터
사용 지점 및 벌크 형식을 포함한 Mott의 소결 섬유 필터는 고객에게 소결 분말 필터보다 6배 더 낮은 시장에서 가장 낮은 압력 강하를 제공합니다. 부품 간 차압 변동성이 낮아 반도체 공장의 시스템 제어가 더욱 엄격해집니다. Mott의 소결 섬유 필터는 PTFE 필터에 비해 건조 시간이 3~5배 더 짧아 고객의 가동 중지 시간이 줄어듭니다. 또한 테프론 기반 필터 솔루션에 비해 화재 위험이 없습니다.
